密封转移机构及芯片封装设备制造技术

本发明专利技术涉及转移机构技术领域，尤其是一种密封转移机构及芯片封装设备，该密封转移机构包括夹爪单元、移动单元以及通气单元，夹爪单元用于抓取工装，移动单元用于带动夹爪单元转移，至少存在有一个通气单元用于向密封腔通入气体，还至少有一个通气单元用于供密封腔排出气体，本发明专利技术采用将通气单元配置在夹爪单元上，使得通气单元借助移动单元带动夹爪单元去抓取工装时产生的运动，来推动气阀打开，使得移动单元在带动夹爪单元及夹爪单元所抓取的工装进行转移的过程中，能够保持对密封腔通气，从而实现在转移过程中对工装内的产品实施实时气氛保护，气阀关闭时密封腔为密闭环境，可避免密封腔内的产品表面因接触氧气而发生氧化。氧化。氧化。

【技术实现步骤摘要】
密封转移机构及芯片封装设备


[0001]本专利技术涉及转移机构
，尤其是一种密封转移机构，还涉及一种包含上述密封转移机构的芯片封装设备。

技术介绍

[0002]在半导体产品封装工艺中，半导体产品放置在工装上，而后由人工或机械手将装有半导体产品的工装在预热、烧结及冷却等工序之间转移；为了实现自动化生产，提高效率，目前芯片封装设备大多数采用机械手来精确抓取工装，并将工装搬运到预定位置处；然而现有的机械手仅仅只能实现工装的空间位置转移，无法在转移过程中对工装内的芯片实施实时气氛保护，导致芯片的基板表面容易发生氧化；鉴于此，本专利技术旨在提供一个能够在转移过程中对芯片实施实时气氛保护的密封转移机构。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中的不足，现提供一种密封转移机构，以及包括上述密封转移机构的芯片封装设备。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种密封转移机构，包括：夹爪单元，用于抓取工装，所述工装上具有气嘴及密封腔，所述气嘴与工装固定连接，并具有气路及与气路对应设置的气阀，所述气路的两端分别为位于气嘴外侧的外端口和连通密封腔的内端口，气阀处于打开状态时其所在气路的外端口和内端口相互连通，所述气阀处于关闭状态时其所在气路的外端口和内端口相互隔断；移动单元，与夹爪单元连接，用于带动夹爪单元转移；以及通气单元，至少存在有一个通气单元用于向密封腔通入气体，还至少有一个通气单元用于供密封腔排出气体，所述通气单元与气嘴一一对应，所述通气单元安装在夹爪单元上，所述通气单元内部具有外接气道，所述通气单元被配置成在工装被夹爪单元抓取时，通气单元将与其对应的气阀推动至打开状态，使通气单元的外接气道和与其对应气嘴的气阀的外端口密封连通；所述通气单元离开气阀时，气阀恢复至关闭状态。
[0005]进一步地，所述移动单元包含输出端用于驱动夹爪单元沿Z轴方向上下移动的Z轴进给组件，所述通气单元位于工装的上方；所述Z轴进给组件带动夹爪单元沿Z轴方向移动时，通气单元随夹爪单元沿Z轴方向移动，使得通气单元将与其对应气嘴的气阀推动至打开状态。
[0006]进一步地，所述夹爪单元包括夹爪座、第一夹爪、第二夹爪及动力装置，所述动力装置设置在夹爪座上，所述Z轴进给组件的输出端与夹爪座固定连接；所述动力装置用于驱动第一夹爪和第二夹爪沿X轴方向相对靠拢或远离，X轴方向与Z轴方向垂直，所述第一夹爪的下端凸出有第一托持部，所述第二夹爪的下端凸出有第二
托持部，所述工装被分别位于其两侧的第一夹爪和第二夹爪相对靠拢而夹持时，第一托持部和第二托持部均托住工装的下表面。
[0007]进一步地，所述通气单元包括通气杆及第一弹性元件，所述外接气道位于通气杆内，所述通气杆沿Z轴方向滑动安装于夹爪座上，所述第一弹性元件向下抵住通气杆，所述通气单元随夹爪单元沿Z轴方向向下移动时，通气杆向下抵住其所在通气单元相对应的气嘴的气阀，以将气阀推动至打开状态。
[0008]进一步地，所述通气单元还包括限位件及安装座，所述限位件及安装座均固定在夹爪座上，所述通气杆上具有凸缘，所述通气杆穿过安装座，并与安装座滑动连接；所述第一弹性元件的上端与限位件抵接，第一弹性元件的下端与凸缘的上端抵接，凸缘的下端与安装座抵接。
[0009]进一步地，所述通气杆的下端端部开设有与外接气道连通的连通孔，且具有向下凸出于通气杆下端端部的顶起部，所述通气杆的下端端部设有同时套设于顶起部及连通孔外的密封圈，所述外端口位于气嘴的上端端部；所述通气杆沿Z轴方向向下移动时，密封圈抵住其所在通气单元所对应的气嘴的上端端部，使通气单元的连通孔和与其对应气嘴的气阀的外端口密封连通，顶起部向下抵住其所在通气单元相对应的气嘴的气阀，以将气阀推动至打开状态。
[0010]进一步地，所述气嘴具有上孔、内腔和侧孔，所述上孔的外端端部为外端口，所述侧孔的外端端部为内端口，所述上孔的内端端部及侧孔的内端端部均延伸至与内腔连通；上孔、内腔及侧孔之间形成气路；所述气阀包括可移动的设置在内腔中的上密封件，上密封件通过第二弹性元件安装于封堵住上孔内端端部的位置，所述通气杆沿Z轴方向向下移动时，顶起部向下伸入其所在通气单元相对应的气嘴的气阀的上孔内，上密封件被顶起部按压以压缩第二弹性元件而向下移动，解除对上孔内端端部的封堵，使气阀处于打开状态。
[0011]进一步地，所述动力装置包括第一动力组件、第一滑座、第二动力组件及第二滑座，所述第一滑座和第二滑座均沿X轴方向滑动安装在夹爪座上，所述第一夹爪和第二夹爪均至少有一个；所述第一夹爪均与第一滑座固定连接，所述第一动力组件用于带动第一滑座沿X轴方向移动；所述第二夹爪均与第二滑座固定连接，所述第二动力组件用于带动第二滑座沿X轴方向移动。
[0012]进一步地，所述工装的一端具有若干与第一夹爪相匹配的第一夹槽，另一端具有若干与第二夹爪相匹配的第二夹槽，所述第一夹爪与第一夹槽一一对应，所述第二夹爪与第二夹槽一一对应；所述第一夹爪和第二夹爪相对靠拢时，第一夹爪嵌入第一夹槽内，所述第二夹爪嵌入第二夹槽内。
[0013]本专利技术还提供一种芯片封装设备，包括上述的密封转移机构。
[0014]本专利技术的有益效果是：本专利技术密封转移机构采用将通气单元配置在夹爪单元上，使得通气单元借助移动单元带动夹爪单元去抓取工装时产生的运动，来推动气阀打开，使得移动单元在带动夹爪单元及夹爪单元所抓取的工装进行转移的过程中，能够保持对密封
腔通气，从而实现在转移过程中对工装内的产品实施实时气氛保护，气阀关闭时密封腔为密闭环境，可避免密封腔内的产品表面因接触氧气而发生氧化。
[0015]通过以下参照附图对本申请的示例性实施例的详细描述，本申请的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0017]图1是本专利技术密封转移机构的三维示意图；图2是夹爪单元通过Z轴进给组件和Y轴进给组件安装在X轴输出板上的一侧的三维示意图；图3是图2中A的局部放大示意图；图4是夹爪单元通过Z轴进给组件和Y轴进给组件安装在X轴输出板上的另一侧的三维示意图；图5是夹爪单元一侧的三维示意图；图6是夹爪单元另一侧的三维示意图；图7是图6中B的局部放大示意图；图8是工装的三维示意图；图9是夹爪单元抓取工装时三维的示意图；图10是夹爪单元抓取工装时的俯视示意图；图11是图10中C
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C向剖视示意图；图12是图11中D的局部放大示意图；图13是工装上的气阀处关闭状态时的示意图；图14是图11中E的局部放大示意图；图15是 Y轴进给组件的三维示意图。
[0018]图中：1、夹爪单元；11、第一夹爪，11a、第一托持部，12、第二夹爪，12a、第二托持部，13、夹爪座，131、导向杆，14、第一动力组件，15、第一滑座，16、第二动力组件，17、第二滑座，18、传感器，19、第一限位座，110、第二限位座；2、工装；21、气嘴，211、端盖，2111、上孔，21本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种密封转移机构，其特征在于：包括：夹爪单元（1），用于抓取工装（2），所述工装（2）上具有气嘴（21）及密封腔（26），所述气嘴（21）与工装（2）固定连接，并具有气路（22）及与气路（22）对应设置的气阀（23），所述气路（22）的两端分别为位于气嘴（21）外侧的外端口（221）和连通密封腔（26）的内端口（222），气阀（23）处于打开状态时其所在气路（22）的外端口（221）和内端口（222）相互连通，所述气阀（23）处于关闭状态时其所在气路（22）的外端口（221）和内端口（222）相互隔断；移动单元，与夹爪单元（1）连接，用于带动夹爪单元（1）转移；以及通气单元（3），至少存在有一个通气单元（3）用于向密封腔（26）通入气体，还至少有一个通气单元（3）用于供密封腔（26）排出气体，所述通气单元（3）与气嘴（21）一一对应，所述通气单元（3）安装在夹爪单元（1）上，所述通气单元（3）内部具有外接气道（321），所述通气单元（3）被配置成在工装（2）被夹爪单元（1）抓取时，通气单元（3）将与其对应气嘴（21）的气阀（23）推动至打开状态，使通气单元（3）的外接气道（321）和与其对应气嘴（21）的气阀（23）的外端口（221）密封连通；所述通气单元（3）离开气阀（23）时，气阀（23）恢复至关闭状态。2.根据权利要求1所述的密封转移机构，其特征在于：所述移动单元包含输出端用于驱动夹爪单元（1）沿Z轴方向上下移动的Z轴进给组件（6），所述通气单元（3）位于工装（2）的上方；所述Z轴进给组件（6）带动夹爪单元（1）沿Z轴方向移动时，通气单元（3）随夹爪单元（1）沿Z轴方向移动，使得通气单元（3）将与其对应气嘴（21）的气阀（23）推动至打开状态。3.根据权利要求2所述的密封转移机构，其特征在于：所述夹爪单元（1）包括夹爪座（13）、第一夹爪（11）、第二夹爪（12）及动力装置，所述动力装置设置在夹爪座（13）上，所述Z轴进给组件（6）的输出端与夹爪座（13）固定连接；所述动力装置用于驱动第一夹爪（11）和第二夹爪（12）沿X轴方向相对靠拢或远离，X轴方向与Z轴方向垂直，所述第一夹爪（11）的下端凸出有第一托持部（11a），所述第二夹爪（12）的下端凸出有第二托持部（12a），所述工装（2）被分别位于其两侧的第一夹爪（11）和第二夹爪（12）相对靠拢而夹持时，第一托持部（11a）和第二托持部（12a）均托住工装（2）的下表面。4.根据权利要求3所述的密封转移机构，其特征在于：所述通气单元（3）包括通气杆（32）及第一弹性元件（31），所述外接气道（321）位于通气杆（32）内，所述通气杆（32）沿Z轴方向滑动安装于夹爪座（13）上，所述第一弹性元件（31）向下抵住通气杆（32），所述通气单元（3）随夹爪单元（1）沿Z轴方向向下移动时，通气杆（32）向下抵住其所在通气单元（3）相对应的气嘴（21）的气阀（23），以将气阀（23）推动至打开状态。5.根据权利要求4所述的密封转移机构，其特征在于：所述通气单元（3）还包括限位件（33）及安装座（34），所述限位件（33）及安装座（34）均固定在夹爪座（13）上，所述通气杆（32）上具有凸缘（322），所述通气杆（32）...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚国强，童显宗，
申请(专利权)人：江苏快克芯装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：