一种夹持稳定性高的夹持装置制造方法及图纸

技术编号:39510195 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-25 18:45
本发明专利技术公开了一种夹持稳定性高的夹持装置,包括底板和夹持爪,底板上面两侧通过支撑柱连接设有上板,上板和底板之间连接设有升降结构,升降结构前面通过连接板连接设有变距板,支撑柱两侧均连接设有前伸板,前伸板之间连接设有滑轨,滑轨上一侧固定设有一个固定座,滑轨上滑动连接设有三个滑动座,固定座和滑动座之间等距,变距板和固定座

【技术实现步骤摘要】
一种夹持稳定性高的夹持装置


[0001]本专利技术涉及夹持结构
,具体是指一种夹持稳定性高的夹持装置


技术介绍

[0002]半导体配件生产
是半导体工业中非常重要的一个领域,其技术涉及到半导体器件的制造

装配和测试等方面

这些配件包括芯片

集成电路

传感器

光电器件等等,它们被广泛应用于电子设备

通信设备

计算机和互联网等领域

[0003]半导体配件生产
的关键技术包括晶圆加工

薄膜制备

光刻技术

离子注入技术等

其中,晶圆加工是半导体配件生产技术中最核心的环节,主要包括切片

去极化

清洗和扩散等工艺步骤

薄膜制备技术则是生产超大规模集成电路必不可少的技术之一,其涉及到很多复杂的物理和化学过程,如物理气相沉积

化学气相沉积和物理溅射等

[0004]在半导体配件生产中,需要使用夹持设备来进行电子元件的转运和安装

目前多数情况下仍然使用单个夹持爪进行操作,即使使用多个夹持爪同时工作,这种方式存在一些缺点

[0005]其中一个主要的缺点是,在某些情况下,需要调节夹持爪之间的距离以适应不同尺寸的元件

于单个夹持爪的固定位置,无法灵活地进行距离调节,这对于一些特殊形状或尺寸的元件可能会造成困难

例如,某些大尺寸或非常小的元件可能需要更广泛的夹持范围,而此时夹持爪无法满足这种需求

[0006]此外,单个夹持爪的使用还存在一些其他潜在问题

例如,在转运和安装过程中,单个夹持爪可能夹持力量不足,导致元件的不稳定掉落


技术实现思路

[0007]本专利技术为解决上述各种问题,提出了对半导体生产配件的夹持效果好,便于调整距离的一种夹持稳定性高的夹持装置

[0008]为解决上述的技术问题,本专利技术提出的技术方案为:一种夹持稳定性高的夹持装置,包括底板和夹持爪,所述底板上面两侧通过支撑柱连接设有上板,所述上板和所述底板之间连接设有升降结构,所述升降结构前面通过连接板连接设有变距板,所述支撑柱两侧均连接设有前伸板,所述前伸板之间连接设有滑轨,所述滑轨上一侧固定设有一个固定座,所述滑轨上滑动连接设有三个滑动座,所述固定座和所述滑动座之间等距,所述变距板和所述固定座

滑动座之间连接设有距离变动结构,所述固定座

滑动座下面均连接设有下伸板,所述下伸板前面连接设有增距板,所述增距板伸出端连接设有伸缩结构,所述夹持爪连接设于所述伸缩结构上

[0009]优选的,所述升降结构包括连接设于所述上板上面中间处的伺服电机,所述伺服电机的输出端连接设有丝杆,所述丝杆的转动设于所述上板和所述底板之间,所述丝杆上设有螺母座,所述螺母座两侧均连接设有侧板,所述支撑柱内侧设有滑槽,所述侧板伸出端连接设有和所述滑槽相适配的滑板

[0010]优选的,所述距离变动结构包括连接设于所述固定座

滑动座后面的后伸板,所述变距板上设有倾斜角度不同的四个适配槽,所述后伸板的伸出端连接设有凸轮随动器,所述凸轮随动器转动设于所述适配槽内

[0011]优选的,四个所述适配槽在任意横截面上的间距均相等,所述凸轮随动器被限位于所述适配槽内

[0012]优选的,所述伸缩结构包括连接设于所述增距板伸出端的气缸,所述气缸上连接设有方圈,所述方圈上设有贯通槽,所述贯通槽内滑动设有梯形板,所述贯通槽上下侧均设有限位槽,所述梯形板上设有和所述限位槽相适配的限位条,所述气缸伸出端连接设有梯形移动块,所述梯形移动块和所述梯形板之间连接设有推拉滑动结构,所述推拉滑动结构可以控制所述梯形板之间的间距,所述夹持爪连接设于所述梯形板上

[0013]优选的,所述推拉滑动结构包括连接设于所述梯形板内侧的梯形槽,所述梯形移动块两侧均均连接设有和所述梯形槽相适配的梯形条

[0014]优选的,所述夹持爪伸出端内侧设有防滑纹

[0015]优选的,所述上板前面两侧均连接设有导向轨,所述变距板上面连接设有和所述导向轨相适配的导向条

[0016]本专利技术与现有技术相比优点在于:
[0017]夹持稳定性高:采用了具有升降和变距功能的结构,能够实现半导体配件夹持过程中的高度和宽度自由调节,保证了夹持力的稳定性和可靠性

[0018]操作简便:使用伺服电机和气缸作为驱动源,通过控制外部信号和控制器的输出,能够实现自动化操作,减轻了人工操作的负担

[0019]可控性强:采用了推拉滑动结构和限位条,能够实现半导体配件之间的间距等距增大和缩小,保证了夹持效果的一致性和可控性

[0020]导向作用良好:通过导向轨和导向条的组合,能够起到良好的导向作用,确保了半导体配件在夹持和移动过程中的稳定性和精度

[0021]适应性强:本夹持装置适用于各种规格和类型的半导体配件,并且具有通用性和扩展性,可以根据需要进行调整和升级

附图说明
[0022]图1是本专利技术的立体图一;
[0023]图2是本专利技术的俯视图;
[0024]图3是本专利技术的左视图;
[0025]图4是本专利技术的立体图二;
[0026]图5是本专利技术的
A
区域部分的放大图;
[0027]图6是本专利技术的立体图三

[0028]如图所示:
1、
底板;
2、
夹持爪;
3、
支撑柱;
4、
上板;
5、
变距板;
6、
前伸板;
7、
滑轨;
8、
固定座;
9、
滑动座;
10、
下伸板;
11、
增距板;
12、
伺服电机;
13、
丝杆;
14、
螺母座;
15、
侧板;
16、
滑槽;
17、
滑板;
18、
后伸板;
19、
适配槽;
20、
凸轮随动器;
21、
气缸;
22、
方圈;
23、
贯通槽;
24、
梯形板;
25、
限位槽;
26、
限位条;
27、
梯形移动块;
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种夹持稳定性高的夹持装置,包括底板
(1)
和夹持爪
(2)
,其特征在于:所述底板
(1)
上面两侧通过支撑柱
(3)
连接设有上板
(4)
,所述上板
(4)
和所述底板
(1)
之间连接设有升降结构,所述升降结构前面通过连接板连接设有变距板
(5)
,所述支撑柱
(3)
两侧均连接设有前伸板
(6)
,所述前伸板
(6)
之间连接设有滑轨
(7)
,所述滑轨
(7)
上一侧固定设有一个固定座
(8)
,所述滑轨
(7)
上滑动连接设有三个滑动座
(9)
,所述固定座
(8)
和所述滑动座
(9)
之间等距,所述变距板
(5)
和所述固定座
(8)、
滑动座
(9)
之间连接设有距离变动结构,所述固定座
(8)、
滑动座
(9)
下面均连接设有下伸板
(10)
,所述下伸板
(10)
前面连接设有增距板
(11)
,所述增距板
(11)
伸出端连接设有伸缩结构,所述夹持爪
(2)
连接设于所述伸缩结构上
。2.
根据权利要求1所述的一种夹持稳定性高的夹持装置,其特征在于:所述升降结构包括连接设于所述上板
(4)
上面中间处的伺服电机
(12)
,所述伺服电机
(12)
的输出端连接设有丝杆
(13)
,所述丝杆
(13)
的转动设于所述上板
(4)
和所述底板
(1)
之间,所述丝杆
(13)
上设有螺母座
(14)
,所述螺母座
(14)
两侧均连接设有侧板
(15)
,所述支撑柱
(3)
内侧设有滑槽
(16)
,所述侧板
(15)
伸出端连接设有和所述滑槽
(16)
相适配的滑板
(17)。3.
根据权利要求1所述的一种夹持稳定性高的夹持装置,其特征在于:所述距离变动结构包括连接设于所述固定座
(8)、
滑动座
(9)
后面的后伸板
(18)
...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈勇李树兵刘为民
申请(专利权)人:昆山苏阳精密模具有限公司
类型:发明
国别省市:

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