基板处理装置以及基板处理方法制造方法及图纸

基板处理装置包含：载体保持部，其保持载体；第一处理单元组；第二处理单元组；第一虚拟基板收容部；第二虚拟基板收容部；基板载置部；第一搬运单元，其在第一处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在第一处理单元与第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第二搬运单元，其在第二处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在第二处理单元与第二虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第三搬运单元，其在载体与基板载置部之间搬运基板；存储部，其存储包含第一状态和第二状态的数据，该第一状态表示第一处理单元组的状态，该第二状态表示第二处理单元组的状态；行程制作部，其制作搬运行程；搬运控制部，其按照搬运行程来控制第一搬运单元

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板处理装置以及基板处理方法
[0001]本申请主张基于
2021
年3月
23
日所提出的日本专利申请
JP2021
‑
049170
的优先权，将该申请的全部的内容引用于本申请
。


[0002]本专利技术有关于一种用于处理基板的装置以及方法
。
成为处理的对象的基板例如包括半导体晶圆
、
液晶显示设备以及有机
EL(Electroluminescence
，电致发光
)
显示设备等的
FPD(Flat Panel Display
，平板显示器
)
用基板
、
光盘用基板
、
磁盘用基板
、
光磁盘用基板
、
光罩用基板
、
陶瓷基板
、
太阳电池用基板等
。

技术介绍

[0003]在半导体装置的制造工序中，使用用于处理半导体晶圆般的基板的基板处理装置
。
这种基板处理装置的一例公开于专利文献
1。
该基板处理装置包含：载体保持部，其保持收容基板的载体；多个处理单元，其处理基板；搬运单元，其在载体与处理单元之间搬运基板；以及控制单元
。
当处理单元的不使用持续时间到达预定时间时，控制装置对主机装置请求搬入保持有虚拟基板的虚拟载体
。
当虚拟载体被搬入载体保持部时，搬运单元将虚拟基板从虚拟载体向处理单元搬运
。
使用该虚拟基板进行处理单元的洗净
。
[0004]搬运单元包含分度机器人以及主搬运机器人，并在分度机器人与主搬运机器人之间配置有传递单元
。
分度机器人在载体与传递单元之间搬运基板
。
主搬运机器人在传递单元与处理单元之间搬运基板
。
[0005]当虚拟载体载置于载体保持部时，分度机器人从虚拟载体取出虚拟基板并搬运至传递单元
。
该虚拟基板被主搬运机器人从传递单元搬运至处理单元
。
当结束使用了虚拟基板的单元洗净处理时，主搬运机器人将虚拟基板从处理单元取出并搬运至传递单元
。
该虚拟基板被分度机器人从传递单元搬运至虚拟载体
。
当全部的虚拟基板被收容至虚拟载体时，从载体保持部搬出虚拟载体
。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开
2017
‑
41506
号公报
。

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]这样，虚拟基板从基板处理装置的外部被导入，通过与制品基板相同的路径被搬运至处理单元，且从处理单元被搬出并被收容至虚拟载体
。
因此，为了虚拟基板的搬运而使用分度机器人以及主搬运机器人双方，并通过传递单元搬运虚拟基板
。
由此，将干扰制品基板的搬运，从而制品基板的搬运效率变差，其结果是会妨碍提升生产性
。
[0011]尤其，在被构成为增加处理单元的数量且并行地处理多片制品基板的基板处理装置中，分度机器人以及主搬运机器人的搬运负担变大，分度机器人以及主搬运机器人的搬
运负担减轻是生产性提升的关键
。
[0012]此外，虚拟载体被搬入载体保持部，虚拟载体会占有载体保持部，直至虚拟基板从虚拟载体朝处理单元被搬运并结束在处理单元中的处理后该虚拟基板被收容至载体为止
。
因此，由于虚拟载体持续占有载体保持部，因此有可能在制品基板的搬入产生待机时间
。
因此，从这种观点而言也会妨碍提升生产性
。
[0013]因此，本专利技术的一实施方式为提供一种基板处理装置以及基板处理方法，能减轻对于制品用的基板的搬运的影响，并能在处理单元内进行使用了虚拟基板的处理
。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]本专利技术的一实施方式提供一种基板处理装置，包含：载体保持部，其保持收容基板或者虚拟基板的载体；第一处理单元组，其具有处理基板且执行使用虚拟基板的处理的多个第一处理单元；第二处理单元组，其具有处理基板且执行使用虚拟基板的处理的多个第二处理单元；第一虚拟基板收容部，其收容虚拟基板；第二虚拟基板收容部，其收容虚拟基板；基板载置部，其载置基板；第一搬运单元，其构成为能够访问多个所述第一处理单元
、
所述基板载置部和所述第一虚拟基板收容部，在多个所述第一处理单元与所述基板载置部之间搬运基板，并在多个所述第一处理单元与所述第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第二搬运单元，其构成为能够访问多个所述第二处理单元
、
所述基板载置部和所述第二虚拟基板收容部，在多个所述第二处理单元与所述基板载置部之间搬运基板，并在多个所述第二处理单元与所述第二虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第三搬运单元，其能够访问被所述载体保持部保持的载体和所述基板载置部，在被所述载体保持部保持的所述载体与所述基板载置部之间搬运基板；存储部，其存储包含第一状态以及第二状态的数据，所述第一状态表示所述第一处理单元组的状态，所述第二状态表示所述第二处理单元组的状态；行程制作部，其制作所述第一搬运单元
、
所述第二搬运单元和所述第三搬运单元所进行的基板或者虚拟基板的搬运行程；以及搬运控制部，其按照由所述行程制作部制作的所述搬运行程来控制所述第一搬运单元
、
所述第二搬运单元和所述第三搬运单元所进行的基板或者虚拟基板的搬运
。
所述第一状态包含：禁止模式，无法在所述第一处理单元组所包含的所述第一处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理中的任一个处理；允许模式，能够在所述第一处理单元组所包含的所述第一处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理
。
所述第二状态包含：禁止模式，无法在所述第二处理单元组所包含的所述第二处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理中的任一个处理；允许模式，能够在所述第二处理单元组所包含的所述第二处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理
。
当所述第一状态从允许模式变成禁止模式时，所述行程制作部将以被所述第一搬运单元搬运至所述第一处理单元组中的任一个所述第一处理单元的方式计划出的基板
(
尤其是从载体排出之前的基板
)
的搬运行程废弃，并制作以使该基板被所述第二搬运单元搬运至所述第二处理单元组中的任一个所述第二处理单元的方式计划出的搬运行程
。
当所述第二状态从允许模式变成禁止模式时，所述行程制作部将以被所述第二搬运单元搬运至所述第二处理单元组中的任一个所述第二处理单元的方式计划出的基板
(
尤其是从载体排出之前的基板
)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种基板处理装置，其特征在于，包含：载体保持部，其保持收容基板或者虚拟基板的载体；第一处理单元组，其具有处理基板且执行使用虚拟基板的处理的多个第一处理单元；第二处理单元组，其具有处理基板且执行使用虚拟基板的处理的多个第二处理单元；第一虚拟基板收容部，其收容虚拟基板；第二虚拟基板收容部，其收容虚拟基板；基板载置部，其载置有基板；第一搬运单元，其构成为能够访问多个所述第一处理单元
、
所述基板载置部和所述第一虚拟基板收容部，在多个所述第一处理单元与所述基板载置部之间搬运基板，并在多个所述第一处理单元与所述第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第二搬运单元，其构成为能够访问多个所述第二处理单元
、
所述基板载置部和所述第二虚拟基板收容部，在多个所述第二处理单元与所述基板载置部之间搬运基板，并在多个所述第二处理单元与所述第二虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板；第三搬运单元，其能够访问被所述载体保持部保持的载体和所述基板载置部，在被所述载体保持部保持的载体与所述基板载置部之间搬运基板；存储部，其存储包含第一状态以及第二状态的数据，所述第一状态表示所述第一处理单元组的状态，所述第二状态表示所述第二处理单元组的状态；行程制作部，其制作所述第一搬运单元
、
所述第二搬运单元和所述第三搬运单元所进行的基板或者虚拟基板的搬运行程；以及搬运控制部，其按照由所述行程制作部制作出的搬运行程来控制所述第一搬运单元
、
所述第二搬运单元和所述第三搬运单元所进行的基板或者虚拟基板的搬运；所述第一状态包含：禁止模式，无法在所述第一处理单元组所包含的所述第一处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理中的任一个处理；允许模式，能够在所述第一处理单元组所包含的所述第一处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理，所述第二状态包含：禁止模式，无法在所述第二处理单元组所包含的所述第二处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理中的任一个处理；允许模式，能够在所述第二处理单元组所包含的所述第二处理单元中执行对于基板的处理和使用虚拟基板的处理，当所述第一状态从允许模式变成禁止模式时，所述行程制作部将以被所述第一搬运单元搬运至所述第一处理单元组中的任一个所述第一处理单元的方式计划出的基板的搬运行程废弃，并制作以使该基板被所述第二搬运单元搬运至所述第二处理单元组中的任一个所述第二处理单元的方式计划出的搬运行程，当所述第二状态从允许模式变成禁止模式时，所述行程制作部将以被所述第二搬运单元搬运至所述第二处理单元组中的任一个所述第二处理单元的方式计划出的基板的搬运行程废弃，并制作以使该基板被所述第一搬运单元搬运至所述第一处理单元组中的任一个所述第一处理单元的方式计划出的搬运行程
。2.
根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述存储部存储被收容至所述第一虚拟基板收容部的虚拟基板的使用历史信息
、
和被
收容至所述第二虚拟基板收容部的虚拟基板的使用历史信息，所述基板处理装置还包含：状态设定部，其基于被存储于所述存储部的所述使用历史信息来判断是否需要更换被收容至所述第一虚拟基板收容部和所述第二虚拟基板收容部的虚拟基板，当被判断为需要更换被收容至所述第一虚拟基板收容部的虚拟基板时将所述第一状态设定成禁止模式，当被判断为需要更换被收容至所述第二虚拟基板收容部的虚拟基板时将所述第二状态设定成禁止模式
。3.
根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，所述行程制作部制作搬运行程，所述搬运行程用于在所述第一处理单元组为禁止模式时，通过所述第一搬运单元和所述第三搬运单元在被所述载体保持部保持的载体与所述第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板，在所述第二处理单元组为禁止模式时，通过所述第二搬运单元和所述第三搬运单元在被所述载体保持部保持的载体与所述第二虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板载置部包含：第一基板载置部，其能够由所述第一搬运单元和所述第三搬运单元访问；第二基板载置部，其能够由所述第二搬运单元和所述第三搬运单元访问，所述第一搬运单元在多个所述第一处理单元与所述第一基板载置部之间搬运基板，并在多个所述第一处理单元
、
所述第一基板载置部
、
和所述第一虚拟基板收容部之间搬运虚拟基板，所述第二搬运单元在多个所述第二处理单元与所述第二基板载置部之间搬运基板，并在多个所述第二处理单元
...

【专利技术属性】
技术研发人员：平藤裕司，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：