蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种蒸镀设备，包括第一腔体；第一蒸镀组件，第一蒸镀组件设置在第一腔体内，且适于对成膜材料进行加热以形成第一气相蒸气流；第二腔体，第二腔体可选择地与第一腔体连通；第二蒸镀组件，第二蒸镀组件设置在第二腔体内，第一气相蒸气流进入第一腔体以沉积在第二蒸镀组件上形成预处理膜层，第二蒸镀组件适于对预处理膜层进行加热以形成第二气相蒸气流；成膜组件，成膜组件设置在第二腔体内，成膜组件包括基板，基板适于沉积第二气相蒸气流

【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备


[0001]本申请涉及蒸镀
，具体地，涉及蒸镀设备
。

技术介绍

[0002]相关技术中的蒸镀设备对成膜材料直接加热进行蒸镀，成膜材料中的杂质沉积在基板上，影响最终蒸镀形成的膜层的质量
。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一
。
为此，本技术的一个目的在于提出一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：第一腔体；第一蒸镀组件，所述第一蒸镀组件设置在所述第一腔体内，且适于对成膜材料进行加热以形成第一气相蒸气流；第二腔体，所述第二腔体可选择地与所述第一腔体连通；第二蒸镀组件，所述第二蒸镀组件设置在所述第二腔体内，所述第一气相蒸气流进入所述第一腔体以沉积在所述第二蒸镀组件上形成预处理膜层，所述第二蒸镀组件适于对所述预处理膜层进行加热以形成第二气相蒸气流；成膜组件，所述成膜组件设置在所述第二腔体内，所述成膜组件包括基板，所述基板适于沉积所述第二气相蒸气流
。
[0004]本技术所涉及的蒸镀设备，包括两个蒸镀腔室，可对成膜材料进行两次蒸镀，第一次加热后形成的第一气相蒸气流进入第二腔体沉积在第二蒸镀组件上，不容易蒸发的杂质留在第一蒸镀组件上，以对成膜材料进行第一次提纯，第二蒸镀组件内的成膜材料经第二次加热，不容易蒸发的杂质进一步留在第二蒸镀组件上，以对成膜材料进行第二次提纯，由此，提高最终沉积在基板上的成膜材料的纯度，提高最终形成的薄膜的质量
。
[0005]根据本技术的一些实施例，所述蒸镀设备还包括：第三腔体，所述第三腔体可选择地与所述第二腔体连通，所述成膜组件设置在所述第三腔体内
。
[0006]根据本技术的一些实施例，所述第一蒸镀组件包括：第一坩埚，所述第一坩埚适于承载所述成膜材料；第一加热器，所述第一加热器适于对所述第一坩埚进行加热以形成所述第一气相蒸气流；第一真空泵，所述第一真空泵适于对所述第一腔体抽真空
。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述第二蒸镀组件包括：支撑组件，所述支撑组件可朝向或背离所述第一腔体旋转；第二加热器，所述第二加热器设置在所述支撑组件上且适于对第二坩埚进行加热；第二坩埚，所述第二坩埚设置在所述第二加热器上，所述第一气相蒸气流进入所述第二腔体以沉积在所述第二坩埚上
。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述支撑组件包括：支撑架；翻转杆，所述翻转杆设置在所述支撑架上，所述翻转杆可朝向或背离所述第一腔体旋转
。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述成膜组件还包括：移动杆，所述移动杆延伸方向的两端固定在所述第三腔体的内壁上；基板架，所述基板架的一端与所述移动杆滑动连接，所述基板与所述基板架连接且随所述基板架在所述移动杆上滑动
。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述第一腔体设置在所述第二腔体内部，所述第
二腔体设置在所述第三腔体内部
。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述第一腔体上设置有第一闸板阀，所述第一腔体和所述第二腔体通过所述第一闸板阀连通
。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述第二腔体上设置有第二闸板阀，所述第二腔体和所述第三腔体通过所述第二闸板阀连通
。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述蒸镀设备还包括：第三真空泵，所述第三真空泵设置在所述第三腔体内且适于对所述第三腔体抽真空
。
附图说明
[0014]本技术的上述和
/
或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0015]图1显示了本技术一个实施例的蒸镀设备的结构示意图
。
[0016]附图标记：
[0017]1：蒸镀设备；
11
：第一腔体；
111
：第一蒸镀组件；
1111
：第一加热器；
1112
：第一真空泵；
112
：第一闸板阀；
12
：第二腔体；
1211
：支撑组件；
1212
：第二坩埚；
1213
：第二加热器；
1214
：支撑架；
1215
：翻转杆；
1216
：第二真空泵；
122
：第二闸板阀；
13
：第三腔体；
131
：成膜组件；
1311
：基板；
1312
：移动杆；
1313
：基板架；
1314
：第三真空泵
。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例
。
下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制
。
实施例中未注明具体技术或条件的，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行
。
所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市购获得的常规产品
。
[0019]在本技术的一个方面，提出了一种蒸镀设备1，参考图1，所述蒸镀设备包括第一腔体
11
和第二腔体
12。
[0020]其中，所述第一腔体
11
内包括第一蒸镀组件
111
，所述第一蒸镀组件
111
适于对成膜材料进行加热以形成第一气相蒸气流
。
[0021]所述第二腔体
12
可选择地与所述第一腔体
11
连通，所述第二腔体
12
内包括第二蒸镀组件，所述第一气相蒸气流进入所述第二腔体
12
以沉积在所述第二蒸镀组件上形成预处理膜层，所述第二蒸镀组件适于对所述预处理膜层进行加热以形成第二气相蒸气流，第二腔体
12
内还包括成膜组件
131
，所述成膜组件
131
包括基板
1311
，所述第二气相蒸气流沉积在所述基板
1311
上
。
[0022]本技术所涉及的蒸镀设备1，包括两个蒸镀腔室，可对成膜材料进行两次蒸镀，第一次加热后形成的第一气相蒸气流进入第二腔体
12
沉积在第二蒸镀组件上，不容易蒸发的杂质留在第一蒸镀组件
111
上，以对成膜材料进行第一次提纯，第二蒸镀组件内的成膜材料经第二次加热，第二气相蒸气流沉积在基板
1311
上，不容易蒸发的杂质进一步留在第二蒸镀组件上，以对成膜材料进行第二次提纯，由此，提高最终沉积在基板
1311
上的成膜材料的纯度，提高最终形成的薄膜的质量
。
除此之外，两个蒸发源集中在一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种蒸镀设备，其特征在于，包括：第一腔体；第一蒸镀组件，所述第一蒸镀组件设置在所述第一腔体内，且适于对成膜材料进行加热以形成第一气相蒸气流；第二腔体，所述第二腔体可选择地与所述第一腔体连通；第二蒸镀组件，所述第二蒸镀组件设置在所述第二腔体内，所述第一气相蒸气流进入所述第一腔体以沉积在所述第二蒸镀组件上形成预处理膜层，所述第二蒸镀组件适于对所述预处理膜层进行加热以形成第二气相蒸气流；成膜组件，所述成膜组件设置在所述第二腔体内，所述成膜组件包括基板，所述基板适于沉积所述第二气相蒸气流
。2.
根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：第三腔体，所述第三腔体可选择地与所述第二腔体连通，所述成膜组件设置在所述第三腔体内
。3.
根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一蒸镀组件包括：第一坩埚，所述第一坩埚适于承载所述成膜材料；第一加热器，所述第一加热器适于对所述第一坩埚进行加热以形成所述第一气相蒸气流；第一真空泵，所述第一真空泵适于对所述第一腔体抽真空
。4.
根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第二蒸镀组件包括：支撑组件，所述支撑组件可朝向或背离所述第一腔体旋转；第二加热器，所述第二加热器设置在所述支撑组件上且适于对第二坩埚进行加热；第二坩埚，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚博，请求不公布姓名，王良乐，邵君，于振瑞，
申请(专利权)人：极电光能有限公司，
类型：新型
国别省市：