温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆废边处理装置，实现对晶圆边缘废料的自动清除回收，结构紧凑，操作更加方便，改善工作效率；通过输送组件将装载有晶圆的工装盘输送至承载台上，
...
该专利属于中特科技（青岛）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中特科技（青岛）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。