一种太阳能硅片表面蚀刻装置制造方法及图纸

技术编号:39460499 阅读:5 留言:0更新日期:2023-11-23 14:54
本实用新型专利技术公开了一种太阳能硅片表面蚀刻装置,涉及太阳能硅片表面蚀刻技术领域其结构包括蚀刻容器、蚀刻容器顶部左侧前端与控制器底部固定连接,通过设置了升降吹液机构,升降吹液机构中的风机工作能够将自动夹持机构上的残留的蚀刻的液体吹掉,方便拿起被蚀刻的太阳能硅片,加快蚀刻的太阳能硅片晾干的过程,提高蚀刻装置的工作效率,通过设置了自动夹持机构,自动夹持机构中的把手被向右侧推动可以将需要进行蚀刻的太阳能硅片放置在自动夹持机构上,自动夹持机构中的把手被松开可以自动对自动夹持机构上的需要进行蚀刻的太阳能硅片进行夹持,使得太阳能硅片表面蚀刻装置使用起来更加的方便。使用起来更加的方便。使用起来更加的方便。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能硅片表面蚀刻装置


[0001]本技术涉及太阳能硅片表面蚀刻相关领域,具体是一种太阳能硅片表面蚀刻装置。

技术介绍

[0002]地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉,由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一,蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类;最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
[0003]现有太阳能硅片表面蚀刻装置在优化时,大多体现在便于对不同大小的太阳能硅片进行夹持的方面,例如专利号为CN202021092940.5的中国实用型专利就公开了《一种太阳能硅片表面蚀刻装置》,包括底座,所述底座顶部的左右两侧均固定连接有挡板,两个所述挡板之间固定连接有蚀刻容器,两个所述挡板的顶部固定连接有顶板,所述顶板的顶部固定安装有控制箱,所述控制箱的内部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的输出轴上固定连接有调节台,所述调节台的内部固定安装有双轴电机。
[0004]虽然上述的太阳能硅片表面蚀刻装置便于对不同大小的太阳能硅片进行夹持的方面有一定的优势,但是任然具有一定的弊端:
[0005]1、如图7所示,通过两个夹持架上均设有橡胶片来保证太阳能硅片夹持时十分稳定,同时调节台下降至太阳能硅片沉入蚀刻容器中时其底部的横板会与蚀刻容器的顶部贴合,进而保证了太阳能硅片的蚀刻稳定性,能够有效避免该装置出现蚀刻稳定性不足的情况,通过调节台的底部设有隔离板来尽可能的防止蚀刻液进入调节台内,能够有效增强该装置的安全性,从而有效的解决了太阳能硅片在蚀刻时难以保证稳定性,且难以对不同大小的硅片进行快速夹持的问题,但上述的太阳能硅片表面蚀刻装置,在蚀刻完太阳能硅片后,可以将太阳能硅片升起,使得太阳能硅片离开蚀刻的液体,但需要等待太阳能硅片上残留的蚀刻的液体流出才能拿起太阳能硅片,导致过多的时间被浪费掉,使得蚀刻装置的工作效率很难提高。
[0006]2、上述的太阳能硅片表面蚀刻装置,需要对电动推杆和双轴电机进行复杂的操作才能将太阳能硅片夹持住并降入蚀刻的液体中,导致太阳能硅片表面蚀刻装置使用起来不够方便。

技术实现思路

[0007]因此,为了解决上述不足,本技术在此提供一种太阳能硅片表面蚀刻装置。
[0008]本技术是这样实现的,构造一种太阳能硅片表面蚀刻装置,该装置包括蚀刻
容器,蚀刻容器顶部左侧前端与控制器底部固定连接;
[0009]其特征在于:还包括:
[0010]升降吹液机构,所述升降吹液机构左侧上端的底部与蚀刻容器顶部左侧中端固定连接;
[0011]自动夹持机构,所述自动夹持机构左右两侧上端表面与蚀刻容器内部左右两侧表面相互接触。
[0012]优选的,所述升降吹液机构包括:
[0013]进液管,所述进液管设置在蚀刻容器左侧中端;
[0014]出液管,所述出液管外表面右端与蚀刻容器左侧下端孔洞内侧表面固定连接;
[0015]螺旋盖,所述螺旋盖右侧凹槽内侧表面与出液管外表面左端螺纹连接。
[0016]优选的,所述升降吹液机构还包括:
[0017]限位滑槽柱,所述限位滑槽柱底部与蚀刻容器顶部左侧中端固定连接;
[0018]支撑直角板,所述支撑直角板右侧的底部与蚀刻容器顶部右侧中端固定连接;
[0019]电机,所述电机下端与支撑直角板顶部右侧固定连接。
[0020]优选的,所述升降吹液机构还包括:
[0021]螺杆,所述螺杆外表面上端与支撑直角板顶部右侧孔洞内侧表面转动连接,所述螺杆顶部与电机下端输出轴底部固定连接;
[0022]固定框,所述固定框底部前后两端与支撑直角板顶部左侧前后两端固定连接;
[0023]灰尘过滤网,所述灰尘过滤网外表面左右两端与固定框内侧左右两侧中端凹槽内侧表面固定连接;
[0024]风机,所述风机外侧表面与支撑直角板顶部左侧和顶部中左侧的孔洞内侧表面固定连接;
[0025]其中,所述进液管外表面右端与蚀刻容器左侧上端孔洞内侧表面固定连接。
[0026]优选的,所述自动夹持机构包括:
[0027]连接孔洞板,所述连接孔洞板设置在蚀刻容器上端;
[0028]孔洞,所述孔洞开设于连接孔洞板上下两侧右端;
[0029]连接柱,靠近螺杆的连接柱外表面上端与孔洞内侧表面下端滑动连接,远离螺杆的连接柱外表面上端与连接孔洞板底部左侧凹槽内侧表面固定连接。
[0030]优选的,所述自动夹持机构还包括:
[0031]夹持块,所述夹持块顶部中端与连接柱底部固定连接;
[0032]保护垫,所述保护垫外侧表面与夹持块内侧中端凹槽的内侧表面固定连接;
[0033]滑筒,所述滑筒左端与远离螺杆的夹持块的右端上下两侧的前后两端固定连接。
[0034]优选的,所述自动夹持机构还包括:
[0035]弹簧,所述弹簧左端与滑筒内部左端固定连接;
[0036]滑杆,所述滑杆左端与弹簧右端固定连接,所述滑杆外表面左端与滑筒内侧表面滑动连接,所述滑杆右端与靠近螺杆的夹持块的左端上下两侧的前后两端固定连接;
[0037]连接滑动块,所述连接滑动块底部与靠近螺杆的连接柱顶部中端固定连接,所述连接滑动块外表面下端与孔洞内侧表面上端滑动连接。
[0038]优选的,所述自动夹持机构还包括:
[0039]限位板,所述限位板上下两侧中端孔洞内侧表面与连接滑动块外表面中端固定连接,所述限位板底部表面与连接孔洞板顶部右侧表面相互接触;
[0040]把手,所述把手底部中端与连接滑动块顶部中端固定连接;
[0041]其中,所述连接孔洞板上下侧两侧右端孔洞内侧表面与螺杆外表面中下端螺纹连接。
[0042]优选的,所述滑筒一共设有四根,且四根滑筒呈平行设置在远离螺杆的夹持块的右端上,且滑筒内部都设有一弹簧和一滑杆。
[0043]本技术具有如下优点:本技术通过改进在此提供一种太阳能硅片表面蚀刻装置,与同类型设备相比,具有如下改进:
[0044]本技术所述一种太阳能硅片表面蚀刻装置,通过设置了升降吹液机构,升降吹液机构中的出液管能够对蚀刻容器进行排液,升降吹液机构中的风机工作能够将自动夹持机构上的残留的蚀刻的液体吹掉,方便拿起被蚀刻的太阳能硅片,加快蚀刻的太阳能硅片晾干的过程,提高蚀刻装置的工作效率。
[0045]本技术所述一种太阳能硅片表面蚀刻装置,通过设置了自动夹持机构,自动夹持机构中的把手被向右侧推动可以将需要进行蚀刻的太阳能硅片放置在自动夹持机构上,自动夹本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能硅片表面蚀刻装置,包括蚀刻容器(1),蚀刻容器(1)顶部左侧前端与控制器(2)底部固定连接;其特征在于:还包括:升降吹液机构(3),所述升降吹液机构(3)左侧上端的底部与蚀刻容器(1)顶部左侧中端固定连接;自动夹持机构(4),所述自动夹持机构(4)左右两侧上端表面与蚀刻容器(1)内部左右两侧表面相互接触;所述升降吹液机构(3)包括:进液管(31),所述进液管(31)设置在蚀刻容器(1)左侧中端;出液管(32),所述出液管(32)外表面右端与蚀刻容器(1)左侧下端孔洞内侧表面固定连接;螺旋盖(33),所述螺旋盖(33)右侧凹槽内侧表面与出液管(32)外表面左端螺纹连接;所述升降吹液机构(3)还包括:限位滑槽柱(34),所述限位滑槽柱(34)底部与蚀刻容器(1)顶部左侧中端固定连接;支撑直角板(35),所述支撑直角板(35)右侧的底部与蚀刻容器(1)顶部右侧中端固定连接;电机(36),所述电机(36)下端与支撑直角板(35)顶部右侧固定连接;所述升降吹液机构(3)还包括:螺杆(37),所述螺杆(37)外表面上端与支撑直角板(35)顶部右侧孔洞内侧表面转动连接,所述螺杆(37)顶部与电机(36)下端输出轴底部固定连接;固定框(38),所述固定框(38)底部前后两端与支撑直角板(35)顶部左侧前后两端固定连接;灰尘过滤网(39),所述灰尘过滤网(39)外表面左右两端与固定框(38)内侧左右两侧中端凹槽内侧表面固定连接;风机(310),所述风机(310)外侧表面与支撑直角板(35)顶部左侧和顶部中左侧的孔洞内侧表面固定连接;其中,所述进液管(31)外表面右端与蚀刻容器(1)左侧上端孔洞内侧表面固定连接;所述自动夹持机构(4)包括:连接孔洞板(41),所述连接孔洞板(41)设置在蚀刻容器(1)上端;孔洞(42),所述孔洞(42...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄超
申请(专利权)人:上海珈旺新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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