晶圆绷环对位机构制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆绷环对位机构，包括支撑座，支撑座的两侧构造有承托台，承托台适于承托晶圆绷环；驱动夹爪组件，驱动夹爪组件安装于两侧的承托台之间，驱动夹爪组件适于夹持晶圆绷环且沿支撑座的长度方向移动；第一定位机构，第一定位机构可移动地安装于支撑座，定位柱在驱动机构长度方向邻近夹爪的一侧止挡于晶圆绷环；第二定位机构，第二定位机构安装于支撑座，第二定位机构对中位置之间可转动，第二定位机构在感应到第一定位机构移动时转动且将第一定位机构止挡于对中位置

【技术实现步骤摘要】
晶圆绷环对位机构


[0001]本专利技术涉及芯片加工
，尤其是涉及一种晶圆绷环对位机构
。

技术介绍

[0002]随着经济的发展
、
社会的进步，人们对精密电子仪器的需求日益增长，集成电路的发展尤为迅速，晶圆作为集成电路的一种基础材料，在现代生产过程中也越来越离不开
。
[0003]相关技术中的晶圆绷环对位机构通常需要复杂的机械手结构进行控制，机械手抓取转运晶圆绷环存在影响晶圆的受力状态，导致晶圆侧滑导致位置不准确，并且机械手的结构复杂，成本较高，对中准确度不高
。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一
。
为此，本专利技术的一个目的在于提出一种晶圆绷环对位机构，该晶圆绷环对位机构能够对晶圆绷环打片对中，具有结构简单
、
对位准确度高
、
工作效率高
、
自动化程度高等优点
。
[0005]为实现上述目的，根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构，包括：支撑座，所述支撑座的两侧构造有承托台，所述承托台适于承托晶圆绷环；驱动夹爪组件，所述驱动夹爪组件安装于两侧的所述承托台之间，所述驱动夹爪组件适于夹持所述晶圆绷环且沿所述支撑座的长度方向移动；第一定位机构，所述第一定位机构可移动地安装于所述支撑座，所述第一定位机构在所述驱动机构长度方向邻近所述夹爪的一侧止挡于所述晶圆绷环，所述驱动夹爪组件感应到所述晶圆绷环触碰所述第一定位机构时不再夹持所述晶圆绷环，且所述第一定位机构推动所述晶圆绷环向相反的方向移动至对中位置；第二定位机构，所述第二定位机构安装于所述支撑座，所述第二定位机构所述对中位置之间可转动，所述第二定位机构在感应到所述第一定位机构移动时转动且将所述第一定位机构止挡于所述对中位置
。
[0006]根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构，具有能够在对晶圆绷环转移的同时将其击中，准确度较高，也提高了工作时的效率，简化了加工步骤，灵活性更高等优点
。
[0007]根据本专利技术的一些具体实施例，所述第一定位机构和所述第二定位机构均成对设置，所述第一定位机构分别位于所述驱动夹爪组件的两侧，所述第二定位机构分别位于所述驱动夹爪组件的两侧，所述第一定位机构和所述第二定位机构沿所述驱动夹爪组件的长度方向的间隔设置
。
[0008]根据本专利技术的一些具体实施例，所述驱动夹爪组件包括：导轨，所述导轨安装于所述支撑座且沿所述支撑座的长度方向延伸；驱动电机，所述驱动电机安装于所述导轨的一端；夹爪，所述夹爪可移动地安装于所述导轨且由所述驱动电机驱动，所述夹爪夹持于所述晶圆绷环的上下表面
。
[0009]根据本专利技术的一些具体实施例，所述第一定位机构包括：直线驱动机构，所述直线驱动机构安装于所述支撑座；定位柱，所述定位柱连接于所述直线驱动机构，所述直线驱动机构驱动所述定位柱沿所述支撑座的长度方向移动
。
[0010]根据本专利技术的一些具体实施例，其中一个所述第一定位机构的所述定位柱包括安装柱和横向定位销，另一个所述第一定位机构的所述定位柱包括安装柱和纵向定位销，所述横向定位销和所述纵向定位销分别安装于所在的所述第一定位机构的所述安装柱，所述横向定位销适于配合于所述晶圆绷环的横向定位缺口，所述纵向定位销适于配合于所述晶圆绷环的纵向定位缺口
。
[0011]根据本专利技术的一些具体实施例，所述第二定位机构包括：转动驱动机构，所述转动驱动机构安装于所述支撑座；连接臂，所述连接臂沿水平延伸，所述连接臂的一侧连接于所述转动驱动机构且相对所述转动驱动机构可升降，所述转动驱动机构驱动所述连接臂的另一侧绕所述转动驱动机构转动；挡块，所述挡块连接于所述连接臂的所述另一侧，所述转动驱动机构驱动所述连接臂带动所述挡块在初始位置和止挡位置之间转动
。
[0012]根据本专利技术的一些具体实施例，所述挡块连接于所述连接臂的底部，所述初始位置和所述止挡位置的转动角度为
90
°
。
[0013]根据本专利技术的一些具体实施例，光感应传感器，所述挡块构造有感应平面，所述光感应传感器在所述挡块升起时探测到所述感应平面，所述光感应传感器探测至所述感应平面时，所述转动驱动机构控制所述挡块转动
。
[0014]根据本专利技术的一些具体实施例，所述挡块的与所述感应平面相邻的侧面构造成圆弧面
。
[0015]根据本专利技术的一些具体实施例，所述承托台的外侧面构造有挡板，所述挡板在所述承托台的外侧适于止挡所述晶圆绷环
。
[0016]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到
。
附图说明
[0017]本专利技术的上述和
/
或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0018]图1是根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构的结构示意图；
[0019]图2是根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构的支撑板的结构示意图；
[0020]图3是根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构的第一定位机构的结构示意图；
[0021]图4是根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构的第二定位机构的结构示意图；
[0022]图5是根据本专利技术实施例的晶圆绷环对位机构的晶圆绷环的结构示意图
。
[0023]附图标记：
[0024]晶圆绷环对位机构
1、
支撑座
100、
驱动夹爪组件
200、
第一定位机构
300、
[0025]第二定位机构
400、
承托台
110、
挡板
111、
导轨
210、
驱动电机
220、
夹爪
230、
[0026]定位柱
310、
直线驱动机构
320、
安装柱
311、
转动驱动机构
410、
连接臂
420、
[0027]挡块
430、
晶圆绷环
10、
横向定位缺口
11、
纵向定位缺口
12、
光感传感器
20。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件
。
下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制
。
[0029]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆绷环对位机构，其特征在于，包括：支撑座，所述支撑座的两侧构造有承托台，所述承托台适于承托晶圆绷环；驱动夹爪组件，所述驱动夹爪组件安装于两侧的所述承托台之间，所述驱动夹爪组件适于夹持所述晶圆绷环且沿所述支撑座的长度方向移动；第一定位机构，所述第一定位机构可移动地安装于所述支撑座，所述第一定位机构在所述驱动机构长度方向邻近所述夹爪的一侧止挡于所述晶圆绷环，所述驱动夹爪组件感应到所述晶圆绷环触碰所述第一定位机构时不再夹持所述晶圆绷环，且所述第一定位机构推动所述晶圆绷环向相反的方向移动至对中位置；第二定位机构，所述第二定位机构安装于所述支撑座，所述第二定位机构所述对中位置之间可转动，所述第二定位机构在感应到所述第一定位机构移动时转动且将所述第一定位机构止挡于所述对中位置
。2.
根据权利要求1所述的晶圆绷环对位机构，其特征在于，所述第一定位机构和所述第二定位机构均成对设置，所述第一定位机构分别位于所述驱动夹爪组件的两侧，所述第二定位机构分别位于所述驱动夹爪组件的两侧，所述第一定位机构和所述第二定位机构沿所述驱动夹爪组件的长度方向的间隔设置
。3.
根据权利要求2所述的晶圆绷环对位机构，其特征在于，所述驱动夹爪组件包括：导轨，所述导轨安装于所述支撑座且沿所述支撑座的长度方向延伸；驱动电机，所述驱动电机安装于所述导轨的一端；夹爪，所述夹爪可移动地安装于所述导轨且由所述驱动电机驱动，所述夹爪夹持于所述晶圆绷环的上下表面
。4.
根据权利要求2所述的晶圆绷环对位机构，其特征在于，所述第一定位机构包括：直线驱动机构，所述直线驱动机构安装于所述支撑座；定位柱，所述定位柱连接于所述直线驱动机构，所述直线驱动机构驱动所述定位柱沿所述支撑座的长度方向移动
。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李纪东，高阳，易飞跃，张彪，杨顺凯，
申请(专利权)人：北京中科镭特电子有限公司，
类型：发明
国别省市：