下载基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用的技术资料

文档序号:39400114

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本发明涉及一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用,传感器包括基板和微米线3D结构,基板具有沿厚度方向设置的金属层,基板上设置有通孔,基板上沿着第一方向设置有第一传输线和第二传输线,第一传输线和第二传输线之间设置有金属板,第...
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