一种坩埚生产用冷却装置制造方法及图纸

技术编号:39367609 阅读:12 留言:0更新日期:2023-11-18 11:06
本实用新型专利技术公开了一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架、连接槽、载物台、驱动电机及水冷机构,所述固定架不锈钢矩形支架,且固定架的上部通过连接槽和连接杆与载物台相连接;所述载物台的上部设置有固定板,且固定板的通孔内部设置有转盘,转盘的上部设置有若干限位组件;所述载物台的上部设置有水冷机构,所述水冷机构包括连接支架、导水泵、喷淋管及集水槽,所述连接支架固定设置在载物台的上部,且连接支架的上部设置有导水泵,所述导水泵出水端与喷淋管相连接;所述集水槽位于喷淋管正下方。本实用新型专利技术用于解决现有的坩埚生产时候冷却效率较低的问题。效率较低的问题。效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚生产用冷却装置


[0001]本技术属于坩埚生产设备
,具体涉及一种坩埚生产用冷却装置。

技术介绍

[0002]单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的 快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势,制作单晶硅棒所使用的石英坩埚的需求量也快速增加。坩埚是实验室中使用的一种杯状器皿,用来对固体进行高温加热。坩埚在制作成型后需要将其冷却在做打磨处理,而现有的坩埚冷却采用自然晾干的方式,速度较慢,因此,一种自动化长度搞,且能够快速制冷的坩埚冷却设备是本领域技术人员一直研究的方向之一。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种坩埚生产用冷却装置,解决现有的坩埚生产时候冷却效率较低的问题。
[0004]为解决上述的技术问题,本技术采用以下技术方案:
[0005]一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架、连接槽、载物台、驱动电机及水冷机构,所述固定架不锈钢矩形支架,且固定架的上部通过连接槽和连接杆与载物台相连接;所述载物台的上部设置有固定板,且固定板的通孔内部设置有转盘,转盘的上部设置有若干限位组件;所述载物台的上部设置有水冷机构,所述水冷机构包括连接支架、导水泵、喷淋管及集水槽,所述连接支架固定设置在载物台的上部,且连接支架的上部设置有导水泵,所述导水泵出水端与喷淋管相连接;所述集水槽位于喷淋管正下方。
[0006]进一步, 所述限位组件包括滑动台、限位螺丝、连接杆及限位套,所述滑动台通过一端的滑块与转盘上的滑槽滑动连接,且滑动台的一端设置有连接杆,连接杆的上部套设有限位套。
[0007]进一步, 所述滑动台通过限位螺丝与滑槽侧边上的限位螺孔相对应。
[0008]进一步, 所述连接杆活动设置在连接槽内部,且连接槽的外部设置有若干限位杆。
[0009]进一步, 所述固定板的上部设置有驱动电机,且驱动电机通过连接件与转盘相连接;所述驱动电机的两侧设置有防护栏。
[0010]进一步, 所述集水槽的底部导水口通过管道与净化箱的进水口相连接,所述净化箱的内部设置有过滤板。
[0011]进一步,所述净化箱的内部通过隔离板分割为若干过水腔室,且净化箱的一端设置有出水口。
[0012]进一步,所述载物台的上部设置有偶透水槽;所述固定架的底部设置有若干万向轮,且万向轮至少设置有四只。
[0013]与现有技术相比,本技术至少具有以下有益效果之一:
[0014]1. 在固定架的上部设置有载物台,能够通过连接杆进行高度的调节,且在载物板的上部设置有固定板,其上设置有转盘和驱动电机,转盘上部的限位组件用于固定坩埚,便于坩埚在驱动电机的驱动下转动,配合上部水冷机构,实现冷却。
[0015]2. 水冷机构的设置,能够在坩埚的转动下实现喷淋冷却,并且将冷却后的水渍进行收集,通过净化箱进行过滤,冷却在循环使用。
[0016]3. 整个限位组件采用滑动台及限位螺丝的方式,在滑动台的连接杆上套设限位套,将坩埚进行卡位,便于与之一起转动,而采用可调节的限位组件,便于不同直径的坩埚使用。
附图说明
[0017]图 1 为本技术结构示意图。
[0018]图2为本技术主视图。
[0019]图3为本技术限位组件部分结构示意图。
[0020]图4为本技术净化箱内部结构示意图。
[0021]图中:1

固定架、2

万向轮、3

连接槽、4

连接杆、5

载物台、6

连接支架、8

导水泵、9

喷淋管、10

透水槽、11

集水槽、12

防护栏、13

驱动电机、14

转盘、15

滑动台、16

滑槽、17

限位套、19

净化箱、20

过滤板、21

进水口、22

隔离板、23

出水口、24

固定板、25

限位杆。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图
[0023]及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体
[0024]实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0025]在本技术的描述中,需要理解的是,“前、后、上、下、左、右”,“内、外”、“底、顶”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方向或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0026]实施例1
[0027]参照图1

图4示出了一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架1、连接槽3、载物台5、驱动电机13及水冷机构,所述固定架1不锈钢矩形支架,且固定架1的上部通过连接槽3和连接杆4与载物台5相连接;所述载物台5的上部设置有固定板24,且固定板24的通孔内部设置有转盘14,转盘14的上部设置有若干限位组件;
[0028]所述载物台5的上部设置有水冷机构,所述水冷机构包括连接支架6、导水泵8、喷淋管9及集水槽11,所述连接支架6固定设置在载物台5的上部,且连接支架6的上部设置有导水泵8,所述导水泵8出水端与喷淋管9相连接;所述集水槽11位于喷淋管9正下方;上述方案中,在固定架的上部设置有载物台,能够通过连接杆进行高度的调节,且在载物板的上部设置有固定板,其上设置有转盘和驱动电机,转盘上部的限位组件用于固定坩埚,便于坩埚在驱动电机的驱动下转动,配合上部水冷机构,实现冷却。
[0029]实施例2:
[0030]本实施例是在现有的实施例1的基础上对限位组件进行进一步描述,所述限位组件包括滑动台15、限位螺丝、连接杆及限位套17,所述滑动台15通过一端的滑块与转盘14上的滑槽16滑动连接,且滑动台15的一端设置有连接杆,连接杆的上部套设有限位套17;整个限位组件采用滑动台及限位螺丝的方式,在滑动台的连接杆上套设限位套,将坩埚进行卡位,便于与之一起转动,而采用可调节的限位组件,便于不同直径的坩埚使用。
[0031]实施例3:
[0032]本实施例是在现有的实施例1的基础上对滑动台15进行进一步描述,所述滑动台15通过限位螺丝与滑槽16侧边上的限位螺孔相对应;连接杆4活动设置在连接槽3内部,且连接槽3的外部设置有若干限位杆25;固定板24的上部设置有驱动电机13,且驱动电机13通过连接件与转盘14相连接;所述驱动电机13的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚生产用冷却装置,包括固定架(1)、连接槽(3)、载物台(5)、驱动电机(13)及水冷机构,其特征在于:所述固定架(1)不锈钢矩形支架,且固定架(1)的上部通过连接槽(3)和连接杆(4)与载物台(5)相连接;所述载物台(5)的上部设置有固定板(24),且固定板(24)的通孔内部设置有转盘(14),转盘(14)的上部设置有若干限位组件;所述载物台(5)的上部设置有水冷机构,所述水冷机构包括连接支架(6)、导水泵(8)、喷淋管(9)及集水槽(11),所述连接支架(6)固定设置在载物台(5)的上部,且连接支架(6)的上部设置有导水泵(8),所述导水泵(8)出水端与喷淋管(9)相连接;所述集水槽(11)位于喷淋管(9)正下方。2.根据权利要求1所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所述限位组件包括滑动台(15)、限位螺丝、连接杆及限位套(17),所述滑动台(15)通过一端的滑块与转盘(14)上的滑槽(16)滑动连接,且滑动台(15)的一端设置有连接杆,连接杆的上部套设有限位套(17)。3.根据权利要求2所述的一种坩埚生产用冷却装置,其特征在于:所...

【专利技术属性】
技术研发人员:侯建蒋泽林
申请(专利权)人:曲靖开发区佑鑫石英有限公司
类型:新型
国别省市:

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