【技术实现步骤摘要】
本技术涉及尺寸检验工装，具体为一种晶圆切割环的尺寸检验工装。
技术介绍
1、目前，在晶圆加工过程中，需要进行贴膜工序。在该工序中，用贴片膜把晶圆贴在晶圆切割环上，从而在划片以及其他工序中将晶圆保持稳固的位置。现有的晶圆切割环在加工完成后需要对其尺寸进行检验，尺寸检验通常通过将晶圆切割环采用夹具固定后再进行检测，这种方式只能测量某一处的相对中心的两侧的长度，当需要测量另一与中心相对的两侧的长度时，则需要将夹持固定机构松开，将晶圆切割环旋转一定角度再进行固定，如果需要测量多个位置的长度时，需要频繁操作夹持固定机构，导致测量效率低，操作繁琐。
技术实现思路
1、鉴于现有一种晶圆切割环的尺寸检验工装中存在的问题，提出了本技术。
2、因此，本技术的目的是提供一种晶圆切割环的尺寸检验工装，解决了现有的晶圆切割环在加工完成后需要对其尺寸进行检验，尺寸检验通常通过将晶圆切割环采用夹具固定后再进行检测，这种方式只能测量某一处的相对中心的两侧的长度，当需要测量另一与中心相对的两侧的长度时，则需要将夹持固定机构松开，将晶圆切割环旋转一定角度再进行固定，如果需要测量多个位置的长度时，需要频繁操作夹持固定机构，导致测量效率低，操作繁琐的问题。
3、为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
4、一种晶圆切割环的尺寸检验工装，包括支撑台，所述支撑台上安装有对晶圆切割环进行固定并能够驱动其旋转的旋转装置，支撑台的两侧对称安装有测距组件；
6、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：所述旋转装置包括伺服电机，所述伺服电机的输出轴通过联轴器连接有转轴，所述转轴上安装有夹持固定机构。
7、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：所述夹持固定机构包括圆盘，所述圆盘上环布安装有若干个紧固组件；
8、紧固组件包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端安装有弧形紧固块，所述电动伸缩杆的相对另一端可拆卸连接所述圆盘。
9、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：所述圆盘上环布开设有插接凹槽，所述插接凹槽内壁插接电动伸缩杆，所述圆盘和电动伸缩杆的对应位置上均开设有内螺纹孔，所述圆盘和电动伸缩杆之间通过螺栓固定。
10、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：所述弧形紧固块的一端固定连接有支撑连接座，所述支撑连接座内壁插接所述电动伸缩杆，电动伸缩杆和支撑连接座之间通过螺栓固定。
11、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：所述测距组件包括滑板，所述滑板的一端固定连接有弹簧，所述弹簧远离滑板的一端固定连接支撑块，所述支撑块焊接在支撑台上。
12、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：左侧滑板的顶端安装有第一安装块，测距仪安装在第一安装块上，所述测距标识块安装在右侧滑板上。
13、作为本技术所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装的一种优选方案，其中：所述支撑台上开设有滑槽，所述滑板的底部固定安装有滑块，所述滑槽内壁滑动连接所述滑块。
14、与现有技术相比：
15、通过设置旋转装置和测距组件，能够对晶圆切割环进行夹持固定，并且能够驱动晶圆切割环进行旋转，从而能够方便测量出多个位置的长度，能够自动对晶圆切割环的方向进行调节，提高了测量的便捷性，提高测量效率。
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1.一种晶圆切割环的尺寸检验工装，包括支撑台(1)，其特征在于：所述支撑台(1)上安装有对晶圆切割环进行固定并能够驱动其旋转的旋转装置，支撑台(1)的两侧对称安装有测距组件；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述旋转装置包括伺服电机(13)，所述伺服电机(13)的输出轴通过联轴器连接有转轴(14)，所述转轴(14)上安装有夹持固定机构。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述夹持固定机构包括圆盘(9)，所述圆盘(9)上环布安装有若干个紧固组件；
4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述圆盘(9)上环布开设有插接凹槽(91)，所述插接凹槽(91)内壁插接电动伸缩杆(10)，所述圆盘(9)和电动伸缩杆(10)的对应位置上均开设有内螺纹孔，所述圆盘(9)和电动伸缩杆(10)之间通过螺栓固定。
5.根据权利要求3所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述弧形紧固块(11)的一端固定连接有支撑连接座(12)，所述支撑连接座(12)内壁插接
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述测距组件包括滑板(5)，所述滑板(5)的一端固定连接有弹簧(4)，所述弹簧(4)远离滑板(5)的一端固定连接支撑块(3)，所述支撑块(3)焊接在支撑台(1)上。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，左侧滑板(5)的顶端安装有第一安装块(7)，测距仪(8)安装在第一安装块(7)上，所述测距标识块(6)安装在右侧滑板(5)上。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述支撑台(1)上开设有滑槽(15)，所述滑板(5)的底部固定安装有滑块(16)，所述滑槽(15)内壁滑动连接所述滑块(16)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割环的尺寸检验工装，包括支撑台(1)，其特征在于：所述支撑台(1)上安装有对晶圆切割环进行固定并能够驱动其旋转的旋转装置，支撑台(1)的两侧对称安装有测距组件；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述旋转装置包括伺服电机(13)，所述伺服电机(13)的输出轴通过联轴器连接有转轴(14)，所述转轴(14)上安装有夹持固定机构。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述夹持固定机构包括圆盘(9)，所述圆盘(9)上环布安装有若干个紧固组件；
4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割环的尺寸检验工装，其特征在于，所述圆盘(9)上环布开设有插接凹槽(91)，所述插接凹槽(91)内壁插接电动伸缩杆(10)，所述圆盘(9)和电动伸缩杆(10)的对应位置上均开设有内螺纹孔，所述圆盘(9)和电动伸缩杆(10)之间通过螺栓固定。
5.根据权利要求3所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：张霖芝，眭朝萍，田帅，
申请(专利权)人：苏科斯江苏半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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