一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法技术

本发明专利技术提供一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，包括以下步骤：将锗片与临时衬底粘接；将所述锗片和临时衬底放入第一溶液，获取所述锗片和临时衬底的浮力F；根据所述浮力F，计算所述锗片腐蚀减薄到目标重量时，将所述锗片和临时衬底提起所需的拉力；将所述第一溶液更换为第二溶液，所述第二溶液对所述锗片进行腐蚀减薄；当所述锗片腐蚀减薄到所述目标重量时，所述拉力将所述锗片与临时衬底从所述第二溶液中提起，与所述第二溶液脱离。本发明专利技术的有益效果是在锗片腐蚀减薄过程中，对锗片的重量进行精确控制，结构简单，操作便捷，大幅缩减了锗片腐蚀减薄工序的工作量，提高了工作效率，保证了产品质量。保证了产品质量。保证了产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法


[0001]本专利技术属于太阳能电池
，尤其是涉及一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法。

技术介绍

[0002]锗基三结太阳能电池在空间飞行器中有着广泛的应用，具有高抗辐照、高可靠等优点。为了降低电池的重量比功率，需要对锗片进行腐蚀减薄。在锗片腐蚀减薄的过程中，需要对锗片的重量进行精确控制。在现有技术中，目前对锗反应控制还没有有效的方法，无法对锗片的重量进行精确控制。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，有效解决了锗片腐蚀减薄过程中，无法对锗片重量进行精确控制的问题，克服了现有技术的不足。
[0004]本专利技术采用的技术方案是：一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，包括以下步骤：
[0005]将锗片与临时衬底粘接；
[0006]将所述锗片和临时衬底放入第一溶液，获取所述锗片和临时衬底的浮力F；
[0007]根据所述浮力F，计算所述锗片腐蚀减薄到目标重量时，将所述锗片和临时衬底提起所需的拉力；
[0008]将所述第一溶液更换为第二溶液，所述第二溶液对所述锗片进行腐蚀减薄；
[0009]当所述锗片腐蚀减薄到所述目标重量时，所述拉力将所述锗片与临时衬底从所述第二溶液中提起。
[0010]进一步，所述第一溶液和第二溶液的密度相同。
[0011]进一步，所述第一溶液和第二溶液的液面高度均大于所述锗片和临时衬底的高度。
[0012]进一步，所述锗片和临时衬底的上方设有滑轮组，所述滑轮组上绕设有吊装带，所述吊装带一端与所述锗片和临时衬底连接，另外一端连接有托盘，所述托盘用于放置砝码，用于提供所述拉力。
[0013]进一步，所述滑轮组包括两个等高设置的定滑轮，所述吊装带绕设在所述定滑轮上。
[0014]进一步，所述吊装带采用耐腐蚀材料。
[0015]进一步，在获取所述锗片和临时衬底的浮力F的步骤中，在所述托盘上放置所述砝码，当所述锗片和临时衬底被提起，且所述锗片和临时衬底的顶部未超过所述第一溶液的液面，所述吊装带的两端保持平衡时，即可获取所述锗片和临时衬底的浮力F。
[0016]进一步，在所述第二溶液对所述锗片进行腐蚀减薄的步骤中，所述托盘和砝码的
重力G需满足以下公式，
[0017]G2
‑
F＜G＜G1
‑
F
[0018]其中，G1为减薄前所述锗片和临时衬底的重力，G2为减薄后所述锗片和临时衬底的重力。
[0019]进一步，所述临时衬底为塑料材质或者玻璃材质。
[0020]进一步，所述第一溶液为NaCl溶液，所述第二溶液为HF溶液。
[0021]本专利技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，在锗片腐蚀减薄过程中，对锗片的重量进行精确控制，结构简单，操作便捷，大幅缩减了锗片腐蚀减薄工序的工作量，提高了工作效率，保证了产品质量。
附图说明
[0022]图1是本专利技术实施例一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]1、锗片
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2、临时衬底
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3、容器
[0025]4、吊装带
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5、定滑轮
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6、托盘
[0026]7、砝码
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8、液面
具体实施方式
[0027]本专利技术实施例提供了一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，下面结合附图对本专利技术的实施例做出说明。
[0028]在本专利技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0029]本专利技术实施例一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，包括以下步骤：将锗片1与临时衬底2粘接；将锗片1和临时衬底2放入第一溶液，获取锗片1和临时衬底2的浮力F；根据浮力F，计算锗片1腐蚀减薄到目标重量时，将锗片1和临时衬底2提起所需的拉力；将第一溶液更换为第二溶液，第二溶液对锗片1进行腐蚀减薄。当锗片1腐蚀减薄到目标重量时，拉力将锗片1与临时衬底2从第二溶液中提起，并与第二溶液脱离。
[0030]由于锗片1的形状为异形，无法直接计算出锗片1的浮力。因此将锗片1和临时衬底2放入第一溶液中通过重力平衡计算出锗片1和临时衬底2的浮力。由于锗片1减薄的厚度很小，锗片整体体积的改变可以忽略不计。第一溶液和第二溶液的液面8的高度均大于锗片1和临时衬底2的高度，即锗片1和临时衬底2在水中的体积保持不变。为了使锗片1和临时衬底2在第一溶液和第二溶液中的浮力保持不变，第一溶液和第二溶液的密度需要相同，具体的密度不做限制，通常选用密度为1.0～1.1g/cm3的溶液。
[0031]具体的，锗片1腐蚀减薄的装置如图1所示，包括容器3、滑轮组和吊装带4，滑轮组
包括两个等高的定滑轮5，设置在容器3的上部。锗片1与临时衬底2粘接后放置在容器3内。吊装带4绕设在两个定滑轮5上，选用耐腐蚀材质，如聚四氟乙烯或者环氧树脂，一端连接锗片1和临时衬底2，另外一端连接托盘6，用于放置砝码7。通过在托盘6上放置砝码7，提供将锗片1和临时衬底2向上提起的拉力。
[0032]在获取锗片1和临时衬底2的浮力F的步骤中，在容器3中放置第一溶液，使第一溶液的液面8没过锗片1和临时衬底2的顶部，在托盘6上放置砝码7。当锗片1和临时衬底2被提起，且锗片1和临时衬底2的顶部未超过第一溶液的液面8，吊装带4的两端保持平衡时，通过重力平衡计算即可得出锗片1和临时衬底2的浮力F，锗片1和临时衬底2的重力减去砝码和托盘的重力即为浮力F。
[0033]在第二溶液对锗片1进行腐蚀减薄的步骤中，将第一溶液更换为第二溶液，使第二溶液的液面8没过锗片1和临时衬底2的顶部，在托盘6上放置砝码7。托盘6和砝码7的重力G需满足以下公式：
[0034]G2
‑
F＜G＜G1
‑
F
[0035]其中，G1为减薄前锗片1和临时衬底2的重力，G2为减薄后锗片1和临时衬底2的重力。m
[0036]当锗片1刚开始腐蚀减薄时，锗片1和临时衬底2的底部放置在容器1的底部。随着反应的进行，锗片1和临时衬底2的重量逐渐减小，当锗片1腐蚀减薄到目标重量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，其特征在于，包括以下步骤：将锗片与临时衬底粘接；将所述锗片和临时衬底放入第一溶液，获取所述锗片和临时衬底的浮力F；根据所述浮力F，计算所述锗片腐蚀减薄到目标重量时，将所述锗片和临时衬底提起所需的拉力；将所述第一溶液更换为第二溶液，所述第二溶液对所述锗片进行腐蚀减薄；当所述锗片腐蚀减薄到所述目标重量时，所述拉力将所述锗片与临时衬底从所述第二溶液中提起，与所述第二溶液脱离。2.根据权利要求1所述的一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，其特征在于：所述第一溶液和第二溶液的密度相同。3.根据权利要求1所述的一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，其特征在于：所述第一溶液和第二溶液的液面高度均大于所述锗片和临时衬底的高度。4.根据权利要求1
‑
3任一所述的一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，其特征在于：所述锗片和临时衬底的上方设有滑轮组，所述滑轮组上绕设有吊装带，所述吊装带一端与所述锗片和临时衬底连接，另外一端连接有托盘，所述托盘用于放置砝码，用于提供所述拉力。5.根据权利要求4所述的一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，其特征在于：所述滑轮组包括两个等高设置的定滑轮，所述吊装带绕设在所述定滑轮上。6.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭宏亮，姚立勇，杨亦桐，刘如彬，薛超，魏星，李正，解晓龙，
申请(专利权)人：中电科蓝天科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：