漏硅检测方法技术

本申请公开了一种漏硅检测方法

【技术实现步骤摘要】
漏硅检测方法、坩埚驱动装置、单晶炉及计算机可读存储介质


[0001]本申请属于太阳能光伏
，具体涉及一种漏硅检测方法
、
坩埚驱动装置
、
单晶炉及计算机可读存储介质
。

技术介绍

[0002]随着光伏技术的发展，太阳能作为绿色
、
环保
、
可再生能源受到了大范围推广
。
单晶硅作为太阳能光伏组件最重要的原料部分，其需求量也在不断增大
。
[0003]目前，随着单晶硅制造业朝着大热场
、
大装料
、
大尺寸方向发展，单晶炉的运行安全成为普遍关注的问题
。
尤其是在拉晶过程中，一旦出现严重漏硅，会导致炉内压力迅速升高甚至发生爆炸
。
现有技术中，通常采用在单晶炉内设置压力传感器的方式，通过在单晶硅制备过程中，测量单晶炉内的实时压力，从而判断是否发生漏硅等问题
。
[0004]然而，导致单晶炉内压力变化的原因较多，根据炉内压力变化，无法快速精准的判断是否发生漏硅问题，而且压力预警存在滞后性问题，压力预警时，单晶炉已经处于危险工况
。
因此，如何保证大尺寸坩埚装料的单晶炉出现漏硅时，快速精准的预警成为一个亟待解决的重要问题
。

技术实现思路

[0005]本申请实施例的目的是提供一种漏硅检测方法
、
坩埚驱动装置
、
单晶炉及计算机可读存储介质，能够解决现有漏硅检测滞后性及精度低的问题
。
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种坩埚驱动装置，应用于单晶炉，所述单晶炉内设有承载硅料的坩埚，所述坩埚驱动装置包括：基座
、
坩埚轴组件
、
升降旋转机构以及称重传感器；
[0007]所述坩埚轴组件一端与所述升降旋转机构相连，另一端伸入所述单晶炉内与所述坩埚相连；
[0008]所述升降旋转机构设置于所述基座上，所述升降旋转机构用于驱动所述坩埚轴组件带动所述坩埚升降或旋转至预设位置；
[0009]所述称重传感器设置于所述升降旋转机构上，且与所述坩埚轴组件相连，所述称重传感器用于通过所述坩埚轴组件实时测量所述坩埚内硅料的重量
。
[0010]可选的，所述升降旋转机构包括：支架
、
丝杠
、
升降驱动组件以及旋转驱动组件；
[0011]所述丝杠分别与所述支架
、
所述升降驱动组件传动连接，所述升降驱动组件驱动所述丝杠旋转，以带动所述支架升降；
[0012]所述称重传感器
、
所述旋转驱动组件以及所述坩埚轴组件均设置于所述支架上，且所述坩埚轴组件分别与所述旋转驱动组件
、
所述称重传感器相连，所述旋转驱动组件用于驱动所述坩埚轴旋转
。
[0013]可选的，所述支架包括相连的侧板和底板，所述侧板分别与所述丝杠
、
所述基座可活动连接；
[0014]所述坩埚轴组件包括：坩埚轴和套设于所述坩埚轴上的连接座，所述坩埚轴的一端与所述坩埚相连，另一端与所述旋转驱动组件相连；
[0015]所述称重传感器夹设于所述底板和所述连接座之间
。
[0016]可选的，所述升降旋转机构还包括：微调结构；
[0017]所述微调结构分别与所述侧板
、
所述底板连接，所述微调结构用于带动所述底板沿第一方向移动，以调节所述底板与所述连接座之间的间距；
[0018]所述第一方向为与所述坩埚轴的轴心线相平行的方向
。
[0019]可选的，所述微调结构包括：微调螺杆；
[0020]所述侧板上设置有第一调节部，所述第一调节部上设置有第一调节孔；
[0021]所述底板上设置有第二调节部，所述第二调节部上设置有与所述第一调节孔相对的第二调节孔；
[0022]所述微调螺杆依次穿设于所述第一调节孔和所述第二调节孔内
。
[0023]可选的，所述称重传感器的数量为一个或至少两个；
[0024]所述称重传感器与所述底板一一对应设置，且每个所述底板与所述侧板之间对应设置一个所述微调结构
。
[0025]可选的，在所述称重传感器的数量为一个的情况下，所述称重传感器与所述坩埚轴组件同轴设置；
[0026]在所述称重传感器的数量为至少两个的情况下，至少两个所述称重传感器沿所述坩埚轴组件的周向均匀设置
。
[0027]可选的，所述至少两个称重传感器位于同一水平面
。
[0028]可选的，所述侧板靠近所述坩埚轴的一侧设置有限位导轨，所述限位导轨的延伸方向与所述坩埚轴的轴心线相平行；
[0029]所述连接座包括：相连的称重连接板和限位板，所述称重连接板套设于所述坩埚轴上，所述限位板与所述侧板相对，且所述限位板上设置有限位槽，所述限位导轨可活动地嵌设于所述限位槽内；
[0030]所述称重传感器夹设于所述称重连接板和所述底板之间
。
[0031]本申请实施例还提供了一种单晶炉，所述单晶炉包括：炉体，以及上述的坩埚驱动装置；
[0032]所述坩埚驱动装置被安装于所述炉体上，以驱动所述炉体内的坩埚升降和
/
或实时测量所述坩埚内硅料的重量
。
[0033]本申请实施例还提供了一种漏硅检测方法，应用于单晶炉，所述单晶炉包括：炉体，以及坩埚驱动装置；所述坩埚驱动装置被安装于所述炉体上，且所述坩埚驱动装置的坩埚轴组件连接有称重传感器；所述漏硅检测方法包括：
[0034]通过所述称重传感器获取所述坩埚内硅料的实际重量值；
[0035]获取所述坩埚内硅料的理论重量值；
[0036]计算同一时刻的所述理论重量值与所述实际重量值的差值；
[0037]在所述差值满足预设的判断条件时，确定所述坩埚内的硅料发生泄漏
。
[0038]可选的，所述在所述差值满足预设的判断条件时，确定所述坩埚内的硅料发生泄漏，包括：
[0039]在所述差值小于或等于第一阈值时，确定所述坩埚内的硅料发生一级泄漏，并针对所述一级泄漏进行第一漏硅操作处理；
[0040]在所述差值大于或等于第二阈值时，确定所述坩埚内的硅料发生二级泄漏，并针对所述二级泄漏进行第二漏硅操作处理；
[0041]其中，第一阈值小于所述第二阈值
。
[0042]可选的，所述单晶炉还包括：上传动机构，所述上传动机构上设置有称重模块；所述获取所述坩埚内硅料的理论重量值的步骤包括：
[0043]通过所述称重模块获取拉制的硅棒的实时重量值；
[0044]根据所述硅棒的实时重量值计算所述坩埚内硅料的理论重量值
。
[0045]可选的，所述获取所述坩埚内硅料的理论重量值的步骤还包括：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种坩埚驱动装置，应用于单晶炉，其特征在于，所述单晶炉内设有承载硅料的坩埚，所述坩埚驱动装置包括：基座
、
坩埚轴组件
、
升降旋转机构以及称重传感器；所述坩埚轴组件一端与所述升降旋转机构相连，另一端伸入所述单晶炉内与所述坩埚相连；所述升降旋转机构设置于所述基座上，所述升降旋转机构用于驱动所述坩埚轴组件带动所述坩埚升降或旋转至预设位置；所述称重传感器设置于所述升降旋转机构上，且与所述坩埚轴组件相连，所述称重传感器用于通过所述坩埚轴组件实时测量所述坩埚内硅料的重量
。2.
根据权利要求1所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述升降旋转机构包括：支架
、
丝杠
、
升降驱动组件以及旋转驱动组件；所述丝杠分别与所述支架
、
所述升降驱动组件传动连接，所述升降驱动组件驱动所述丝杠旋转，以带动所述支架升降；所述称重传感器
、
所述旋转驱动组件以及所述坩埚轴组件均设置于所述支架上，且所述坩埚轴组件分别与所述旋转驱动组件
、
所述称重传感器相连，所述旋转驱动组件用于驱动所述坩埚轴旋转
。3.
根据权利要求2所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述支架包括相连的侧板和底板，所述侧板分别与所述丝杠
、
所述基座可活动连接；所述坩埚轴组件包括：坩埚轴和套设于所述坩埚轴上的连接座，所述坩埚轴的一端与所述坩埚相连，另一端与所述旋转驱动组件相连；所述称重传感器夹设于所述底板和所述连接座之间
。4.
根据权利要求3所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述升降旋转机构还包括：微调结构；所述微调结构分别与所述侧板
、
所述底板连接，所述微调结构用于带动所述底板沿第一方向移动，以调节所述底板与所述连接座之间的间距；所述第一方向为与所述坩埚轴的轴心线相平行的方向
。5.
根据权利要求4所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述微调结构包括：微调螺杆；所述侧板上设置有第一调节部，所述第一调节部上设置有第一调节孔；所述底板上设置有第二调节部，所述第二调节部上设置有与所述第一调节孔相对的第二调节孔；所述微调螺杆依次穿设于所述第一调节孔和所述第二调节孔内
。6.
根据权利要求4所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述称重传感器的数量为一个或至少两个；所述称重传感器与所述底板一一对应设置，且每个所述底板与所述侧板之间对应设置一个所述微调结构
。7.
根据权利要求6所述的坩埚驱动装置，其特征在于，在所述称重传感器的数量为一个的情况下，所述称重传感器与所述坩埚轴组件同轴设置；在所述称重传感器的数量为至少两个的情况下，至少两个所述称重传感器沿所述坩埚轴组件的周向均匀设置
。8.
根据权利要求6所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述至少两个称重传感器位于同
一水平面
。9.
根据权利要求3所述的坩埚驱动装置，其特征在于，所述侧板靠近所述坩埚轴的一侧设置有限位导轨，所述限位导轨的延伸方向与所述坩埚轴的轴心线相平行；所述连接座包括：相连的称...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱永刚，赵阳，李侨，张伟建，曹杰，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：