本揭露关于过滤器监测系统，用于监测过滤器的即时效率，以及用类似于过滤器的真实世界使用的测试来测试过滤器，以更新过滤器的技术规范。监测过滤器的即时效率的方法及系统可利用一或多个颗粒计数器以即时监测其效率。由颗粒计数器收集的数据可用于判定过滤器中的个别者是否需要通过反冲洗再生工艺来更换或再生。可利用自过滤器的真实世界测试更新的技术规范来判定是否需要更换或再生过滤器中的个别者。这些真实世界测试及即时监测降低工件曝光于污染物颗粒的可能性，从而降低报废成本。从而降低报废成本。从而降低报废成本。
【技术实现步骤摘要】
过滤器监测系统
[0001]本揭露关于过滤器监测系统。
技术介绍
[0002]一般而言，在晶圆厂(semiconductor manufacturing plant，FAB)内制造半导体装置或封装时，在晶圆厂(semiconductor fabrication plant，FAB)内储存各种液体，并用于精细化及处理工件(例如，晶圆、基板等)。用于将各种流体输送至FAB内的各种工件工艺工具的系统可包括流体可通过以到达工件工艺工具的管道。举例而言，管道可自储存流体的储存罐延伸至工件工艺工具。管道用以将流体自储存罐输送至工件工艺工具。举例而言，流体沿这些管道输送并由工件工艺工具接收，且工件工艺工具以一些方式利用流体在工件工艺工具处精细化或处理个别工件，以制造半导体装置或封装。
[0003]沿这些管道可存在过滤器，以在流体自储存罐行进至工件工艺工具时过滤流体。举例而言，这些过滤器用于过滤流体，以移除流体内存在的污染物(例如，微粒、碎屑等)。当流体沿管道移动至工件工艺工具时，这些过滤器分别捕集并撷取这些污染物。一旦过滤器到达其可用寿期的终点，则过滤器可经更换或再生。
技术实现思路
[0004]根据本揭露的一些实施例，一种过滤器监测系统包含：一储存罐；一管道，其包括：一末端，在该储存罐处并与该储存罐流体连通；及一第一流体途径，自该末端延伸至与该储存罐间隔开的一位置；一过滤器，位于该管道的该第一流体途径；一第一颗粒计数器，其沿着该第一流体途径并位于该过滤器的上游；及一第二颗粒计数器，沿着该第一流体途径并位于该过滤器的下游。
[0005]根据本揭露的一些实施例，一种过滤器监测系统包含：一管道，其包括一流体途径；一过滤器，其位于该管道的该流体途径；一取样阀，其与该流体途径流体连通并位于该过滤器的下游；及一还原剂取样系统，其与该取样阀流体连通。
[0006]根据本揭露的一些实施例，一种过滤器监测系统包含：一管道，包括一流体途径；一过滤器，位于该管道的该流体途径；一取样阀，与该流体途径流体连通并位于该过滤器的下游；及一还原剂取样系统，与该取样阀流体连通，该还原剂取样系统包括：一取样管，与该取样阀流体连通，该取样管包括与取样阀流体连通的一取样流体途径；一还原剂罐，位于该取样阀的下游；一还原剂泵，与该还原剂罐及该取样流体途径流体连通；及一颗粒计数器，位于该还原剂泵的下游。
附图说明
[0007]本揭露的态样在与随附附图一起研读时自以下详细描述内容来最佳地理解。应注意，根据行业中的标准规范，各种特征未按比例绘制。实际上，各种特征的尺寸可为了论述清楚经任意地增大或减小。
[0008]图1A绘示测试滤芯的滤膜的方法实例的流程图；
[0009]图1B绘示如图1A中所示的方法实例的第一步骤；
[0010]图1C绘示如图1A中所示的方法实例的第二步骤；
[0011]图1D绘示自如图1B中所示的过滤器切割的样品实例；
[0012]图2A绘示根据一些实施例的用以测试滤芯的滤膜的系统；
[0013]图2B绘示根据一些实施例的利用如图2A中所示的用以测试滤芯的滤膜的系统的方法的流程图；
[0014]图2C绘示根据一些实施例的利用如图2A中所示的用以测试滤芯的滤膜的系统关联在一起的各种数据的图形；
[0015]图3A绘示根据一些实施例的包括经即时监测的过滤器的系统；
[0016]图3B绘示根据一些实施例的关于即时监测如图3A中所示的系统的过滤器的图形；
[0017]图4A绘示根据一些实施例的当在过滤器上执行反冲洗再生工艺时，如图3A中所示的系统的过滤器的放大视图；
[0018]图4B绘示根据一些实施例的针对在如图4A中所示的过滤器上执行反冲洗再生工艺的结果的图形；
[0019]图5A绘示根据一些实施例的包括经即时监测的过滤器的系统；
[0020]图5B绘示根据一些实施例的如图5A中所示的横截面5B
‑
5B的放大视图；
[0021]图5C绘示根据一些实施例的如图5A及图5B中所示的系统的系统还原剂取样系统的方块图；
[0022]图5D绘示根据一些实施例的利用如图5A至图5C中所示的系统的系统还原剂取样系统的方法的流程图。
[0023]【符号说明】
[0024]100:流程图
[0025]102:滤膜
[0026]104:第一步骤
[0027]106:壳体
[0028]108:第二步骤
[0029]110:切割工具
[0030]112:样品
[0031]114:第三步骤
[0032]200:系统
[0033]202:滤芯
[0034]204:壳体
[0035]206:滤膜
[0036]208:第一开口
[0037]210:第二开口
[0038]212:第一流体途径
[0039]214:第二流体途径
[0040]216:箭头
[0041]218:第一阀
[0042]219:第三流体途径
[0043]220:第二阀
[0044]222:第一感测器
[0045]224:第二感测器
[0046]226:处理器
[0047]228:流程图
[0048]230:第一步骤
[0049]232:第二步骤
[0050]234:第三步骤
[0051]236:图形
[0052]238:曲线
[0053]240:曲线
[0054]242:曲线
[0055]244:第一点
[0056]246:第二点
[0057]248:第三点
[0058]250:孔径分布
[0059]300:系统
[0060]302:原材料罐
[0061]304:储存罐
[0062]306:泵
[0063]308:第一流体途径
[0064]309:箭头
[0065]310:第一过滤器
[0066]311:工件工艺工具
[0067]312:第二流体途径
[0068]314:第三流体途径
[0069]316:第二过滤器
[0070]318:箭头
[0071]320:阀
[0072]322:第四流体途径
[0073]324:箭头
[0074]326:第一颗粒计数器
[0075]328:第三过滤器
[0076]330:第二颗粒计数器
[0077]332:处理器
[0078]333:显示器
[0079]334:图形
[0080]336:第一线
[0081]338:第二线
[0082]340:箭头
[0083]342:第一阀
[0084]344:第二阀
[0085]346:壳体<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种过滤器监测系统，其特征在于，包含：一储存罐；一管道，包括：一末端，在该储存罐处并与该储存罐流体连通；及一第一流体途径，自该末端延伸至与该储存罐间隔开的一位置；一过滤器，位于该管道的该第一流体途径；一第一颗粒计数器，沿着该第一流体途径并位于该过滤器的上游；及一第二颗粒计数器，沿着该第一流体途径并位于该过滤器的下游。2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包含与该第一颗粒计数器及该第二颗粒计数器电连接的一处理器。3.如权利要求1或权利要求2所述的系统，其特征在于，进一步包含一阀，该阀沿着该管道的该第一流体途径并位于该过滤器的上游。4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，进一步包含：一循环管道，包括：一第一末端，在该储存罐处并与该储存罐流体连通；一第二末端，与该第一末端相对，该第二末端在该阀处并与该阀流体连通；及一第二流体途径，自该第一末端延伸至该第二末端。5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，进一步包含：一循环过滤器，设置于该第二流体途径。6.一种过滤器监测系统，其特征在于，包含：一管道，包括一流体途...
【专利技术属性】
技术研发人员：林恩添，曾誌江，于淳，翁巧苓，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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