一种DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统技术方案

本发明专利技术涉及一种DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统。本发明专利技术所述的DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统可实现DMD的六自由度的调节，实现DMD与成像镜头的精准对位，保证了成像质量；同时结构紧凑，调节方便并且可快速复位进行重复调节，有效的解决了胶片曝光光机在胶片曝光平台上组装时DMD的调节问题，提高了DMD的位置调节的效率，保证了数字胶片曝光光机高分辨率的成像质量。光光机高分辨率的成像质量。光光机高分辨率的成像质量。

【技术实现步骤摘要】
一种DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统


[0001]本专利技术涉及数字微镜
，尤其是指一种DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统。

技术介绍

[0002]数字微镜(Digital Micromirror Device，DMD)，由于具有高分辨率、高对比度、高亮度及快速响应等特点，被广泛应用于激光直接成像系统中，而在数字胶片曝光光机中，对DMD、成像镜头及胶片的相对位置有极高的要求，需要精准的对位才能保证DMD成像到胶片上的每个像素的清晰度，现有技术中数字胶片曝光光机上自带的调节机构有很多，但是通常只能实现2~3个自由度的调节功能，无法满足数字胶片曝光光机对DMD调节的要求，而使用调节治具又因为体积大的原因无法在胶片曝光平台上进行安装及调节。现有的数字胶片曝光光机的DMD调节通常使用自带的调节机构搭配调节准直及匀光系统、主反射镜组以及成像镜组实现精准的对位，该调节过程需要调节多个光学元件，操纵复杂。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统。
[0004]一种DMD六自由度调节机构，包括：调节载板，调节板，所述调节板与所述调节载板连接，包括第一调节板和第二调节板；所述第一调节板嵌套于所述第二调节板上，用于安装DMD单元；所述第二调节板靠近所述调节载板设置；平面位移调节单元，所述平面位移调节单元包括设置于所述第二调节板上的两对相对设置的第一调节组件；通过同时调节相对设置的任一对所述第一调节组件，使所述第一调节板在与所述调节载板平行的平面上平移；平面旋转调节单元，所述平面旋转调节单元包括设置于所述第二调节板上相对设置的两个限位柱和设置于所述限位柱上的旋转调节螺栓以及设置于所述第一调节板上的旋转耳朵，所述旋转耳朵位于所述两个限位柱之间；通过旋拧所述旋转调节螺栓推动所述旋转耳朵带动所述第一调节板在与所述调节载板平行的平面上旋转；摆动调节单元，所述摆动单元包括若干连接所述第二调节板和所述调节载板的调节螺钉以及位于所述第二调节板和所述调节载板之间并套设于所述调节螺钉上的弹簧，通过调节所述调节螺钉调节所述第二调节板与所述调节载板之间的夹角。
[0005]优选的，所述调节载板与所述调节板之间设置有柔性密封垫。
[0006]优选的，所述第一调节板上设置有DMD单元安装槽，所述第二调节板上设置有第一槽；所述DMD单元安装槽设置于所述第一调节板的中心处，所述DMD单元安装槽靠近所述第二调节板的一侧设置为圆柱状凸起，所述DMD单元安装于所述DMD单元安装槽内；所述第一
槽设置于所述第二调节板的中心处，所述DMD单元安装槽嵌套于所述第一槽内。
[0007]优选的，所述第二调节板的四个侧边上还设置有平移螺栓孔；所述第一调节组件包括平移滑块和平移螺栓，所述平移滑块设置于所述第一槽内，所述平移滑块的一侧与所述DMD单元安装槽外侧面相切；所述平移螺栓穿设于所述平移螺栓孔内，并与所述平移滑块的另一侧抵压。
[0008]优选的，所述旋转耳朵设置于所述第一调节板的一个侧边上，所述两个限位柱设置于所述第二调节板的一个侧边上；所述两个限位柱之间的距离大于所述旋转耳朵的宽度。
[0009]优选的，所述两个限位柱上设置有旋转螺栓孔，所述旋转调节螺栓穿设于所述旋转螺栓孔内，并分别抵压于所述旋转耳朵的两个侧面。
[0010]优选的，所述第一调节板上设置有第一旋转固定螺钉孔，所述第一旋转固定螺钉孔为通孔；所述第二调节板上设置有第二旋转固定螺钉孔，所述第二旋转固定螺钉孔内置螺纹；所述平面旋转调节单元还包括旋转固定螺钉和垫片，所述旋转固定螺钉贯穿所述垫片和所述第一旋转固定螺钉孔安装于所述第二旋转固定螺钉孔内；所述旋转固定螺钉直径小于所述第一旋转固定螺钉孔直径，所述垫片直径大于所述第一旋转固定螺钉孔。
[0011]优选的，所述第二调节板的四个顶角处还设置有调节螺钉孔，所述调节螺钉穿设于所述调节螺钉孔内。
[0012]优选的，所述第二调节板上设置有紧定螺栓孔；所述摆动调节单元还包括紧定螺栓，所述紧定螺栓安装于所述紧定螺栓孔内，所述紧定螺栓靠近所述调节螺钉设置，所述紧定螺栓长度大于所述紧定螺栓孔长度。
[0013]优选的，所述第一调节板上设置有第一复位螺钉孔，所诉第二调节板上设置有第二复位螺钉孔；所述DMD六自由度调节机构还包括复位调节装置，所述复位调节装置包括：第一复位螺钉和第二复位螺钉，所述第一复位螺钉穿过所述第一复位螺钉孔安装于所述第二调节板上；所述第二复位螺钉穿过所述第二复位螺钉孔安装于所述调节载板。
[0014]一种胶片曝光光机系统，包括激光光源、准直及匀光系统、前反射镜组、主反射镜组、DMD单元、如上所述的DMD六自由度调节机构、成像镜组以及胶片；其中，所述DMD六自由度调节机构通过所述调节载板固定于所述主反射镜组上。
[0015]优选的，所述DMD单元包括依次设置的DMD、转接板、载板、水冷板垫块、水冷板和固定螺钉，所述DMD、所述转接板、所述载板、所述水冷板垫块和所述水冷板由所述固定螺钉穿设并安装至所述调节板。
[0016]本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：本专利技术所述的DMD六自由度调节机构及胶片曝光光机系统可实现DMD的六自由度的调节，实现DMD与成像镜头的精准对位，保证了成像质量；同时结构紧凑，调节方便并且可快速复位进行重复调节，有效的解决了胶片曝光光机在胶片曝光平台上组装时DMD的调节问题，提高了DMD的位置调节的效率，保证了数字胶片曝光光机高分辨率的成像质量。
附图说明
[0017]为了使本专利技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本专利技术的具体实施例并结合附图，对本专利技术作进一步详细的说明。
[0018]图1是本专利技术DMD六自由度调节机构的爆炸图。
[0019]图2是本专利技术第一调节板的示意图。
[0020]图3是本专利技术第二调节板的示意图。
[0021]图4是本专利技术胶片曝光光机系统的示意图。
[0022]图5是本专利技术DMD单元与DMD六自由度调节机构连接关系示意图。
[0023]说明书附图标记说明：1、激光光源；2、准直及匀光系统；3、前反射镜组；4、主反射镜组；5、DMD六自由度调节机构；501、调节载板；5021、第一调节板；5021a、DMD单元安装槽；5021b、旋转耳朵；5021c、第一旋转固定螺钉孔；5021d、第一复位螺钉孔；5022、第二调节板；5022a、第一槽；5022b、调节螺钉孔；5022c、平移螺栓孔；5022d、限位柱；5022e、旋转螺栓孔；5022f、第二旋转固定螺钉孔；5022g、紧定螺栓孔；5022h、第二复位螺钉孔；504、第一调节组件；5041、平移滑块；5042、平移螺栓；5051、旋转调节螺栓；5052、旋转固定螺钉；5053、垫片；5061、调节螺钉；5062、弹簧；5063、紧定螺栓；5071、第一复位螺钉；5072、第二复位螺钉；508、柔性密封垫；6、DMD单元；601、DM本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种DMD六自由度调节机构，其特征在于，包括：调节载板，调节板，所述调节板与所述调节载板连接，包括第一调节板和第二调节板；所述第一调节板嵌套于所述第二调节板上，用于安装DMD单元；所述第二调节板靠近所述调节载板设置；平面位移调节单元，所述平面位移调节单元包括设置于所述第二调节板上的两对相对设置的第一调节组件；通过同时调节相对设置的任一对所述第一调节组件，使所述第一调节板在与所述调节载板平行的平面上平移；平面旋转调节单元，所述平面旋转调节单元包括设置于所述第二调节板上相对设置的两个限位柱和设置于所述限位柱上的旋转调节螺栓以及设置于所述第一调节板上的旋转耳朵，所述旋转耳朵位于所述两个限位柱之间；通过旋拧所述旋转调节螺栓推动所述旋转耳朵带动所述第一调节板在与所述调节载板平行的平面上旋转；摆动调节单元，所述摆动单元包括若干连接所述第二调节板和所述调节载板的调节螺钉以及位于所述第二调节板和所述调节载板之间并套设于所述调节螺钉上的弹簧，通过调节所述调节螺钉调节所述第二调节板与所述调节载板之间的夹角。2.根据权利要求1所述的DMD六自由度调节机构，其特征在于，所述调节载板与所述调节板之间设置有柔性密封垫。3.根据权利要求1所述的DMD六自由度调节机构，其特征在于，所述第一调节板上设置有DMD单元安装槽，所述第二调节板上设置有第一槽；所述DMD单元安装槽设置于所述第一调节板的中心处，所述DMD单元安装槽靠近所述第二调节板的一侧设置为圆柱状凸起，所述DMD单元安装于所述DMD单元安装槽内；所述第一槽设置于所述第二调节板的中心处，所述DMD单元安装槽嵌套于所述第一槽内。4.根据权利要求3所述的DMD六自由度调节机构，其特征在于，所述第二调节板的四个侧边上还设置有平移螺栓孔；所述第一调节组件包括平移滑块和平移螺栓，所述平移滑块设置于所述第一槽内，所述平移滑块的一侧与所述DMD单元安装槽外侧面相切；所述平移螺栓穿设于所述平移螺栓孔内，并与所述平移滑块的另一侧抵压。5.根据权利要求1所述的DMD六自由度调节机构，其特征在于，所述旋转耳朵设置于所述第一调节板的一个侧边上，所述两个限位柱设置于所述第二调节板的一个侧边上；所述两个限位柱之间的距离大于所述旋转耳朵的宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文宏，纪连群，程波涛，
申请(专利权)人：江苏镭创高科光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：