多功能晶圆电镀机构制造技术

本实用新型专利技术公开了多功能晶圆电镀机构，包括安装外槽体，所述安装外槽体内设置有安装内槽体，安装内槽体内设置有电镀阳极组件，安装内槽体内位于两个电镀阳极组件之间设置有电镀阴极组件，安装外槽体内位于安装内槽体一侧设置有辅助安装组件，辅助安装组件上设置有过滤组件，辅助安装组件上位于所述过滤组件一侧设置有加热组件，安装外槽体外部设置有电镀液循环输送动力组件，安装外槽体底部设置有电镀液排放组件，安装外槽体远离所述辅助安装组件一侧设置有摇摆机构。本技术方案的晶圆电镀机构，结构设计巧妙，实用性较强，且空间利用合理，生产效率高，运用此晶圆电镀机构，有效保证了晶圆的电镀品质，同时也提高了晶圆的电镀效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
多功能晶圆电镀机构


[0001]本技术涉及晶圆电镀
，特别是多功能晶圆电镀机构。

技术介绍

[0002]晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在晶圆上电镀一层导电金属，并对导电金属层进行加工以制成导电线路，传统的晶圆电镀设备，结构复杂，占用的空间较大，需要单独配置副槽实现各种功能，且现有的电镀设备，生产效率低，稳定性较差，导致晶圆的电镀品质差、良品率低，为此，需要设计多功能晶圆电镀机构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决上述问题，设计了多功能晶圆电镀机构。
[0004]实现上述目的本技术的技术方案为，多功能晶圆电镀机构，包括安装外槽体，所述安装外槽体内设置有安装内槽体，所述安装内槽体内设置有电镀阳极组件，所述安装内槽体内位于两个电镀阳极组件之间设置有电镀阴极组件，所述安装外槽体内位于安装内槽体一侧设置有辅助安装组件，所述辅助安装组件上设置有过滤组件，所述辅助安装组件上位于所述过滤组件一侧设置有加热组件，所述安装外槽体外部设置有电镀液循环输送动力组件，所述安装外槽体底部设置有电镀液排放组件，所述安装外槽体远离所述辅助安装组件一侧设置有摇摆机构。
[0005]作为本技术方案的进一步描述，所述辅助安装组件包括设置在安装外槽体上位于安装内槽体一侧的辅助安装板，所述辅助安装板上设置有过滤组件，所述辅助安装板上位于所述过滤组件一侧设置有加热组件，所述辅助安装板上位于过滤组件与加热组件之间设置有液位监测组件。
[0006]作为本技术方案的进一步描述，所述过滤组件包括设置在辅助安装板上的过滤器，所述液位监测组件包括设置在辅助安装板上位于过滤组件与加热组件之间的液位计。
[0007]作为本技术方案的进一步描述，所述加热组件包括设置在辅助安装板上的加热器，所述加热器上设置有温度监测模块。
[0008]作为本技术方案的进一步描述，所述电镀液循环输送动力组件包括设置在安装外槽体外部的循环泵，所述循环泵的进液口设置有循环液进液管道，所述循环泵的出液口设置有循环液出液管道。
[0009]作为本技术方案的进一步描述，所述循环液进液管道与安装外槽体外侧壁顶部连接，所述循环液出液管道与安装外槽体外侧壁底部连接，所述循环液进液管道上设置有进液控制阀，所述循环液出液管道上设置有出液控制阀。
[0010]作为本技术方案的进一步描述，所述安装外槽体上位于循环液进液管道上方一侧设置有保护气体接入口。
[0011]作为本技术方案的进一步描述，所述摇摆机构包括设置在安装外槽体远离所述辅
助安装组件一侧的摇摆控制电机，所述摇摆控制电机的输出端设置有摇摆连接支架，所述摇摆连接支架上设置有电镀阴极组件。
[0012]作为本技术方案的进一步描述，所述电镀液排放组件包括设置在安装外槽体底部的排放管道，所述排放管道上设置有排放阀。
[0013]作为本技术方案的进一步描述，所述安装外槽体内位于安装内槽体下方设置有鼓泡管，所述鼓泡管上方设置有匀流组件，所述匀流组件位于安装内槽体下方。
[0014]其有益效果在于，本技术方案的晶圆电镀机构，结构设计巧妙，实用性较强，且空间利用合理，生产效率高，运用此晶圆电镀机构，有效保证了晶圆的电镀品质，同时也提高了晶圆的电镀效率。
附图说明
[0015]图1是本技术的整体结构示意图；
[0016]图2是本技术摇摆机构的结构示意图；
[0017]图3是本技术保护气体接入口的安装结构示意图。
[0018]图中，1、安装外槽体；2、安装内槽体；3、电镀阳极组件；4、电镀阴极组件；5、辅助安装组件；6、过滤组件；7、加热组件；8、电镀液循环输送动力组件；9、电镀液排放组件；10、摇摆机构；11、辅助安装板；12、液位监测组件；13、过滤器；14、液位计；15、加热器；16、循环泵；17、循环液进液管道；18、循环液出液管道；19、进液控制阀；20、出液控制阀；21、保护气体接入口；22、摇摆控制电机；23、摇摆连接支架；24、排放管道；25、排放阀；26、鼓泡管。
具体实施方式
[0019]首先说明本技术的设计初衷，传统的晶圆电镀设备，结构复杂，占用的空间较大，需要单独配置副槽实现各种功能，且现有的电镀设备，生产效率低，稳定性较差，导致晶圆的电镀品质差、良品率低，因此，本技术设计了多功能晶圆电镀机构。
[0020]下面结合附图对本技术进行具体描述，如图1
‑
图3所示，多功能晶圆电镀机构，包括安装外槽体1，在所述安装外槽体1内设置有安装内槽体2，在所述安装内槽体2内设置有电镀阳极组件3，在所述安装内槽体2内位于两个电镀阳极组件3之间设置有电镀阴极组件4。
[0021]为了便于安装过滤组件6，在所述安装外槽体1内位于安装内槽体2一侧设置有辅助安装组件5，所述辅助安装组件5上设置有过滤组件6，在所述辅助安装组件5上位于所述过滤组件6一侧设置有加热组件7。
[0022]下面将详细介绍辅助安装组件5，所述辅助安装组件5包括设置在安装外槽体1上位于安装内槽体2一侧的辅助安装板11，所述辅助安装板11上设置有过滤组件6，所述辅助安装板11上位于所述过滤组件6一侧设置有加热组件7，所述辅助安装板11上位于过滤组件6与加热组件7之间设置有液位监测组件12。
[0023]下面将详细介绍过滤组件6，所述过滤组件6包括设置在辅助安装板11上的过滤器13，下面将介绍液位监测组件12，所述液位监测组件12包括设置在辅助安装板11上位于过滤组件6与加热组件7之间的液位计14。
[0024]下面将介绍加热组件7，所述加热组件7包括设置在辅助安装板11上的加热器15，
为了便于对电镀液加热温度的监测，在所述加热器15上设置有温度监测模块。
[0025]为了便于实现电镀液的循环，在所述安装外槽体1外部设置有电镀液循环输送动力组件8，下面将详细介绍电镀液循环输送动力组件8，所述电镀液循环输送动力组件8包括设置在安装外槽体1外部的循环泵16，所述循环泵16的进液口设置有循环液进液管道17，所述循环泵16的出液口设置有循环液出液管道18。
[0026]其中，所述循环液进液管道17与安装外槽体1外侧壁顶部连接，所述循环液出液管道18与安装外槽体1外侧壁底部连接，所述循环液进液管道17上设置有进液控制阀19，所述循环液出液管道18上设置有出液控制阀20。
[0027]为了便于安装外槽体1内的电镀液排放，在所述安装外槽体1底部设置有电镀液排放组件9，下面将详细介绍电镀液排放组件9，所述电镀液排放组件9包括设置在安装外槽体1底部的排放管道24，所述排放管道24上设置有排放阀25。
[0028]为了便于对电镀阴极组件4进行摇摆，在所述安装外槽体1远离所述辅助安装组件5一侧设置有摇摆机构10，下面将详细介绍摇摆机构10，所述摇摆机构10包括设置在安装外槽体1远离所述辅助本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多功能晶圆电镀机构，其特征在于，包括安装外槽体(1)，所述安装外槽体(1)内设置有安装内槽体(2)，所述安装内槽体(2)内设置有电镀阳极组件(3)，所述安装内槽体(2)内位于两个电镀阳极组件(3)之间设置有电镀阴极组件(4)，所述安装外槽体(1)内位于安装内槽体(2)一侧设置有辅助安装组件(5)，所述辅助安装组件(5)上设置有过滤组件(6)，所述辅助安装组件(5)上位于所述过滤组件(6)一侧设置有加热组件(7)，所述安装外槽体(1)外部设置有电镀液循环输送动力组件(8)，所述安装外槽体(1)底部设置有电镀液排放组件(9)，所述安装外槽体(1)远离所述辅助安装组件(5)一侧设置有摇摆机构(10)。2.根据权利要求1所述的多功能晶圆电镀机构，其特征在于，所述辅助安装组件(5)包括设置在安装外槽体(1)上位于安装内槽体(2)一侧的辅助安装板(11)，所述辅助安装板(11)上设置有过滤组件(6)，所述辅助安装板(11)上位于所述过滤组件(6)一侧设置有加热组件(7)，所述辅助安装板(11)上位于过滤组件(6)与加热组件(7)之间设置有液位监测组件(12)。3.根据权利要求2所述的多功能晶圆电镀机构，其特征在于，所述过滤组件(6)包括设置在辅助安装板(11)上的过滤器(13)，所述液位监测组件(12)包括设置在辅助安装板(11)上位于过滤组件(6)与加热组件(7)之间的液位计(14)。4.根据权利要求2所述的多功能晶圆电镀机构，其特征在于，所述加热组件(7)包括设置在辅助安装板(11)上的加热器(15)，所述加热器(15)上设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨世武，眭朝萍，田帅，
申请(专利权)人：苏科斯江苏半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：