一种电镜分区式自动对焦方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电镜分区式自动对焦方法、装置、设备及存储介质，该方法包括步骤：获取待拍摄的图像大小；根据待拍摄的图像大小，在预设扫描方向将图像切分成多个区域；在每个区域改变聚焦电流，并进行多个区域扫描，得到清晰度变化的电镜图像。本发明专利技术无需复杂计算：整个对焦过程在硬件端可实现，只需要扫描发生器与电磁控制电路配合即可，不需要额外的运算；速度快、效率高：一次对焦过程等效于正常拍摄一幅图，正常情况下，重复2次上述过程即可完成对焦。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及扫描电镜成像，特别涉及一种电镜分区式自动对焦方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

1、扫描电镜利用高能电子束在样品表面扫描，通过检测与样品交互的电子信号来形成图像。相比之下，光学显微镜使用可见光来形成图像，物镜和目镜的组合确定了光学显微镜的放大倍数。在光学显微镜中，调焦通常是通过调整物镜与目镜之间的焦距，或者通过移动整个物镜或镜片的位置来实现。而在扫描电镜中，焦距的调整通常是通过调整电磁透镜系统来实现，该系统通过磁场对电子束进行聚焦，磁场强弱与线圈电流大小相关。

2、现有的电镜自动对焦方案基于图像处理算法，通常分为两个步骤：

3、(1)特征提取：从多个维度分析图像信息，提取对比度、梯度、频谱等特征；

4、(2)清晰度评价指标：设计相应的评价函数，结合所提特征计算清晰度评价函数值，从而量化图像清晰度，并根据结果反馈至控制端，改变聚焦电流。

5、接着重复(1)、(2)操作，直至评价指标达到期望的阈值范围内。

6、上述现有方案主要存在以下问题：

7、(1)速度慢：对焦过程中需本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述在预设扫描方向将图像切分成多个区域步骤具体为在X方向将图像切分成多个区域。

3.如权利要求1所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述在每个区域改变聚焦电流步骤包括以下步骤：

4.如权利要求3所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述根据上一区域对应的聚焦电流改变聚焦电流的公式为：

5.如权利要求4所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述根据上一区域对应的聚焦电流改变聚焦电流步骤还包括以下步...

【技术特征摘要】

1.一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述在预设扫描方向将图像切分成多个区域步骤具体为在x方向将图像切分成多个区域。

3.如权利要求1所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述在每个区域改变聚焦电流步骤包括以下步骤：

4.如权利要求3所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述根据上一区域对应的聚焦电流改变聚焦电流的公式为：

5.如权利要求4所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述根据上一区域对应的聚焦电流改变聚焦电流步骤还包括以下步骤：

6.如权利要求5所述的一种电镜分区式自动对焦方法，其特征在于：所述根据电镜图像清晰度变化趋势判定聚焦电流的取值区间步骤还包括以下步骤：

7.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：马刚，于潇，尉东光，
申请(专利权)人：屹东光学技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：