本实用新型专利技术涉及一种密封反射镜调节装置和反射镜装置。本实用新型专利技术所述的密封反射镜调节装置和反射镜装置将反射镜安装于由基座和盖板构成的密闭容置空间内可有效避免反射镜被环境中尘埃等污染的风险，同时将调节组件设置于密闭壳体外侧，从设备外部即可实现反射镜的调节，在调节过程中保持反射镜一直处于密封腔体中，进一步避免了在拆卸及调节过程中反射镜被环境中尘埃等污染的风险，保证了设备内部的洁净度，从而延长了反射镜的使用寿命。从而延长了反射镜的使用寿命。从而延长了反射镜的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种密封反射镜调节装置和反射镜装置
[0001]本技术涉及光机械
，尤其是指一种密封反射镜调节装置和反射镜装置。
技术介绍
[0002]曝光机输出的激光功率是影响生产效率的重要因素，随着激光束功率密度的提高，对光学元件的抗损伤性能也提出越来越严苛的要求，光学元件的性能除了自身的材料及镀膜之外，很大程度依赖于环境的洁净度，被尘埃等污染的光学元件性能会大幅度下降，造成激光功率损耗增大，密封性差的激光设备其光学元件容易受到污染，造成激光功率衰减快，停机保养间隔短，频次高，严重影响生产效率。现有的反射镜调节结构采用的密封方法多以密封盖密封，在调节时需拆除密封盖进行操作，调节完成后再用密封盖密封，在调节过程中反射镜及光路腔体内的其他光学元件存在被环境中尘埃等污染的风险。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本技术提供了一种密封反射镜调节装置和反射镜装置。
[0004]一种密封反射镜调节装置，包括：
[0005]密封壳体，所述密封壳体包括基座和盖板；所述基座与所述盖板密封连接形成一密闭的容置空间；所述盖板上设置有调节轴限位孔、调节螺栓孔；
[0006]安装组件，所述安装组件设置于所述密封壳体内部，包括支架，所述支架上设置有调节轴安装孔，所述支架靠近所述基座的一侧设置有反射镜安装槽用于安装反射镜；
[0007]调节组件，所述调节组件包括弹簧、调节轴、调节螺栓，所述弹簧的一端抵压在所述支架的另一侧，所述弹簧的另一端抵压在所述盖板上；所述调节轴贯穿所述支架及所述盖板并由一锁紧螺母固定；所述调节螺栓嵌套于所述弹簧内部并安装于所述调节螺栓孔内；
[0008]其中，所述调节螺栓的数量设置为三个，所述调节螺栓所处位置的连线为一等边三角形；通过旋转锁紧螺母调节所述支架在其垂线上的前后位置，通过旋转调节螺栓调节所述支架的偏转角度。
[0009]优选的，所述基座上设置有固定螺钉孔，所述盖板上设置有固定螺钉过孔，所述基座和所述盖板通过固定螺钉密封连接。
[0010]优选的，所述基座上还设置有密封圈安装槽，所述密封圈安装槽内安装有密封圈，所述密封圈设置于所述基座与所述盖板的拼接处。
[0011]优选的，所述安装组件还包括压片和安装螺钉，所述反射镜通过所述压片抵压在所述支架上，并通过所述安装螺钉固定于所述反射镜安装槽内。
[0012]优选的，所述支架上设置有弹簧限位沉孔，所述弹簧限位沉孔为一盲孔，该弹簧限位沉孔的直径略大于所述弹簧外直径；所述盖板靠近所述支架的一侧设置有弹簧限位柱，
所述弹簧限位柱的直径略小于所述弹簧外直径；所述弹簧的一端卡设于弹簧限位沉孔内，另一端套设于弹簧限位柱上。
[0013]优选的，所述盖板上设置有限位螺钉孔，所述调节组件包括限位螺钉，所述限位螺钉安装于所述限位螺钉孔内，所述限位螺钉的数量不少于三个。
[0014]一种反射镜装置，如上所述的密封反射镜调节装置和一反射镜，所述反射镜安装于所述支架上。
[0015]优选的，所述反射镜通过压片抵压在所述支架上，并通过安装螺钉固定于反射镜安装槽内。
[0016]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0017]本技术所述的密封反射镜调节装置和反射镜装置将反射镜安装于由基座和盖板构成的密闭容置空间内可有效避免反射镜被环境中尘埃等污染的风险，同时将调节组件设置于密闭壳体外侧，从设备外部即可实现反射镜的调节，在调节过程中保持反射镜一直处于密封腔体中，进一步避免了在拆卸及调节过程中反射镜被环境中尘埃等污染的风险，保证了设备内部的洁净度，从而延长了反射镜的使用寿命。
附图说明
[0018]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中
[0019]图1是本技术密封反射镜调节装置示意图。
[0020]图2是本技术密封反射镜调节装置爆炸图。
[0021]图3是本技术反射镜装置剖面图。
[0022]图4是本技术反射镜装置爆炸图。
[0023]说明书附图标记说明：11、基座；111、第一平面；112、第二平面；113、固定螺钉孔113；114、密封圈安装槽；12、盖板；121、调节轴限位孔；122、调节螺栓孔122；123、固定螺钉过孔；124、弹簧限位柱；125、限位螺钉孔；13、密封圈；14、固定螺钉；21、支架；211、调节轴安装孔；212、弹簧限位沉孔；22、压片；23、安装螺钉；31、弹簧；32、调节轴；33、调节螺栓；34、锁紧螺母；35、限位螺钉；4、反射镜。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0025]如图1
‑
2所示，本技术提供一种密封反射镜4调节装置，包括：
[0026]密封壳体，所述密封壳体包括基座11和盖板12；所述基座11与所述盖板12密封连接形成一密闭的容置空间；所述盖板12上设置有调节轴限位孔121、调节螺栓孔122；
[0027]安装组件，所述安装组件设置于所述密封壳体内部，包括支架21，所述支架21上设置有调节轴安装孔211，所述支架21靠近所述基座11的一侧设置有反射镜安装槽用于安装反射镜4；
[0028]调节组件，所述调节组件包括弹簧31、调节轴32、调节螺栓33，所述弹簧31的一端抵压在所述支架21的另一侧，所述弹簧31的另一端抵压在所述盖板12上；所述调节轴32贯
穿所述支架21及所述盖板12并由一锁紧螺母34固定；所述调节螺栓33嵌套于所述弹簧31内部并安装于所述调节螺栓孔122内；
[0029]其中，所述调节螺栓33的数量设置为三个，所述调节螺栓33所处位置的连线为一等边三角形；通过旋转锁紧螺母34调节所述支架21在其垂线上的前后位置，通过旋转调节螺栓33调节所述支架21的偏转角度。
[0030]将反射镜4安装于由基座11和盖板12构成的密闭容置空间内可有效避免反射镜4被环境中尘埃等污染的风险，同时将调节组件设置于密闭壳体外侧，从设备外部即可实现反射镜4的调节，在调节过程中保持反射镜4一直处于密封腔体中，进一步避免了在拆卸及调节过程中反射镜4被环境中尘埃等污染的风险，保证了设备内部的洁净度，从而延长了反射镜4的使用寿命。
[0031]在一个具体的实施例中，所述基座11包括与所述基座11组装平面成45
°
的第一平面111和与所述基座11组装平面成135
°
的第二平面112，所述第一平面111和所述第二平面112上设置有通孔，所述通孔用于容纳光束入射和\或出射；
‑
所述通孔与其他结构件连接，其连接处采用密封圈进行密封。
[0032]在一个具体的实施例中，所述基座11上设置有固本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种密封反射镜调节装置，其特征在于：包括：密封壳体，所述密封壳体包括基座和盖板；所述基座与所述盖板密封连接形成一密闭的容置空间；所述盖板上设置有调节轴限位孔、调节螺栓孔；安装组件，所述安装组件设置于所述密封壳体内部，包括支架，所述支架上设置有调节轴安装孔，所述支架靠近所述基座的一侧设置有反射镜安装槽用于安装反射镜；调节组件，所述调节组件包括弹簧、调节轴、调节螺栓，所述弹簧的一端抵压在所述支架的另一侧，所述弹簧的另一端抵压在所述盖板上；所述调节轴贯穿所述支架及所述盖板并由一锁紧螺母固定；所述调节螺栓嵌套于所述弹簧内部并安装于所述调节螺栓孔内；其中，所述调节螺栓的数量设置为三个，所述调节螺栓所处位置的连线为一等边三角形；通过旋转锁紧螺母调节所述支架在其垂线上的前后位置，通过旋转调节螺栓调节所述支架的偏转角度。2.根据权利要求1所述的密封反射镜调节装置，其特征在于：所述基座上设置有固定螺钉孔，所述盖板上设置有固定螺钉过孔，所述基座和所述盖板通过固定螺钉密封连接。3.根据权利要求1所述的密封反射镜调节装置，其特征在于：所述基座上还设置有密封圈安装槽，所述密封圈安装槽内安装有...
【专利技术属性】
技术研发人员：纪连群，高文宏，郭泽彬，程波涛，
申请(专利权)人：江苏镭创高科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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