一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置，包括机箱、双向多通道电子开关单元、耐压玻璃罩、真空气密性橡胶垫圈、真空气密封性航空插头，抽真空管管路、通气氛管管路、放气管管路、样品台、测试探针单元，所述样品台设置在耐压玻璃罩内，所述耐压玻璃罩内连接有抽真空管管路，所述耐压玻璃罩内连接有放气管管路，所述耐压玻璃罩内连接有通气氛管管路，所述机箱内设置有双向多通道电子开关单元。本实用新型专利技术中的测试装置将待测试样品放置在耐压玻璃罩环境内，且设置有双向多通道电子开关单元，一次实验能够对多个样品进行多个仪器的多个电性能测试，具有高效、方便以及多方面测试样品阻变性能的优点。方便以及多方面测试样品阻变性能的优点。方便以及多方面测试样品阻变性能的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置


[0001]本技术涉及阻变性能测试
，具体为一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置。

技术介绍

[0002]在当前主流的存储器技术中，DRAM 虽然速度快，但功耗大、容量低、成本高，且断电无法保存数据，使用场景受限；NAND Flash 可擦写次数低、数据写入速度慢、操作电压高，特别是随着人们对存储密度的要求越来越高，其等比例缩微几乎达到其物理极限，于是，各种新型存储技术被不断探索，以期取代传统闪存存储技术，在各种各样的新型存储技术中，如：相变存储器、铁电存储器、磁性随机存储器和阻变存储器（ReRAM）等，阻变存储技术以其许多优点如：擦写速度快、操作电压低、结构简单、可缩微性强以及与现有半导体工艺相兼容而受到人们的青睐，成为最有希望走向实际应用的新型存储技术之一。
[0003]但目前阻变存储技术在走向实际应用之前还存在一些问题需要克服，诸如擦写参数波动大、高低状态不稳定，可靠性、疲劳性低等不足，人们目前发现许多材料中都存在阻变存储现象，阻变行为变化多样，对于隐藏在纷繁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置，其特征在于，包括机箱、双向多通道电子开关单元、耐压玻璃罩、真空气密性橡胶垫圈、真空气密封性航空插头，抽真空管管路、通气氛管管路、放气管管路、样品台、测试探针单元，所述机箱内设置有双向多通道电子开关单元，所述耐压玻璃罩设置在机箱上表面，所述真空气密性橡胶垫圈设置在耐压玻璃罩和机箱上表面接触之间、所述真空气密封性航空插头通过穿孔方式设置在耐压玻璃罩扣住的机箱上表面，所述耐压玻璃罩内通过穿孔方式连接有抽真空管管路，所述耐压玻璃罩内连接有放气管管路，所述耐压玻璃罩内连接有通气氛管管路，所述样品台设置在耐压玻璃罩内。2.如权利要求1所述的一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置，其特征在于，机箱为上表面耐压加强的合金外壳仪器机箱。3.如权利要求1所述的一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置，其特征在于，耐压玻璃罩扣住的机箱上表面通过穿孔方式设置有多个真空气密封性航空插头。4.如权利要求1所述的一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置，其特征在于，耐压玻璃罩扣住的机箱上表面通过穿孔方式连接有抽真空管管路、放气管管路以及通气氛管管路，三个管路的一端都通过穿孔方式设置并固定在耐压玻璃罩扣住的机箱上表面，管路开口通往耐压玻璃罩内部空间，三个管路的另一端都经机箱内部，再在机箱侧壁通过穿孔方式通往机箱外部。5.如权利要求1所述的一种双向多通道以及温度和气氛可控的阻变性能测试装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：周歧刚，
申请(专利权)人：乐山师范学院，
类型：新型
国别省市：