一种悬臂探针转运结构及加工方法技术

本发明专利技术公开了一种悬臂探针转运结构及加工方法，属于探针技术领域。所述转运结构包括吸附头和连接块；所述吸附头的底部为锥形结构，所述吸附头的底面具有与悬臂探针的针杆相匹配的弧形凹槽，所述弧形凹槽的两端沿直线延伸并贯穿所述吸附头，且所述弧形凹槽的轴线倾斜于所述连接块的底面布置，所述吸附头内具有吸附通道，所述吸附通道和所述弧形凹槽连通，所述吸附头与所述连接块可拆卸连接，所述连接块上具有真空孔，所述真空孔与所述吸附通道连通。本发明专利技术实施例提供的一种悬臂探针转运结构，不仅可以自动实现对悬臂探针的转运，提高了悬臂针探针卡的制造效率，还能适应不同类型的悬臂探针。的悬臂探针。的悬臂探针。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂探针转运结构及加工方法


[0001]本专利技术属于探针
，具体涉及一种悬臂探针转运结构及加工方法。

技术介绍

[0002]在新型显示、半导体等电子部件模块中，在其制造工序中需要进行导通等性能检测，即使用探针卡上探针一端直接与被测产品上的金手指接触，探针另一端与转接PCB上的Pad点接触，通过转接PCB的转接与检测装置连接起来，由此形成通路，进行检测。
[0003]探针卡的种类繁多，其中悬臂针探针卡应用较为广泛，目前行业中普遍采用的悬臂针探针卡的制造工艺是：人工依次对将倾斜布置的悬臂探针（即悬臂探针的针杆倾斜布置）从针盘转运至定位工位上，以对多个悬臂探针进行定位，然后将多个悬臂探针与PCB板进行点焊装针。
[0004]然而，悬臂探针尺寸极小，使得通过人工手动逐一夹取及移动的效率较低，导致悬臂针探针卡的制造效率低下。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本专利技术提供了一种悬臂探针转运结构及加工方法，其目的在于不仅可以自动实现对悬臂探针的转运，提高了悬臂针探针卡的制造效率，还能适应不同类型的悬臂探针。
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种悬臂探针转运结构，所述转运结构包括吸附头和连接块；所述吸附头的底部为锥形结构，所述吸附头的底面具有与悬臂探针的针杆相匹配的弧形凹槽；所述弧形凹槽的两端沿直线延伸并贯穿所述吸附头，且所述弧形凹槽的轴线倾斜于所述连接块的底面布置；所述吸附头内具有吸附通道，所述吸附通道和所述弧形凹槽连通；所述吸附头与所述连接块可拆卸连接，所述连接块上具有真空孔，所述真空孔与所述吸附通道连通。
[0007]可选地，所述吸附头的底部具有多个连接孔，多个所述连接孔平行间隔布置，且多个所述连接孔沿所述弧形凹槽的轴向排列，各所述连接孔的两端分别连通所述吸附通道和所述弧形凹槽。
[0008]可选地，所述连接孔包括相互连通的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的外径大于所述第二通孔的外径，且所述第一通孔连通所述吸附通道，所述第二通孔连通所述弧形凹槽。
[0009]可选地，所述第一通孔的外径为0.4
‑
1.0mm，所述第一通孔的长度为1
‑
2mm，所述第二通孔的外径为0.05
‑
0.1mm，所述第二通孔的长度为0.5
‑
0.8mm。
[0010]可选地，所述弧形凹槽的对应的弧度为60
‑
120
°
，且所述连接孔的直径为所述弧形
凹槽对应直径的0.5
‑
0.8倍。
[0011]可选地，所述连接孔的数量不小于30个，且任意相邻两个所述连接孔的间距为0.5
‑
1.0mm。
[0012]可选地，所述吸附头的底部具有狭缝，所述狭缝沿所述弧形凹槽的轴向方向延伸，所述狭缝的顶端连通所述吸附通道，所述狭缝底端连通所述弧形凹槽。
[0013]可选地，所述吸附头包括两个吸附体，两个所述吸附体可拆卸连接，各所述吸附体上具有吸附槽和弧形半槽，所述弧形半槽在轴向上均与相对应的所述吸附槽连通，两个所述吸附槽形成所述吸附通道，两个所述弧形半槽形成所述弧形凹槽。
[0014]可选地，所述吸附头的顶部具有密封凹槽，所述密封凹槽的外径大于所述吸附通道，所述密封凹槽与所述吸附通道连通，所述连接块的底部具有凸台，所述真空孔贯穿所述凸台，所述凸台插装在所述密封凹槽中，且所述凸台和所述密封凹槽底部之间夹设有密封件。
[0015]第二方面，本专利技术实施例提供了一种悬臂探针转运结构的加工方法，所述加工方法基于第一方面所述的转运结构，所述加工方法包括：对所述吸附头的底端进行加工，使得所述吸附头的底部形成锥形及所述吸附头的底面形成所述弧形凹槽；分别对所述吸附头和所述连接块进行加工，形成所述吸附通道和所述真空孔，并使得所述吸附通道和所述弧形凹槽连通；连接所述连接块和所述吸附头，并使得所述真空孔与所述吸附通道连通。
[0016]总体而言，通过本专利技术所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有的有益效果如下：对于本专利技术实施例提供的一种悬臂探针转运结构，在对悬臂探针进行转运时，首先，将连接块固定在位移结构上，并使得连接块的底面水平布置。然后，通过位移模块将吸附头位移至针盘上相对应的悬臂探针正上方，并下降该吸附头而使得弧形凹槽与对应的悬臂探针的针杆相匹配。接着，启动抽气设备，通过对真空孔进行抽真空，从而使得悬臂探针吸附在弧形凹槽中。最后，通过位移模块将各悬臂探针依次输送至定位工位上，关闭抽气设备，将多个悬臂探针放置至定位工位上，从而可以自动实现对悬臂探针的转运，提高了悬臂针探针卡的制造效率。
[0017]而当需要转运不同类型的悬臂探针（即悬臂探针外径及悬臂探针的针杆放置在针盘的倾斜角不同）时，仅通过更换带有相适配的吸附头即可（从连接块上拆卸下吸附头，仅更换具有相对应直径及倾斜角弧形凹槽的换吸附头即可），从而实现对连接块的通用，且不需再次安装、定位连接块，进而适应不同类型的悬臂探针。
[0018]也就是说，本专利技术实施例提供的一种悬臂探针转运结构，不仅可以自动实现对悬臂探针的转运，提高了悬臂针探针卡的制造效率，还能适应不同类型的悬臂探针。
附图说明
[0019]图1是本专利技术实施例提供的一种悬臂探针转运结构的结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的吸附头的结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的吸附头的剖视图；
图4是图3的局部放大图；图5是本专利技术实施例提供的连接块的结构示意图；图6是本专利技术实施例提供的一种悬臂探针转运结构的加工方法的流程图。
[0020]在所有附图中，同样的附图标记表示相同的技术特征，具体为：1、吸附头；11、弧形凹槽；12、吸附通道；13、连接孔；131、第一通孔；132、第二通孔；14、密封凹槽；15、螺纹孔；16、台阶；2、连接块；21、真空孔；211、第三通孔；212、第四通孔；22、凸台；23、避位缺口；24、定位槽；25、安装孔；100、悬臂探针。
具体实施方式
[0021]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。此外，下面所描述的本专利技术各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0022]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0023]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述转运结构包括吸附头和连接块；所述吸附头的底部为锥形结构，所述吸附头的底面具有与悬臂探针的针杆相匹配的弧形凹槽；所述弧形凹槽的两端沿直线延伸并贯穿所述吸附头，且所述弧形凹槽的轴线倾斜于所述连接块的底面布置；所述吸附头内具有吸附通道，所述吸附通道和所述弧形凹槽连通；所述吸附头与所述连接块可拆卸连接，所述连接块上具有真空孔，所述真空孔与所述吸附通道连通。2.根据权利要求1所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述吸附头的底部具有多个连接孔，多个所述连接孔平行间隔布置，且多个所述连接孔沿所述弧形凹槽的轴向排列，各所述连接孔的两端分别连通所述吸附通道和所述弧形凹槽。3.根据权利要求2所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述连接孔包括相互连通的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的外径大于所述第二通孔的外径，且所述第一通孔连通所述吸附通道，所述第二通孔连通所述弧形凹槽。4.根据权利要求3所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述第一通孔的外径为0.4
‑
1.0mm，所述第一通孔的长度为1
‑
2mm，所述第二通孔的外径为0.05
‑
0.1mm，所述第二通孔的长度为0.5
‑
0.8mm。5.根据权利要求2所述的一种悬臂探针转运结构，其特征在于，所述弧形凹槽的对应的弧度为60
‑
120
°
，且所述连接孔的直径为所述弧形凹槽对应直径的0.5
‑
0.8倍。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤友龙，何旸，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：