【技术实现步骤摘要】
一种汞灯光源检测组件及UV固胶机
[0001]本专利技术涉及半导体
,尤其涉及一种光汞灯光源检测组件及
UV
固胶机
。
技术介绍
[0002]UV
固胶机是一种采用
UV
光源对光刻胶进行快速固化的设备,其被广泛应用于半导体领域中,以使晶圆在光刻
、
显影后进行固胶
。UV
光源是
UV
固胶机中的核心部件之一,
UV
光源的均匀性是保证
UV
固胶质量的重要参数,因此,为了保证晶圆固胶质量,需要定期对
UV
固胶机的光源均匀性进行检测
。
[0003]现有技术中,通常在
UV
固胶机内设置多个光源检测装置对固胶机内部的光源均匀性进行检测,但是该种检测方式需要的光源检测装置的数量较多,导致
UV
固胶机的成本较高,结构较为复杂;同时,由于光源检测装置固设在
UV
固胶机内,为避免光源检测装置对晶圆的光刻
、
搬运或者转移造成干涉,通常光源检测装置距离晶圆载台较远,导致光源检测装置的检测结构无法较好地体现靠近晶圆安装处的光照均匀性,造成检测精度难以保证
。
[0004]因此,亟需一种汞灯光源检测组件及
UV
固胶机,以解决上述技术问题
。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种汞灯光源检测组件及
UV
固 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种汞灯光源检测组件,其特征在于,包括:检测杆(1),包括垂直连接的主体杆部(
11
)和固定板部(
12
),所述主体杆部(
11
)沿第一方向延伸且横截面为矩形,所述固定板部(
12
)具有在第二方向相对设置的第一侧面和第二侧面,所述第二侧面与所述主体杆部(
11
)的一侧面平齐;检测安装壳(3),可拆卸安装于所述第一侧面并与所述固定板部(
12
)合围形成有检测安装腔(
312
),所述检测安装壳(3)背离所述第二侧面的一侧形成光接收面(
313
),所述光接收面(
313
)贯通设置有与所述检测安装腔(
312
)连通的光检测孔(
311
),所述光接收面(
313
)与所述第二侧面平行且间隔设置,所述光接收面(
313
)与所述第二侧面之间的间距小于
8mm
;光检测模块(2),安装于所述检测安装腔(
312
)内,所述光检测模块(2)包括沿第二方向依次层叠设置的检测基板(
21
)
、
光检测芯片(
22
)及滤光片(
23
),所述滤光片(
23
)覆盖所述光检测孔(
311
),所述检测基板(
21
)压设于所述固定板部(
12
)上,所述光检测芯片(
22
)与所述检测基板(
21
)电连接;握把(4),连接于所述主体杆部(
11
)远离所述固定板部(
12
)的一端,所述握把(4)内部设置有检测控制器,所述检测控制器与所述检测基板(
21
)通讯连接
。2.
根据权利要求1所述的汞灯光源检测组件,其特征在于,所述检测安装壳(3)包括垂直连接的检测安装部(
31
)和杆连接部(
32
),所述检测安装部(
31
)为与所述第二方向垂直的板状结构,所述检测安装部(
31
)与所述固定板部(
12
)合围形成所述检测安装腔(
312
),所述检测安装部(
31
)上开设有所述光检测孔(
311
),所述杆连接部(
32
)的横截面形状与所述主体杆部(
11
)的横截面形状相同,所述杆连接部(
32
)与所述主体杆部(
11
)的端面贴合,所述杆连接部(
32
)与所述主体杆部(
11
)可拆卸连接,所述检测安装部(
31
)与所述固定板部(
12
)可拆卸连接
。3.
根据权利要求1所述的汞灯光源检测组件,其特征在于,所述检测安装腔(
312
)包括沿第二方向连通的板安装腔(
3121
)和芯片安装腔(
3122
),所述光检测孔(
311
)贯通所述芯片安装腔(
3122
)的腔底,所述板安装腔(
3121
)的横截面积
、
所述芯片安装腔...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙文彬,戴立洪,
申请(专利权)人:无锡邑文微电子科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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