用于运行一组压力传感器的方法技术

用于运行一组(1)压力传感器的方法，所述压力传感器被布置，使得所述压力传感器能够测量共同的测量体积(2)中的压力，其中该组压力传感器至少包括具有第一压力测量范围的第一压力传感器(1')和具有第二压力测量范围的第二压力传感器(1”)，其中第一和第二压力测量范围在重叠压力测量范围中重叠，其中第一和第二压力传感器各基于间接压力测量原理并且被设立用于输出根据参考气体被校准的测量信号，并且其中该方法包括以下步骤：a)提供用于第一测量信号和用于第二测量信号的气体类型特定的校准数据，所述校准数据分别描述第一和第二测量信号对有效压力和对气体类型列表的依赖性；b)分别记录第一和第二测量信号的第一和第二测量值；c)确定结果气体类型，该结果气体类型在考虑第一和第二校准数据的情况下最佳地匹配于所记录的第一测量值和所记录的第二测量值的组合。在一个变型方案中附加地确定不依赖于气体类型的结果压力。此外，本发明专利技术涉及用于执行该方法的设备以及计算机程序产品。执行该方法的设备以及计算机程序产品。执行该方法的设备以及计算机程序产品。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于运行一组压力传感器的方法


[0001]本专利技术涉及一种用于运行一组至少两个压力传感器的方法。

技术介绍

[0002]在现有技术中，用于测量压力的各种测量原理是已知的。可以将这些测量原理分为两组，即直接压力测量原理和间接压力测量原理，所述直接压力测量原理最终确定单位面积的力，所述间接压力测量原理利用另一物理量对压力的依赖性、例如气体的热导率的压力依赖性。间接压力测量原理显示出对气体的类型的或多或少强的依赖性。
[0003]应用直接的、不依赖于气体类型的压力测量原理的压力传感器的示例是压电膜片压力表、电容膜片压力表或光学膜片压力表。应用间接的、依赖于气体类型的压力测量原理的压力传感器的示例是皮拉尼(Pirani)传感器、冷阴极电离真空计(例如倒置磁控管)或热阴极电离真空计(例如Bayard
‑
Alpert)。
[0004]压力传感器由于其测量原理大多是针对特定的压力测量范围设计的。通过将多个压力传感器组结果一组压力传感器，可以增大测量范围。然而，在组合全部应用间接压力测量原理的压力传感器的情况下，测量不确定性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.用于运行一组(1)压力传感器(1'，1”)的方法，所述压力传感器被布置，使得所述压力传感器能够测量共同的测量体积(2)中的压力，其中该组压力传感器至少包括具有第一压力测量范围(4')的第一压力传感器(1')和具有第二压力测量范围(4”)的第二压力传感器(1”)，其中所述第一压力测量范围和所述第二压力测量范围在重叠压力测量范围(6)中重叠，其中所述第一压力传感器(1')基于第一间接压力测量原理并且被设立用于输出根据参考气体(G
ref
)被校准的第一测量信号，其中所述第二压力传感器(1”)基于第二间接压力测量原理并且被设立用于输出根据所述参考气体被校准的第二测量信号，并且其中所述方法包括以下步骤：a)提供(101)用于所述第一测量信号的气体类型特定的第一校准数据(K1[G
i
])和用于所述第二测量信号的气体类型特定的第二校准数据(K2[G
i
])，其中针对包括至少一种与所述参考气体不同的第一气体类型(G1)的气体类型列表，所述第一校准数据和第二校准数据分别描述所述第一测量信号和第二测量信号对所述共同的测量体积中的有效压力(p
eff
)和气体类型的依赖性；b)基本上同时记录(102)所述第一测量信号的第一测量值(p1)并且记录所述第二测量信号的第二测量值(p2)；c)将结果气体类型(G*)确定(103)为所述气体类型列表中的如下气体类型，该气体类型在考虑所述第一和第二校准数据的情况下最佳地匹配于所记录的第一测量值(p1)和所记录的第二测量值(p2)的组合。2.根据权利要求1所述的方法，包括以下附加步骤：d)根据所记录的第一测量值(p1)和用于所述结果气体类型的第一校准数据和/或根据所记录的第二测量值(p2)和用于所述结果气体类型的第二校准数据确定(104)结果压力(p*)。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述第一压力传感器和所述第二压力传感器是真空压力传感器。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述第一压力传感器(1')是皮拉尼传感器。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述第二压力传感器(1”)是热阴极电离真空计、尤其Bayard
‑
Alpert型热阴极电离真空计。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述第二压力传感器(1”)是冷阴极电离真空计、尤其倒置磁控管。7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述气体类型特定的第一和第二校准数据(K1[G
i
]，K2[G
i
])各分别通过第一和第二因数(C1[G
i
]，C2[G
i
])来定义，所述第一测量信号和所述第二测量信号应分别与所述第一和第二因...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：英福康有限公司，
类型：发明
国别省市：