气压检测传感器、气压检测装置及气压检测装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可期待精度的提高的气压检测传感器、气压检测装置及气压检测装置的制造方法。气压检测传感器(1)包括：压力检测用的热敏电阻(10)，根据气氛的热导率检测热损耗量的变化；以及压力补偿用的热敏电阻(10')，成为压力检测的基准，所述压力检测用的热敏电阻(10)与所述压力补偿用的热敏电阻(10')至少将电阻值配对作为电特性，至少将热耗散常数配对作为热特性。作为热特性。作为热特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气压检测传感器、气压检测装置及气压检测装置的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种气压检测传感器、气压检测装置及气压检测装置的制造方法。

技术介绍

[0002]以往，例如在薄膜形成工艺等的生产设备中，为了将真空环境控制为合适的状态而管理及提高产品的品质，真空中的压力测定使用导热真空计。作为利用所述导热的压力依赖的全压真空计，有皮拉尼真空计或热敏电阻真空计。
[0003]皮拉尼真空计是通过侦测经通电加热的铂或钨的金属细线因气体的导热引起的温度变化作为其电阻的变化来测定压力的真空计。构造简单，但另一方面，无法期待稳定性或精度，而且，存在时间上的响应性差的问题。
[0004]热敏电阻真空计是使用具有大的电阻温度系数的半导体氧化物的热敏电阻代替皮拉尼真空计的金属细线的真空计。初期的热敏电阻真空计使用珠型热敏电阻。珠型热敏电阻的电阻值的偏差大，进而，存在大小的偏差，相容性存在课题。而且，在热敏电阻真空计中，为了提高感度及精度，有各种提案(参照专利文献1至专利文献5)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气压检测传感器，其特征在于包括：压力检测用的热敏电阻，根据气氛的热导率检测热损耗量的变化；以及压力补偿用的热敏电阻，成为压力检测的基准，所述压力检测用的热敏电阻与所述压力补偿用的热敏电阻至少将电阻值配对作为电特性，至少将热耗散常数配对作为热特性。2.根据权利要求1所述的气压检测传感器，其特征在于：所述压力检测用的热敏电阻及所述压力补偿用的热敏电阻为薄膜热敏电阻。3.根据权利要求1或2所述的气压检测传感器，其特征在于：所述压力检测用的热敏电阻及所述压力补偿用的热敏电阻分别被收容于包括经划分的收容空间部的壳体中，并配设于大致相同的热环境。4.根据权利要求3所述的气压检测传感器，其特征在于：收容所述压力检测用的热敏电阻的收容空间部成为与外部气体连通的状态，收容所述压力补偿用的热敏电阻的收容空间部在一定的气压下处于密封状态。5.根据权利要求1至4中任一项所述的气压检测传感器，其特征在于：导线构件以经焊接的状态连接于所述压力检测用的热敏电阻及所述压力补偿用的热敏电阻的电极层。6.根据权利要求5所述的气压检测传感器，其特征在于：所述导线构件的热导率为50W/m
·
K以下。7.根据权利要求1至6中任一项所述的气压检测传感器，其特征在于：所述电阻值的配对为
±
1％以下。8.根据权利要求1至7中任一项所述的气压检测传感器，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎百花，野尻俊幸，
申请(专利权)人：世美特株式会社，
类型：发明
国别省市：