【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅制造,尤其涉及一种单晶炉墩埚料的快速清理设备。
技术介绍
1、单晶炉在长时间运行后,需要对埚邦内的墩埚料(埚底料)清除或敲除以确保热场稳定的作业环境,底部具有孔洞的埚邦(内含坩埚),便于人工清理时,从底部孔洞将硅料进行敲击,对此种埚邦的清理方式也通常为采用人工操作,如试用钨钴合金锤进行手工敲除,人工手动敲除则存在以下问题:
2、1、高温的埚底料造成恶劣的工作环境,容易发生高温烫伤员工手臂等情况,因此,员工需要等待埚底料冷却到一定温度后才能进行敲除作业,这导致了等待时间较长,效率低下;
3、2、高硬度的埚底料不易敲除,增加员工作业强度;
4、3、敲除过程较为暴力,对埚邦损伤大,不利于埚邦的长期使用;
5、4、敲除过程中,硅料飞溅,容易对操作者产生伤害。
6、因此,为了快速清理底部开设有孔洞的埚邦,我们提出了一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,能够很好的解决手动敲除存在的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此,本技术的目的在于
...【技术保护点】
1.一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,包括底板(1),所述底板(1)上固定连接有四个工字钢(2),所述工字钢(2)的顶部固定连接有固定架(3),其特征在于,相邻两个工字钢(2)之间的槽内滑动设置有移动板(4),所述移动板(4)上安装有驱动机(5),两个驱动机(5)的输出端之间设置有夹持部(7),所述夹持部(7)用于对底部具有孔洞的埚邦(8)进行夹持;
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,其特征在于,还包括载具车(10),所述载具车(10)可移动式设置在底板(1)上,所述埚邦(8)的开口处一体成型有裙边(11),且裙边(11)上开设有环形槽
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,包括底板(1),所述底板(1)上固定连接有四个工字钢(2),所述工字钢(2)的顶部固定连接有固定架(3),其特征在于,相邻两个工字钢(2)之间的槽内滑动设置有移动板(4),所述移动板(4)上安装有驱动机(5),两个驱动机(5)的输出端之间设置有夹持部(7),所述夹持部(7)用于对底部具有孔洞的埚邦(8)进行夹持;
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,其特征在于,还包括载具车(10),所述载具车(10)可移动式设置在底板(1)上,所述埚邦(8)的开口处一体成型有裙边(11),且裙边(11)上开设有环形槽,且载具车(10)上开设有与环形槽内径相适配的孔道。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,其特征在于,所述固定架(3)与移动板(4)之间固定连接有液压缸一(6),所述液压缸一(6)能够驱动移动板(4)沿着工字钢(2)上下...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙博扬,杨李阳,汤旋,文勇,郭光华,王军磊,
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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