基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用制造技术

本发明专利技术涉及一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用，传感器包括基板和微米线3D结构，基板具有沿厚度方向设置的金属层，基板上设置有通孔，基板上沿着第一方向设置有第一传输线和第二传输线，第一传输线和第二传输线之间设置有金属板，第一方向与基板的厚度方向垂直；微米线3D结构包括主跳线、子跳线和跨接跳线，子跳线在金属板上平行排列，主跳线连接第一传输线和第二传输线，且主跳线与子跳线互相平行，跨接跳线连接金属板对角方向的通孔，跨接跳线横跨在所述主跳线上，形成带阻谐振器结构。本发明专利技术采用微米线3D结构的传感器设计，利用wi re

【技术实现步骤摘要】
基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用


[0001]本专利技术涉及传感器
，尤其是指一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用。

技术介绍

[0002]目前，已有许多基于微米线的传感器，但大多是用于力学传感方面，且微米线材料大多为半导体材料等，加工工艺复杂、成本较高。现有基于半导体微米线气体传感器都是利用半导体的电学特性(电流、电阻、电阻率等)来检测气体浓度的变化。气体分子与半导体材料发生反应，改变了半导体材料的物理、化学特性，进而导致半导体微米线的电学性质的改变，检测微米线电流、电阻等变化就可以表征气体浓度。基于半导体微米线的气体传感器大多将微米线加工于PCB、柔性衬底表面，属于平面结构，使得此类气体传感器灵敏度一般，对微米线的利用并没有达到最大化。同时，半导体微米线加工工艺对精度要求较高以保证微米线的形状符合要求，对加工设备提出了较高的要求。并且，半导体微米线加工需要用到各类有毒化学药品，对环境不友好，工艺流程复杂、用时较长。此外，有些半导体微米线是由纳米颗粒构成，不能被灰尘杂质污染，这需要在超净间进行加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器，其特征在于：包括：基板，其具有沿厚度方向设置的金属层，所述基板上设置有通孔，所述基板上沿着第一方向设置有第一传输线和第二传输线，所述第一传输线和第二传输线之间设置有金属板，其中所述第一方向与所述基板的厚度方向垂直；微米线3D结构，其包括主跳线、子跳线和跨接跳线，其中所述子跳线在所述金属板上平行排列，所述主跳线连接所述第一传输线和所述第二传输线，且所述主跳线与所述子跳线互相平行，所述跨接跳线连接所述金属板对角方向的通孔，且所述跨接跳线横跨在所述主跳线上，形成带阻谐振器结构。2.根据权利要求1所述的一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器，其特征在于：所述主跳线、子跳线和跨接跳线均为铝线。3.根据权利要求1或2所述的一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器，其特征在于：所述主跳线的数量为多个，多个主跳线等间距分布于所述金属板上，相邻两个主跳线之间设置有子跳线，且所述金属板边缘两侧布满子跳线。4.根据权利要求3所述的一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器，其特征在于：相邻所述主跳线与所述子跳线的间距为0...

【专利技术属性】
技术研发人员：强天，陈仟龙，雷玉双，杨森，李仲浩，李渊博，王彦雄，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：