【技术实现步骤摘要】
一种芯片角度控制装置
[0001]本专利技术属于芯片检测辅助设备
,具体涉及一种芯片角度控制装置
。
技术介绍
[0002]芯片制造技术正向高密度
、
微型化
、
高速自动化
、
高成品率
、
高可靠性以及长寿命的目标发展,因此对芯片内部进行检测是芯片加工中必不可少的工序之一
。
[0003]现通常利用
X
‑
RAY
芯片检测设备对芯片内部进行检测,但是在检测芯片过程中,通常是将芯片直接平铺放置在检测设备的检测台上对准
X
射线进行投影,因此
X
射线只能从单一角度穿透芯片
。
然而现目前芯片种类繁多,且内部结构趋于复杂,各微电子元器件间由于结构不同或材料不被
X
射线穿透的特性,单一检查角度,无法准确的还原芯片内部结构,影响对芯片质量的判断
。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的检测角度单一,无法准确还原内部结构,影响对芯片内部质量判断的技术问题,本专利技术提供一种芯片角度控制装置
。
[0005]为了实现上述目的,本专利技术采用如下技术方案:
[0006]一种芯片角度控制装置,其特征在于,包括:
[0007]躯干;
[0008]芯片承载组件,可活动安装于所述躯干上,用于承载芯片;以及
[0009]角度控制组件,用于控制所述芯片承载组件按照既定角
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种芯片角度控制装置,其特征在于,包括:躯干;芯片承载组件,可活动安装于所述躯干上,用于承载芯片;以及角度控制组件,用于控制所述芯片承载组件按照既定角度翻转,以控制承载于所述芯片承载组件上的芯片按照既定角度翻转
。2.
如权利要求1所述的芯片角度控制装置,其特征在于:所述芯片承载组件能够绕自身轴心转动,所述角度控制组件用于控制所述芯片承载组件绕自身轴心正转和
/
或反转既定角度,以使所述芯片承载组件按照既定角度翻转;和
/
或所述芯片承载组件铰接于所述躯干上并能够相较于所述躯干作向上和
/
或向下翻转,所述角度控制组件用于控制所述芯片承载组件以铰接点作向上和
/
或向下翻转既定角度
。3.
如权利要求2所述的芯片角度控制装置,其特征在于:所述芯片承载组件包括一可转动地装配于所述躯干上的旋转轴以及与所述旋转轴远离所述躯干的一端连接的承载板;所述角度控制组件包括用于驱使所述旋转轴绕自身轴心转动的旋转单元;所述芯片承载组件包括铰接于所述躯干上的铰接轴以及与所述铰接轴上远离所述躯干的一端连接的承载板;所述角度控制组件被限定为用于驱使所述承载板相较于所述躯干作向上和
/
或向下运动的线性驱动单元;或者所述芯片承载组件包括一铰接于所述躯干上的铰接部
、
可转动装配于所述铰接部上并能够绕自身轴心转动的旋转轴以及与所述旋转轴上远离所述躯干的一端连接的承载板;所述角度控制组件包括用于驱使所述承载板作向上和
/
或向下运动的线性驱动单元以及用于驱使所述旋转轴绕自身轴心转动的旋转单元
。4.
如权利要求3所述的芯片角度控制装置,其特征在于:所述芯片承载组件包括并排设置的若干个承载件,每一承载件均包括旋转轴以及与所述旋转轴连接的承载板;若干个承载件中,以其中一承载件的旋转轴作为主动轴,所述主动轴可转动地装配于所述躯干上;其余承载件的旋转轴均作为从动轴,所述从动轴和主动轴上均套接有一联动齿轮,用于使所述每一从动轴均随着所述主动轴作相应旋转;所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:张喆垚,向柄臣,林珑君,桑涛,刘峰,伍明娟,陈瑶,丁雪萍,刘宇,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十四研究所,
类型:发明
国别省市:
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