光刻机中的机械臂结构制造技术

本申请提供一种光刻机中的机械臂结构，包括第一机械臂、第二机械臂以及扭矩传感器，第一机械臂的两端与第二机械臂的两端连接，第二机械臂背离第一机械臂的一端与扭矩传感器连接，第二机械臂靠近第一机械臂的一侧的上壳体设置有卡孔，扭矩传感器信号线卡合于卡孔中；其中，扭矩传感器信号线经卡孔向第二机械臂的外侧穿出，并第二机械臂的外侧与扭矩传感器连接，以提高扭矩传感器信号线的更换效率。以提高扭矩传感器信号线的更换效率。以提高扭矩传感器信号线的更换效率。

【技术实现步骤摘要】
光刻机中的机械臂结构


[0001]本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种光刻机中的机械臂结构。

技术介绍

[0002]在现有光刻机中的机械臂结构中，扭矩传感器信号线通常是通过机械臂内部连接至扭矩传感器。但是，这样设置扭矩传感器信号线，若扭矩传感器信号线出现破损或者因其他情况需要更换时，通常需要将相应的夹具拆除之后，才能更换扭矩传感器信号线，更换完成之后，需要再将夹具等器件复原，从而导致更换效率低。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本申请提供一种光刻机中的机械臂结构，以解决现有的更换扭矩传感器信号线效率低的问题。
[0004]本申请提供一种光刻机中的机械臂结构，包括第一机械臂、第二机械臂以及扭矩传感器，所述第一机械臂的两端与所述第二机械臂的两端连接，所述第二机械臂背离所述第一机械臂的一端与所述扭矩传感器连接，所述第二机械臂靠近所述第一机械臂的一侧的上壳体设置有卡孔，扭矩传感器信号线卡合于所述卡孔中；
[0005]其中，所述扭矩传感器信号线经所述卡孔向所述第二机械臂的外侧穿出，并在所述第二机械臂的外侧与所述扭矩传感器连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机中的机械臂结构，其特征在于，包括第一机械臂、第二机械臂以及扭矩传感器，所述第一机械臂的两端与所述第二机械臂的两端连接，所述第二机械臂背离所述第一机械臂的一端与所述扭矩传感器连接，所述第二机械臂靠近所述第一机械臂的一侧的上壳体设置有卡孔，扭矩传感器信号线卡合于所述卡孔中；其中，所述扭矩传感器信号线经所述卡孔向所述第二机械臂的外侧穿出，并在所述第二机械臂的外侧与所述扭矩传感器连接。2.根据权利要求1所述的光刻机中的机械臂结构，其特征在于，所述第二机械臂还包括主壳体，所述主壳体具有凹槽，部分所述扭矩传感器信号线位于所述主壳体内，所述上壳体设置有固定孔，所述主壳体设置有与所述固定孔相匹配的固定槽，固定件卡合于所述固定孔与所述固定槽中。3.根据权利要求2所述的光刻机中的机械臂结构，其特征在于，所述上壳体具有向所述第一机械臂的一侧凸起的容纳部，所述容纳部具有向所述第一机械臂凹陷的容纳腔，所述卡孔位于所述容纳部上。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋佳杰，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：