晶圆废边处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆废边处理装置，实现对晶圆边缘废料的自动清除回收，结构紧凑，操作更加方便，改善工作效率；通过输送组件将装载有晶圆的工装盘输送至承载台上，

【技术实现步骤摘要】
晶圆废边处理装置


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体涉及一种晶圆废边处理装置
。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料为硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅
。
硅晶棒在经过研磨
、
抛光
、
切片后，形成硅晶圆片也就是晶圆
。
在晶圆加工过程中需要将晶圆分割为多个独立的晶粒再进行使用，因此需要将晶圆边缘不规则晶粒及废料去除，同时还需要保留晶圆内侧完整的晶粒；因此就需要晶圆废边处理装置
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆废边处理装置，以解决上述
技术介绍
中存在的现有技术问题
。
[0004]为解决上述的技术问题，本技术提供的技术方案为：提供了一种晶圆废边处理装置，包括机架
、
承载台，所述承载台设置在机架上，还包括压头和吸边组件，所述压头设置在承载台上方且通过
z
轴驱动组件驱动竖直方向运动，所述吸边组件设置在压头的一侧，用于对晶圆边缘废料的吸取
。
[0005]在上述技术方案基础上，还包括自找正组件，所述自找正组件包括轴套
、
导柱以及弹簧，所述轴套固定设置在支撑板上且设置有多个，所述支撑板设置在机架上，所述导柱一端设置在承载台底端，另一端设置在轴套内且之间设置有间隙，所述弹簧套设在导柱上且一端固定设置在承载台底端，另一端固定设置在轴套上r/>。
[0006]在上述技术方案基础上，还包括顶升机构，所述顶升机构设置在机架与承载台之间，所述支撑板固定设置在顶升机构的输出端
。
[0007]在上述技术方案基础上，所述
z
轴驱动组件包括
z
轴电机
、z
轴丝杠以及
z
轴螺母，所述
z
轴电机设置在机架上，所述
z
轴丝杠设置在
z
轴电机的输出端且由
z
轴电机驱动转动，所述
z
轴螺母套设在
z
轴丝杠上且滑动连接，所述压头设置在
z
轴螺母上
。
[0008]在上述技术方案基础上，所述压头的一侧还固定设置有视觉相机，所述压头顶端设置有第二电机且由第二电机驱动转动，所述第二电机设置在
z
轴螺母上，所述视觉相机与第二电机电信号连接
。
[0009]在上述技术方案基础上，所述吸边组件包括第三电机
、
安装盘
、
吸边气嘴以及废料箱，所述第三电机设置在
z
轴螺母上且与第二电机同轴设置，所述安装盘固定设置在第三电机输出端且由第三电机驱动转动，所述吸边气嘴设置在安装盘上且沿压头外侧壁圆周方向均匀设置有多个，所述吸边气嘴与废料箱通过管道连通
。
[0010]在上述技术方案基础上，还包括输送组件，所述输送组件包括第一电机
、
输送带
、
主动轮以及从动轮，所述第一电机设置在机架上，所述主动轮设置在第一电机的输出端且由第一电机驱动转动，所述从动轮通过输送带由主动轮驱动转动
。
[0011]在上述技术方案基础上，所述输送组件对称设置有两组且均通过安装架设置在机架上，所述安装架上设置有多个定位压件
。
[0012]在上述技术方案基础上，还包括
x
轴驱动组件以及
y
轴驱动组件，驱动压头在
x
轴
、y
轴方向的运动；所述
x
轴驱动组件
、y
轴驱动组件与
z
轴驱动组件结构组成相同，所述
z
轴电机设置在
y
轴驱动组件的
y
轴螺母上，所述
y
轴驱动组件的
y
轴电机设置在
x
轴驱动组件的
x
轴螺母上，所述
x
轴驱动组件的
x
轴电机设置在机架上
。
[0013]在上述技术方案基础上，所述安装架之间上还设置有调节组件，所述调节组件包括驱动机构以及螺母丝杠副，所述驱动机构设置在一侧安装架上且驱动螺母丝杠副中的丝杠转动，另一侧安装架固定设置在螺母丝杠副的螺母上
。
[0014]本技术提供的技术方案产生的有益效果在于：
[0015]1、
本技术中提供了一种晶圆废边处理装置，可以实现对晶圆边缘废料的自动清除回收，结构紧凑，操作更加方便，改善工作效率；具体的，通过输送组件将装载有晶圆的工装盘输送至承载台上，
z
轴驱动组件带动压头向下运动，直至与工装盘上的晶圆压紧，压紧后吸边组件工作将位于晶圆边缘部分的废料进行吸取去除，留下晶圆内侧完整的晶粒部分
。
[0016]2、
通过在承载台底端设置有自找正组件，具体的，所述轴套与导柱之间设置有间隙即允许导柱在设定范围内实现微量摆动，承载台底端设置有多个导柱配合即可实现承载台与压头底端压面之间的平行压紧，压紧后通过吸边组件将晶圆边缘废料进行吸除，解决了现有技术中因设备安装误差或工装盘加工误差等使得压头与晶圆不能压紧，从而造成晶圆内侧完整晶粒被误吸的问题
。
附图说明
[0017]图1是本技术的整体结构示意图；
[0018]图2是本技术的使用状态结构示意图；
[0019]图3是本技术中输送组件的立体结构示意图；
[0020]图4是本技术中输送组件另一角度的立体结构示意图；
[0021]图5是本技术中自找正组件的爆炸视图；
[0022]图6是本技术中
z
轴驱动组件
、x
轴驱动组件以及
y
轴驱动组件的结构示意图；
[0023]图7是本技术中吸边组件的结构示意图；
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：
[0025]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、
等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用
新型和简化描述，而不是指示或暗示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆废边处理装置，包括机架
(1)、
承载台
(3)
，所述承载台
(3)
设置在机架
(1)
上，其特征在于，还包括压头
(4)
和吸边组件
(5)
，所述压头
(4)
设置在承载台
(3)
上方且通过
z
轴驱动组件
(6)
驱动竖直方向运动，所述吸边组件
(5)
设置在压头
(4)
的一侧，用于对晶圆边缘废料的吸取
。2.
根据权利要求1所述的晶圆废边处理装置，其特征在于，还包括自找正组件
(8)
，所述自找正组件
(8)
包括轴套
(81)、
导柱
(82)
以及弹簧
(83)
，所述轴套
(81)
固定设置在支撑板
(9)
上且设置有多个，所述支撑板
(9)
设置在机架
(1)
上，所述导柱
(82)
一端设置在承载台
(3)
底端，另一端设置在轴套
(81)
内且之间设置有间隙，所述弹簧
(83)
套设在导柱
(82)
上且一端固定设置在承载台
(3)
底端，另一端固定设置在轴套
(81)
上
。3.
根据权利要求2所述的晶圆废边处理装置，其特征在于，还包括顶升机构
(10)
，所述顶升机构
(10)
设置在机架
(1)
与承载台
(3)
之间，所述支撑板
(9)
固定设置在顶升机构
(10)
的输出端
。4.
根据权利要求1所述的晶圆废边处理装置，其特征在于，所述
z
轴驱动组件
(6)
包括
z
轴电机
(61)、z
轴丝杠
(62)
以及
z
轴螺母
(63)
，所述
z
轴电机
(61)
设置在机架
(1)
上，所述
z
轴丝杠
(62)
设置在
z
轴电机
(61)
的输出端且由
z
轴电机
(61)
驱动转动，所述
z
轴螺母
(63)
套设在
z
轴丝杠
(62)
上且滑动连接，所述压头
(4)
设置在
z
轴螺母
(63)
上
。5.
根据权利要求4所述的晶圆废边处理装置，其特征在于，所述压头
(4)
的一侧还固定设置有视觉相机
(11)
，所述压头
(4)
顶端设置有第二电机
(12)
且由第二电机
(12)
驱动转动，所述第二电机
(12)
设置在
z
轴螺母
(63)
上，所述视觉相机
(11)
与第二电机
(12)
电信号连接
。6.
根据权利要求5所述的晶圆废边处理装置，其特征在于，所述吸边组件
(5)
包括第三电机
(51)、
安装盘<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张少杰，耿振虎，王广亮，刘仁传，李勋锡，
申请(专利权)人：中特科技青岛股份有限公司，
类型：新型
国别省市：