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一种单晶炉墩埚料的快速清理设备制造技术
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文档序号:44728139
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本技术涉及单晶硅制造技术领域,具体涉及一种单晶炉墩埚料的快速清理设备,包括底板,所述底板上固定连接有四个工字钢,所述工字钢的顶部固定连接有固定架,相邻两个工字钢之间的槽内滑动设置有移动板,所述移动板上安装有驱动机,两个驱动机的输出端之间设置...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。
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