一种横模抑制的声表面波装置及其成型方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种横模抑制的声表面波装置及其成型方法，属于声表面波滤波器技术领域，声表面波装置包括压电基板、叉指换能器和反射栅，叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；压电基板的一侧设置有横模抑制金属层，横模抑制金属层包括第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条，第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条的表面覆盖有非金属介质层，第一横模抑制金属条横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第一叉指电极的端部对应，第二横模抑制金属条横跨第一叉指电极和第二叉指电极且与第二叉指电极的端部对应。该成型方法用于成型上述的声表面波装置，该声表面波装置不但可以有效的抑制横模，而且可以减低成型工艺难度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种横模抑制的声表面波装置及其成型方法


[0001]本专利技术涉及声表面波
，尤其涉及一种横模抑制的声表面波装置及其成型方法。

技术介绍

[0002]随着移动通信技术的快速发展，声表面波装置（Surface Acoustic Wave,SAW）由于其尺寸小，性能好等特点，在射频前端中占有越来越重要的地位。而由于声表面波装置的结构限制，叉指电极在采用叠层结构的声表面波装置中不可避免会激发出高阶的横向杂波，反应到导纳曲线可以发现，谐振频率往高频方向会出现很多尖刺，导致滤波器的性能恶化。
[0003]而目前的横模抑制手段是改变叉指电极的末端区域的声速，从而抑制横向杂波，例如专利技术专利公布号CN116683885A公开了一种具有活塞模式的声表面波装置，该专利技术申请文件中公开了在电极指的端部设置了电极指增重部，从而改变声速以达到横模抑制的作用。然而对于一些高频滤波器，周期很小，叉指指条和间隙也相应很窄，而由于增加了电极指增重部，使得精度的要求非常高，这对成型的工艺要求非常苛刻，对光刻机的分辨率要求也非常高，而一旦工艺精度不满足，就容易造本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种横模抑制的声表面波装置，包括压电基板、叉指换能器和反射栅，所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；所述第一叉指电极自第一汇流条引出并向第二汇流条延伸，所述第二叉指电极自第二汇流条引出并向第一汇流条延伸，其特征在于：所述压电基板的一侧设置有横模抑制金属层，所述横模抑制金属层包括纵向延伸的第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条，所述第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条的表面覆盖有非金属介质层，所述叉指换能器和反射栅设置于非金属介质层的表面，所述第一横模抑制金属条横跨所述第一叉指电极和第二叉指电极且与第一叉指电极的端部位置对应，所述第二横模抑制金属条横跨所述第一叉指电极和第二叉指电极且与第二叉指电极的端部位置对应。2.如权利要求1所述的一种横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述非金属介质层的导热系数高于压电基板的导热系数。3.如权利要求1或2所述的一种横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条设置于所述压电基板的一侧表面上；或者所述压电基板的一侧面设置有容纳所述第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条的容纳槽，所述第一横模抑制金属条和第二横模抑制金属条设置于所述容纳槽内。4.如权利要求3所述的一种横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述非金属介质层包括间隔的第一覆盖区域和第二覆盖区域，所述第一覆盖区域覆盖所述第一横模抑制金属条，所述第二覆盖区域覆盖所述第二横模抑制金属条，所述第一叉指电极和第二叉指电极在非金属介质层以外的区域与压电基板接触。5.如权利要求4所述的一种横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述第一横模抑制金属条与第二横模抑制金属条相邻的一侧为第一临近侧面，所述第二横模抑制金属条与第一横模抑制金属条的相邻的一侧为第二临近...

【专利技术属性】
技术研发人员：王景虹，李晓辉，
申请(专利权)人：苏州声芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：