一种用于热场环境的测量尺制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于热场环境的测量尺，包括测量尺本体，套设在测量尺本体上的滑动尺，滑动尺头部下侧设置第一测量爪，滑动尺头部上侧设置第二测量爪，第一测量爪测量端设置在所述第一测量爪左侧与测量尺本体垂直且与测量尺本体端部齐平，第二测量爪为长方形，第二测量爪测量端设置在所述第二测量爪右侧与测量尺本体垂直且与测量尺本体端部齐平，第二测量爪上设置有刻度线，刻度线与第二测量爪测量端齐平，滑动尺可在测量尺本体上滑动，并采用紧固件紧固定位。两种类型的测量爪能够满足不同形式尺寸的测量，提高了热场装配精度，提升了热场组装效率，缩短拆清时间，从而提升热场内部环境，提高单晶硅棒生产品质。提高单晶硅棒生产品质。提高单晶硅棒生产品质。

【技术实现步骤摘要】
一种用于热场环境的测量尺


[0001]本技术涉及单晶硅生产过程测量工具
，尤其涉及一种单晶硅生产热场组件间距测量尺。

技术介绍

[0002]目前在热场组装过程中，主要使用直尺或卷尺测量器盖距、底加热器下限等尺寸，但受热场操作空间小、石墨件易碎、保障热场高纯卫生等因素影响；存在测量读数困难、需多次测量反复确认、测量精确度低等问题，导致测量周期较长，影响装炉工时，同时影响热场内部环境和单晶硅棒品质。
[0003]如图1所示，公布号为“CN114018128A”名称为“一种测量隔音层厚度的量具及测量方法”的专利技术专利公开了一种测量隔音层厚度的量具，包括针形测量尺、测量滑块和紧固螺钉；针形测量尺的尺身上标有刻度值，测量滑块的底部为大贴合平面，测量滑块滑动套装于针形测量尺的外周中部上，可上下滑动，并采用紧固螺钉定位。该测量尺仅能测量被测物的深度，无法满足其它形式尺寸的测量，无法满足实际需求。
[0004]公告号为“CN218410923U”名称为“一种工业设计测绘尺”的技术专利公开了一种工业设计测绘尺，包括测量尺，所述测量尺的上端设有上卡尺，所述测量尺的下端设有下卡尺，所述上卡尺和下卡尺的外端均设有卡刀，所述测量尺还包括收纳结构，用于卡刀在使用完成的收回，所述收纳结构包括滑动安装在上卡尺内的重力杆和推动重力杆上下移动的卡杆，用于推动重力杆的上下移动，使得卡刀的推出和收回，所述测量尺还包括辅助测量结构，用于对不同位置的内外径进行测量时上卡尺和下卡尺距离测量尺的位置高度调节，所述辅助测量结构包括固定安装在上卡尺和下卡尺内段的连接杆和用于辅助连接杆滑动的齿条和齿轮筒，用于调节连接杆的伸出长度。所述测量尺能够满足不同位置的内外径测量时上下卡尺距离测量尺的位置高度调节，但是无法测量热场的器盖距。

技术实现思路

[0005]为了解决上述现有技术中测量尺仅有一种测量功能或者无法测量热场器盖距的问题。
[0006]本技术提出了一种用于热场环境的测量尺。本技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]一种用于热场环境的测量尺，包括测量尺本体，套设在测量尺本体上的滑动尺，滑动尺头部下侧设置第一测量爪，滑动尺头部上侧设置第二测量爪，第一测量爪测量端设置在所述第一测量爪左侧与测量尺本体垂直且与测量尺本体端部齐平，第二测量爪为长方形，第二测量爪测量端设置在所述第二测量爪右侧与测量尺本体垂直且与测量尺本体端部齐平，第二测量爪上设置有刻度线，刻度线与第二测量爪测量端齐平，滑动尺可在测量尺本体上滑动，并采用紧固件紧固定位。
[0008]进一步的，在所述测量尺本体上开设腰形槽，在所述滑动尺上开设通孔，所述紧固
件穿过所述滑动尺上开设的通孔，将所述滑动尺限制在所述测量尺本体上开设的腰形槽范围内滑动。
[0009]进一步的，所述紧固件包括紧固螺栓和紧固螺母。
[0010]进一步的，所述紧固螺栓为圆柱头螺栓。
[0011]进一步的，所述紧固螺母为蝶形螺母。
[0012]本技术设置了第一测量爪和第二测量爪，使得测量尺能够满足多种形式尺寸的测量，避免了在生产过程中将产品从热场环境中取出，造成产品损坏的问题。同时避免了反复打开热场影响热场环境，从而提升了单晶硅棒的品质。
[0013]本技术的优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释，这些实施例，是参照附图仅作为例子给出的。
附图说明
[0014]图1为现有技术整体结构示意图。
[0015]图2为本技术整体结构示意图。
[0016]图3为本技术第一测量爪使用方法示意图。
[0017]图4为本技术第二测量爪使用方法示意图。
[0018]图5为本技术实施例二示意图
[0019]图中标示：
[0020]1、测量尺本体；2、滑动尺；3、第一测量爪；31、第一测量爪测量端；4、第二测量爪；41、第二测量爪测量端；5、紧固件；51、紧固螺栓；52、紧固螺母；6、刻度线；7、器盖；8、热场底部加热器
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本申请作进一步说明。
[0022]如图2所示，为本技术第一实施例。本技术包括测量尺本体1，所述测量尺本体1上套设滑动尺2，所述滑动尺2下端设置第一测量爪3，所述滑动尺2上端设置第二测量爪4，所述滑动尺2与测量尺本体1之间能够相互滑动，所述滑动尺2与测量尺本体1之间设置紧固件5用于限制和放开滑动尺2的相对滑动。第一测量爪测量端31设置在所述第一测量爪3的左侧，与测量尺本体1垂直，且初始状态与测量尺本体1一端齐平。所述测量尺本体1一端为0点。所述第二测量爪4为长方形，第二测量爪测量端41设置在所述第二测量爪的右侧，与测量尺本体1垂直，且与测量尺本体1的0点一端齐平。所述第二测量尺4上设置有刻度线6，所述刻度线6与测量尺本体1和所述第二测量尺测量端41齐平。所述紧固件5为圆柱头螺栓，设置在所述滑动尺2底部。
[0023]如图3所示，为本技术第一种使用方法，即所述第一测量尺3的使用方法。使用时，将所述测量尺本体1置于热场环境内，将所述测量尺本体1的0点端与热场底部加热器8贴合；滑动滑动尺2，使所述第一测量尺测量端31平面完全接触器盖7上表面；锁紧紧固件5；将测量尺整体从热场环境中取出，并读取所述刻度线6对应位置上测量尺本体1的读数。将读数与生产过程标准进行对比，并作出相应调整。
[0024]如图4所示，为本技术第二种使用方法，即所述第二测量尺4的使用方法，使用
时，将所述测量尺本体1置于热场环境内，将所述测量尺本体1的0点端与热场底部加热器8贴合；滑动滑动尺2，使所述第二测量尺测量端41平面完全接触器盖7下表面；锁紧紧固件5；将测量尺整体从热场环境中取出，并读取所述刻度线6对应位置上测量尺本体1的读数。将读数与生产过程标准进行对比，并作出相应调整。
[0025]为防止滑动尺2在使用过程中滑落，与测量尺本体1分离，本技术对测量尺作出了进一步改进。如图5所示，为本技术第二实施例。与第一实施例相同部分不再赘述。所述测量尺本体1上开设腰形槽，所述滑动尺2上开设通孔，所述紧固件5穿过滑动尺2上的通孔(图中未示出)，将滑动尺限制在所述测量尺本体1上开设的腰形槽内滑动。所述紧固件5包含紧固螺栓51和紧固螺母52。所述紧固螺栓51优选为圆柱头螺栓。所述紧固螺母52优选为蝶形螺母。
[0026]除上述实施例外，本申请还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本申请要求的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于热场环境的测量尺，包括测量尺本体(1)，套设在测量尺本体(1)上的滑动尺(2)，所述滑动尺(2)通过紧固件(5)在测量尺本体(1)上紧固定位，其特征在于：所述滑动尺(2)头部下侧设置第一测量爪(3)，所述滑动尺(2)头部上侧设置第二测量爪(4)，第一测量爪测量端(31)设置在所述第一测量爪(3)左侧与所述测量尺本体(1)垂直且与测量尺本体(1)端部齐平，所述第二测量爪(4)为长方形，第二测量爪测量端(41)设置在所述第二测量爪(4)右侧与所述测量尺本体(1)垂直且与所述测量尺本体(1)端部齐平，所述第二测量爪(4)上设置有刻度线(6)，所述刻度线(6)与所述第二测量爪测量端(41)齐平。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：王艺澄，严东，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：