一种晶圆传输系统可变间距模组结构技术方案

一种晶圆传输系统可变间距模组结构，包括模组本体

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传输系统可变间距模组结构


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆传输
，尤其涉及一种晶圆传输系统可变间距模组结构
。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆传输领域，晶圆通常是等间距的存放在
FOUP
盒内
。
当把
FOUP
盒内的晶圆搬运到工艺腔体内进行处理时，为了提高搬运效率，需要同时搬运几层晶圆
。
[0003]然而，如果工艺腔体内的晶圆存放装置的间距与
FOUP
盒内的间距不一致时，就需要使用可变间距的手指进行搬运
。
当前，国内外厂家均使用不同螺距的正反旋丝杆组合实现，这种结构比较复杂，调整需要花费很长的时间，在变间距过程中手指的抖动比较大，容易出现掉片
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种应用于半导体晶圆传输系统中的可变间距的模组，用于解决晶圆在微环境空间传输的整个过程中，解决可变间距晶圆搬运机构体积大问题
、
解决可变间距晶圆搬运机构调整不方便问题以及解决可变间距晶圆搬运机构变距时震动问题
。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：
[0006]一种晶圆传输系统可变间距模组结构，包括模组本体
、
伺服电机
、
同步轮传动机构
、
凸轮轴
、
导向机构
、N
层手指和
N
层安装有导轮手指固定板，所述模组本体固定于手臂机器人末端，
N
层所述手指固定板通过所述导向机构有间距地上下依次层叠在一起；所述导向机构与所述手指固定板相垂直；其中，
N
为奇数；
[0007]所述凸轮轴固定于所述模组本体内部顶部与所述同步轮传动机构连接，所述凸轮轴表面有
(N
‑
1)/2
条正螺旋滑槽，
(N
‑
1)/2
条反螺旋滑槽；
[0008]第
(N
‑
1)/2+1
层所述手指固定板间为中间层，通过环形滑槽固定在所述凸轮轴上，以所述中间层为界，从第一层所述手指固定板到
(N
‑
1)/2
层所述手指固定板在上层，称作上层手指固定板组，从第
(N
‑
1)/2+2
层所述手指固定板到第
N
层所述手指固定板在下层，称作下层手指固定板组，所述上层手指固定板组中的导轮在正螺旋的滑槽内滑动，所述下层手指固定板组中的导轮在反螺旋的滑槽内滑动；其中，靠近中间层的上下两个所述滑槽的螺距为
a
，紧接着的上下两个所述滑槽的螺距为
2a
，以此类推，接纳第一层所述手指固定板组和第
N
层所述手指固定板组的所述滑槽的螺距为
(N
‑
1)/2*a
；所有滑槽的起始点在同一条轴线上，并且间距相等，接纳所述上层手指固定板组和所述下层手指固定板组中靠近所述中间层的所述手指的滑槽起始间距为
2b
；
[0009]所述伺服电机通过所述同步轮传动机构将动力传送到所述凸轮轴上，带动所述凸轮轴旋转；当所述凸轮轴旋转时，所述导轮会在螺旋滑槽中上下滑动，带动所述手指固定板上下运动，所述手指固定在所述手指固定板上，所述手指固定板上装有直线轴承，在所述导
向机构的导向下上下滑动
。
[0010]具体地，所述
N
为5，第3层为中间层，第3层手指固定板的导轮通过环形滑槽固定在所述凸轮轴上，以所述中间层为界，第1层手指固定板的导轮
、
第2层手指固定板的导轮
、
第4层手指固定板的导轮
、
第5层手指固定板的导轮在不同的滑槽内滑动；其中，第1滑槽和第2滑槽为正螺旋，第4滑槽和第5滑槽为反螺旋；第2滑槽和第4滑槽的螺距为
a
，第1滑槽和第5滑槽的螺距为
2a
；所有滑槽的起始点在同一条轴线上，并且间距相等，第1与第2滑槽
、
第4滑槽与第5滑槽起始间距为
b
，第2滑槽与第4滑槽其实间距为
2b
；当凸轮轴从起始位置顺时针旋转角度为
θ
时，第1层手指移动距离为
2a*
θ
/360
，第2层手指移动距离为
a*
θ
/360
，第4层手指移动距离为
‑
a*
θ
/360
，第5层手指移动距离为
‑
2a*
θ
/360
，以实现各层手指等间距的变距动作
。
[0011]具体地，所述手指固定板的一端固定所述手指，相反端设置有与所述导向机构相相适配的滑槽和所述手指固定板的导轮
。
[0012]具体地，所述导向机构为两条与所述凸轮轴平行设置的导向杆，所述导向杆，所述导轮位于两条导向杆之间
。
[0013]本专利技术实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本专利技术采用凸轮轴的变距模组，通过不同螺旋距离的滑槽，控制手指变距，具有结构简单
、
调整方便
、
精度高以及震动小等优点
。
附图说明
[0014]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理
。
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0016]图1为本专利技术实施例中手术机械臂的整体结构示意图
[0017]图2为本专利技术实施例中
N
层安装有导轮手指固定板的结构示意图
[0018]图3为本专利技术实施例中凸轮轴的结构示意图
具体实施方式
[0019]为了对本专利技术的技术特征
、
目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本专利技术的具体实施方式
。
以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系
、
以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本专利技术的限制
。
[0020]还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆传输系统可变间距模组结构，其特征在于，包括模组本体
、
伺服电机
、
同步轮传动机构
、
凸轮轴
、
导向机构
、N
层手指和
N
层安装有导轮手指固定板，所述模组本体固定于手臂机器人末端，
N
层所述手指固定板通过所述导向机构有间距地上下依次层叠在一起；所述导向机构与所述手指固定板相垂直；其中，
N
为奇数；所述凸轮轴固定于所述模组本体内部顶部与所述同步轮传动机构连接，所述凸轮轴表面有
(N
‑
1)/2
条正螺旋滑槽，
(N
‑
1)/2
条反螺旋滑槽；第
(N
‑
1)/2+1
层所述手指固定板间为中间层，通过环形滑槽固定在所述凸轮轴上，以所述中间层为界，从第一层所述手指固定板到
(N
‑
1)/2
层所述手指固定板在上层，称作上层手指固定板组，从第
(N
‑
1)/2+2
层所述手指固定板到第
N
层所述手指固定板在下层，称作下层手指固定板组，所述上层手指固定板组中的导轮在正螺旋的滑槽内滑动，所述下层手指固定板组中的导轮在反螺旋的滑槽内滑动；其中，靠近中间层的上下两个所述滑槽的螺距为
a
，紧接着的上下两个所述滑槽的螺距为
2a
，以此类推，接纳第一层所述手指固定板组和第
N
层所述手指固定板组的所述滑槽的螺距为
(N
‑
1)/2*a
；所有滑槽的起始点在同一条轴线上，并且间距相等，接纳所述上层手指固定板组和所述下层手指固定板组中靠近所述中间层的所述手指的滑槽起始间距为
2b
；所述伺服电机通过所述同步轮传动机构将动力传送到所述凸轮轴上，带动所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗义，王贺明，王晨旭，朱骏驰，张文磊，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：