反射镜的调整机构制造技术

一种反射镜的调整机构，包括固定座，其容纳反射镜；设在固定座上的法向可调固定部，其将固定座固定至基部，法向可调固定部在固定座上形成经过固定座的中心的对称轴，并且使得对称轴可沿反射镜的法向移动；沿对称轴设置的粗调部，其调整固定座相对于对称轴的倾角；沿对称轴设置的精调部，其调整固定座相对于对称轴的倾角；其中，粗调部的倾角调整范围大于精调部的倾角调整范围。本实用新型专利技术的反射镜调整机构采用相对于对称轴均布的多点调整，通过调整两侧的粗调螺钉与微调螺钉以及支点在反射镜法向方向的位置即可调整反射镜在光路中的位置，其结构简单，调整效率高，光路光斑容易控制，机械结构可随反射镜的大小变化，不受空间的限制。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及调整机构，尤其涉及反射镜法线方向的调整机构。
技术介绍
反射镜在光学系统中用于不同角度的光路方向转换。为了使入射到反射镜上的光 线沿系统要求的方向出射，就需要对反射镜法线方向进行调整。对于反射镜位置的固定，不 同的需求及空间位置有不同的安装及调节方式。对于用反射镜把光束改变90度方向的应 用，目前光学系统中法线方向的调整机构包括调节座、镜座、调节螺钉以及球面垫圈等，在 法线方向上调节座的中心插入一个平调螺钉作为反射镜旋转角度的中心支点来调整反射 镜的二维倾角。此结构需要有一定的空间，不能通用于任何光路中。此外，现有技术还采用 在平面上间隔120度均布三个粗调螺钉、三个微调螺钉调整反射镜的角度，此结构虽然结 构简单，随空间位置结构尺寸可调，但没有固定支点，反射镜位置不容易调整与锁紧。解决 此问题需要在结构上加球面垫圈，不仅增加零件，而且对于空间受限制的结构，小型的球面 垫圈不易加工。再加上反射镜倾角不易调整，光斑路径不易控制，调整效率低。
技术实现思路
有鉴于现有技术的上述缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种结构简 单，调整精度高的反射镜调整机构。为实现上述目的，本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射镜的调整机构，其特征在于，包括：固定座，其容纳所述反射镜；设在所述固定座上的法向可调固定部，其将所述固定座固定至基部，所述法向可调固定部在所述固定座上形成经过所述固定座中心的对称轴，并且使得所述对称轴可沿所述反射镜的法向移动；沿所述对称轴设置的粗调部，其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角；沿所述对称轴设置的精调部，其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角；其中，所述粗调部的倾角调整范围大于所述精调部的倾角调整范围。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张春莲，徐兵，蔡巍，陈跃飞，王端秀，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]