一种反应回流塔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种反应回流塔，包括：罐体，所述罐体的侧端固定连接有固定架，且固定架位于罐体的下端，所述固定架套接于罐体，所述固定架的下端固定连接有支撑架，所述支撑架的下端固定连接有底座，所述罐体的内部设置有腔室，所述腔室的侧端固定连接有冷却板，且冷却板位于腔室的两侧并交错排列，所述罐体的下端中部固定连接有出料管二，所述罐体的侧端中部固定连接有进料管，所述罐体的上端固定连接有出料管一，所述进料管、出料管一和出料管二贯穿罐体，且延伸至腔室内。能够将制造六氟乙烷时产生的水蒸气进行冷凝回流，能够持续带走反应装置内过剩热量，维持反应装置内各点的热平衡。热平衡。热平衡。

【技术实现步骤摘要】
一种反应回流塔


[0001]本技术涉及六氟乙烷
，特别涉及一种反应回流塔。

技术介绍

[0002]六氟乙烷在半导体与微电子工业中用作等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂，还可用于光纤生产与低温制冷。因其具有无毒无臭、高稳定性而被广泛应用在半导体制造过程中。通常以活性炭与氟为原料进行制发，但由于制造六氟乙烷时需要进行加热，反应装置中的水分不断蒸发，待水分蒸发完全后会导致反应装置过热，影响反应速率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于，提供一种反应回流塔，能够将生产六氟乙烷中的水蒸气进行冷凝回流，能够持续带走反应装置内过剩热量，维持反应装置内各点的热平衡，同时方便将带走的热量进行回收利用，降低生产成本。
[0004]为实现上述目的，提供一种反应回流塔，包括：罐体，所述罐体的侧端固定连接有固定架，且固定架位于罐体的下端，所述固定架套接于罐体，所述固定架的下端固定连接有支撑架，所述支撑架的下端固定连接有底座，所述罐体的内部设置有腔室，所述腔室的侧端固定连接有冷却板，且冷却板位于腔室的两侧并交错排列，所述罐体的下端中部固定连接有出料管二，所述罐体的侧端中部固定连接有进料管，所述罐体的上端固定连接有出料管一，所述进料管、出料管一和出料管二贯穿罐体，且延伸至腔室内。能够持续带走反应装置内过剩热量，维持反应装置内各点的热平衡。
[0005]根据所述的一种反应回流塔，所述罐体的侧端固定连接有冷却阀，且冷却阀位于冷却板的侧端，所述冷却阀的内部设置有输入通道和输出通道，所述输入通道与输出通道穿过冷却阀，且贯穿罐体。能够将冷却液通入冷却板内，冷凝水蒸气。
[0006]根据所述的一种反应回流塔，所述冷却板的内部设置有冷却盘管，所述冷却盘管的输入端固定连接于输入通道，所述冷却盘管的输出端固定连接于输出通道。能够增大冷却板的冷却面，提高冷凝水蒸气的效率。
[0007]根据所述的一种反应回流塔，所述冷却阀的侧端固定连接有管道，且管道远离罐体，所述管道分别固定连接于输入通道和输出通道，且管道使冷却阀串联。能够使冷却液不断流动，不断带走水蒸气中的热量。
[0008]根据所述的一种反应回流塔，所述冷却板和腔室侧壁为金属铜材质。防止回流塔被氟气所腐蚀。
[0009]根据所述的一种反应回流塔，所述冷却板向下倾斜一定角度，且冷却板的表面光滑。能够减少冷却板表面的水分残留，保证水蒸气冷凝的效率。
[0010]本技术的有益效果如下：利用冷却板能够将生产六氟乙烷时产生的水蒸气进行冷凝回流，维持反应装置内各点的热平衡，并且降低六氟乙烷气体中的水蒸气含量。
[0011]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述
中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0012]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0013]图1为本技术一种反应回流塔的立体结构图；
[0014]图2为本技术一种反应回流塔的前视结构图；
[0015]图3为本技术一种反应回流塔的前视截面结构图；
[0016]图4为图3中A处的局部放大结构图。
[0017]图例说明：
[0018]1、出料管一；2、罐体；3、进料管；4、固定架；5、支撑架；6、底座；7、管道；8、冷却阀；9、出料管二；10、腔室；11、冷却板；12、冷却盘管；13、输入通道；14、输出通道。
具体实施方式
[0019]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0020]参照图1
‑
4，本技术实施例一种反应回流塔，其包括：罐体2，罐体2的侧端固定连接有固定架4，且固定架4位于罐体2的下端，固定架4套接于罐体2，固定架4的下端固定连接有支撑架5，支撑架5的下端固定连接有底座6，罐体2的内部设置有腔室10，腔室10的侧端固定连接有冷却板11，且冷却板11位于腔室10的两侧并交错排列，罐体2的下端中部固定连接有出料管二9，罐体2的侧端中部固定连接有进料管3，罐体2的上端固定连接有出料管一1，进料管3、出料管一1和出料管二9贯穿罐体2，且延伸至腔室10内。
[0021]罐体2的侧端固定连接有冷却阀8，且冷却阀8位于冷却板11的侧端，冷却阀8的内部设置有输入通道13和输出通道14，输入通道13与输出通道14穿过冷却阀8，且贯穿罐体2。
[0022]冷却板11的内部设置有冷却盘管12，冷却盘管12的输入端固定连接于输入通道13，冷却盘管12的输出端固定连接于输出通道14。
[0023]冷却阀8的侧端固定连接有管道7，且管道7远离罐体2，管道7分别固定连接于输入通道13和输出通道14，且管道7使冷却阀8串联。
[0024]冷却板11和腔室10侧壁为金属铜材质。
[0025]冷却板11向下倾斜一定角度，且冷却板11的表面光滑。
[0026]工作原理：将反应装置中生产的六氟乙烷通过进料管3输入到反应回流塔的腔室10中，通过冷却板11对六氟乙烷气体中混合的水蒸气进行冷凝，同时冷却液通过管道7进入冷却阀8的输入通道13中，然后进入冷却盘管12中，吸收水蒸气热量后的冷却液通过输出通道14进入管道7后流出，使冷却板11不断保持低温，对水蒸气进行冷凝，冷凝后的六氟乙烷气体通过出料管一1排出回流塔，水蒸气冷凝后形成的液体，通过出料管二9回到反应装置中，用以维持反应装置内各点的热平衡。
[0027]上面结合附图对本技术实施例作了详细说明，但是本技术不限于上述实施例，在所述
普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本技术宗
旨的前提下作出各种变化。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应回流塔，其特征在于，包括：罐体(2)，所述罐体(2)的侧端固定连接有固定架(4)，且固定架(4)位于罐体(2)的下端，所述固定架(4)套接于罐体(2)，所述固定架(4)的下端固定连接有支撑架(5)，所述支撑架(5)的下端固定连接有底座(6)，所述罐体(2)的内部设置有腔室(10)，所述腔室(10)的侧端固定连接有冷却板(11)，且冷却板(11)位于腔室(10)的两侧并交错排列，所述罐体(2)的下端中部固定连接有出料管二(9)，所述罐体(2)的侧端中部固定连接有进料管(3)，所述罐体(2)的上端固定连接有出料管一(1)，所述进料管(3)、出料管一(1)和出料管二(9)贯穿罐体(2)，且延伸至腔室(10)内。2.根据权利要求1所述的一种反应回流塔，其特征在于，所述罐体(2)的侧端固定连接有冷却阀(8)，且冷却阀(8)位于冷却板(11)的侧端，所述冷却阀(8)的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洪祥，王京，鲍飞，胡良平，巫健，
申请(专利权)人：福建省清流县东莹化工有限公司，
类型：新型
国别省市：