多功能真空样品清洗装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多功能真空样品清洗装置，包括：清洗箱体；真空泵组；等离子组件，利用等离子体处理样品表面并经真空泵组带走样品污物，形成等离子清洗模式；灯光组件，包括紫外模块和加热模块；其中，紫外模块对样品表面进行紫外辐照并经真空泵组带走样品污物，形成紫外清洗模式；加热模块加热腔室使样品表面污染物挥发并经真空泵组带走样品污物，形成加热清洗模式；其中，将样品置于腔室内后，通过组合等离子清洗模式

【技术实现步骤摘要】
多功能真空样品清洗装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及电子显微镜清洗
，具体涉及一种多功能真空样品清洗装置以及一种使用多功能真空样品清洗装置的使用方法
。

技术介绍

[0002]在电镜分析系统中，包括透射电镜分析
、
扫描电镜分析等，其对样品要求较高，样品和样品杆端部在样品制备
、
装样过程中或多或少会吸附空气中的有机物和气体分子，如若这些污染物随样品和样品杆带入到透射电镜
/
扫描电镜真空腔室中，则会影响电镜成像清晰度，甚至污染物会影响镜筒的真空度，对电镜物镜
、
极靴，光阑和灯丝造成污染，缩短电镜使用寿命
。
因而在样品进电镜前，需对样品进行预先清洗，但目前市面上产品比较单一，即设备通常只具备单一的清洗功能，如果需要进行多种清洗模式，则需要在不同设备之间流转，这就不可避免会出现操作麻烦
、
成本增加
、
多种设备占用空间大等问题，可见只有单一清洗功能的设备通用性差，并不能够满足不同样品的不同清洗要求，延长了制样时间，增加成本
。
[0003]因此，有必要提供一种新方式来解决上述技术问题
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足之处，本专利技术的目的在于提供一种多功能真空样品清洗装置，形成集等离子清洗
、
紫外清洗和加热真空脱附清洗三种清洗模式于一体的多功能清洗装置，通用性强，能够有效降低制样时间和成本，优化样品制备程序，提高效率
。
[0005]本专利技术的技术方案概述如下：
[0006]一种多功能真空样品清洗装置，包括：
[0007]清洗箱体，其内形成有一腔室，用以放置样品；
[0008]真空泵组，其与所述清洗箱体安装并与所述腔室连通，用于对所述腔室进行抽真空；
[0009]等离子组件，其安装于所述清洗箱体一侧并与所述腔室连通；且所述等离子组件利用等离子体处理样品表面并经所述真空泵组带走样品污物，形成等离子清洗模式；
[0010]灯光组件，其安装于所述清洗箱体顶部并伸入所述腔室内；且所述灯光组件包括紫外模块和加热模块；其中，
[0011]所述紫外模块对样品表面进行紫外辐照并经所述真空泵组带走样品污物，形成紫外清洗模式；
[0012]所述加热模块加热所述腔室使样品表面污染物挥发并经所述真空泵组带走样品污物，形成加热清洗模式；
[0013]其中，将样品置于所述腔室内后，通过组合所述等离子清洗模式
、
所述紫外清洗模式
、
所述加热清洗模式中的任一种或多种，以供样品在单一区域内实现多功能清洗
。
[0014]优选的，所述腔室内设置有可抽拉式支架组件，所述支架组件包括至少三组水平
导轨，用以放置托盘以形成多个样品存放区
。
[0015]优选的，所述等离子组件与所述真空泵组连接于所述清洗箱体不同侧；其中，
[0016]所述等离子组件与所述腔室连通处位于所述支架组件上侧；
[0017]所述真空泵组与所述腔室连通处靠近所述支架组件底部
。
[0018]优选的，所述灯光组件还包括：
[0019]灯座，其与所述清洗箱体安装并形成所述清洗箱体的顶部饰面；
[0020]灯板，其与所述灯座安装并位于所述灯座下方，且所述紫外模块和加热模块与所述灯板固定；
[0021]灯罩，其与所述灯板固定并罩设于所述紫外模块和加热模块外侧，并用以引导所述紫外模块与加热模块的灯光的出射方向
。
[0022]优选的，所述灯光组件位于所述支架组件正上方，所述灯罩引导所述紫外模块与加热模块的灯光的垂直照射于所述支架组件
。
[0023]优选的，所述灯光组件的光线覆盖面积大于所述支架组件上表面面积
。
[0024]优选的，所述清洗箱体上设置有至少一样品杆安装口，其位于与所述等离子组件相对的一侧，所述样品杆安装口其与所述腔室连通，用以插接透射电镜样品杆
。
[0025]优选的，还包括：排气组件，其与所述清洗箱体连接并连通至所述腔室内，且所述排气组件与所述真空泵组位于所述清洗箱体的同一侧
。
[0026]优选的，所述清洗箱体还配有第一法兰
、
第二法兰
、
第三法兰和第四法兰；其中，所述第一法兰用以与所述等离子组件对接；所述第二法兰用以连接所述排气组件和所述腔室；所述第三法兰用以连接所述真空泵组和所述腔室；所述第四法兰用以与一真空计连接
。
[0027]本专利技术还提供一种多功能真空样品清洗装置的使用方法，应用于如上所述的多功能真空样品清洗装置，包括步骤：
[0028]步骤一
、
将样品放置于所述清洗箱体的腔室后，选择清洗装置的清洗模式；其中，所述清洗模式至少包括等离子清洗模式
、
紫外清洗模式和加热清洗模式；
[0029]步骤二
、
启动清洗装置：
[0030]当清洗装置处于等离子清洗模式下时，等离子组件产生的等离子体进入腔室内，使样品表面残留的有机污染物分解并被真空泵组抽出；
[0031]当清洗装置处于紫外清洗模式下时，紫外模块提供两种波段紫外光同时辐照腔室，腔室内产生高浓度高活性氧自由基，样品表面污染物和氧自由基反应分解并被真空泵组抽出去除；
[0032]当清洗装置处于加热清洗模式下时，加热模块发出来的光波对腔室进行加热，使样品的温度升高将其表面附着的有机物和水分挥发，并被真空泵组抽出；
[0033]步骤三
、
待样品清洗完成后，关闭清洗装置
。
[0034]相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：
[0035]本专利技术提供一种多功能真空样品清洗装置，其通过设置真空泵组
、
等离子组件
、
紫外模块和加热模块，形成集等离子清洗
、
紫外清洗和加热真空脱附清洗三种清洗模式于一体的多功能清洗装置，即能够在同一个腔室内执行等离子清洗和或紫外清洗和
/
或加热真空脱附清洗，能够根据不同电镜对样品的要求选择对应的清洗模式或组合清洗模式，有效减少样品附着的污染物，减轻甚至消除样品显微成像过程中的积碳影响，提高样品制备质
量，且通用性强，能够有效降低制样时间和成本，优化样品制备程序，提高效率；并且，同时，可对样品进行真空储存，有效保证样品质量
。
[0036]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后
。
本专利技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出
。
附图说明
[0037]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多功能真空样品清洗装置，其特征在于，包括：清洗箱体，其内形成有一腔室，用以放置样品；真空泵组，其与所述清洗箱体安装并与所述腔室连通，用于对所述腔室进行抽真空；等离子组件，其安装于所述清洗箱体一侧并与所述腔室连通；且所述等离子组件利用等离子体处理样品表面并经所述真空泵组带走样品污物，形成等离子清洗模式；灯光组件，其安装于所述清洗箱体顶部并伸入所述腔室内；且所述灯光组件包括紫外模块和加热模块；其中，所述紫外模块对样品表面进行紫外辐照并经所述真空泵组带走样品污物，形成紫外清洗模式；所述加热模块加热所述腔室使样品表面污染物挥发并经所述真空泵组带走样品污物，形成加热清洗模式；其中，将样品置于所述腔室内后，通过组合所述等离子清洗模式
、
所述紫外清洗模式
、
所述加热清洗模式中的任一种或多种，以供样品在单一区域内实现多功能清洗
。2.
如权利要求1所述的多功能真空样品清洗装置，其特征在于：所述腔室内设置有可抽拉式支架组件，所述支架组件包括至少三组水平导轨，用以放置托盘以形成多个样品存放区
。3.
如权利要求2所述的多功能真空样品清洗装置，其特征在于：所述等离子组件与所述真空泵组连接于所述清洗箱体不同侧；其中，所述等离子组件与所述腔室连通处位于所述支架组件上侧；所述真空泵组与所述腔室连通处靠近所述支架组件底部
。4.
如权利要求2所述的多功能真空样品清洗装置，其特征在于，所述灯光组件还包括：灯座，其与所述清洗箱体安装并形成所述清洗箱体的顶部饰面；灯板，其与所述灯座安装并位于所述灯座下方，且所述紫外模块和加热模块与所述灯板固定；灯罩，其与所述灯板固定并罩设于所述紫外模块和加热模块外侧，并用以引导所述紫外模块与加热模块的灯光的出射方向
。5.
如权利要求4所述的多功能真空样品清洗装置，其特征在于：所述灯光组件位于所述支架组件正上方，所述灯罩引导所述紫外模块与加热模块的灯光的垂直照射于所述支架组件
。6.
...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭，刘宁，尉东光，
申请(专利权)人：屹东光学技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：