涂浆装置及涂浆方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供涂浆装置及涂浆方法。能相对于基板的大型化实现基板保持机构的小型轻量化，能实现包含支承台的装置整体轻量化。设于支承台（１）、载置基板的基板保持机构（８）在Ｘ轴方向等间隔地配置多个基板载置构件（３２ａ～３２ｅ），多个基板载置构件通过在Ｕ形构件（３３ａ～３３ｅ）上载置平板状的吸附板（３４ａ～３４ｅ）而构成，与这些基板载置构件正交且等间隔地配置的多个连接构件（３５ａ～３５ｄ）连接在基板载置构件（３２ａ～３２ｅ）的下面侧，由这些基板载置构件（３２ａ～３２ｅ）和连接构件（３５ａ～３５ｄ）构成井形架状台。吸附板（３４ａ～３４ｅ）的上面设有吸附孔，构成基板的载置面。基板保持机构（８）由多个交叉滚子轴承（３６、３６ａ）在θ轴方向转动，由正交轴承（３７）在Ｘ、Ｙ轴方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在平面面板制造过程中用于在基板上涂浆或滴下液晶的涂浆装置及 涂浆方法。
技术介绍
作为以往的涂浆装置的基板保持机构，提出有这样的构成的基板保持机构，该基 板保持机构在该装置的支承台上设有X轴台，在该X轴台上设有能够在X轴方向移动的Y 轴台，在该Y轴台上设有能够在Y轴方向移动且能够转动(即在θ轴方向移动)的θ轴 台，另外，在该θ轴台上设有吸附固定基板的吸附台(例如参照专利文献1)。在记载于该专利文献1的技术中，吸附在吸附台的基板由Χ、Υ轴台、Θ轴台调整位 置、姿势，使该基板的各边与X、Y轴平行且相对于排出浆料的涂敷头部的喷嘴成为规定的 位置关系，将浆料等排出到基板上的规定的位置，这些X、Y轴台、θ轴台由伺服马达驱动， 该伺服马达由控制装置控制。另外，还提出有这样的结构的涂浆装置，该涂浆装置设有涂敷头部，具有门形架 (门形构架)，相对于基板使门形架移动，还在门形架上使涂敷头部移动，从而使该涂敷头 部相对于基板移动(例如参照专利文献2)。该专利文献2记载的技术，更具体地说，在装置的支承台上设置能够在X轴方向移 动的2台门形架，在这些各个门形架设置了能够在这些门形架的横梁上沿本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂浆装置，在支承台上设置门形架，该门形架能够移动地设置了１个或多个涂敷头，该涂敷头具有充填了浆料的浆料收容筒和从该浆料收容筒排出浆料的喷嘴排出口，在设置于该支承台上的基板载置台上搭载基板，该门形架相对于该基板移动，从该喷嘴排出口将浆料排出到基板上；其特征在于：该基板载置台是设置了多个吸附孔的多个第１构件和多个第２构件正交地组合而构成井形架形的结构的台，具有ＸＹθ轴移动机构，该ＸＹθ轴移动机构用于使该基板载置台移动及旋转，对载置在该基板载置台上的该基板的位置、姿势进行调整。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：前原信二，神尾正信，内村满幸，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]