一种声表面波谐振器、声学滤波器及电子设备制造技术

技术编号:39299780 阅读:50 留言:0更新日期:2023-11-07 11:08
本申请的实施例提供一种声表面波谐振器、声学滤波器及电子设备,涉及半导体技术领域,可以提高声学滤波器的性能。该声表面波谐振器包括叉指换能器、压电材料层、第一介质层、第二介质层以及栅格结构;第一介质层设置在第二介质层上方,压电材料层设置在第一介质层上方,叉指换能器设置在压电材料层上方,叉指换能器包括沿第一方向依次交替排布的第一电极指和第二电极指;栅格结构设置于第一介质层中,用于抑制声表面波谐振器的杂散谐振;其中,第一介质层的声速小于压电材料层的声速,第二介质层的声速大于压电材料层的声速。层的声速大于压电材料层的声速。层的声速大于压电材料层的声速。层的声速大于压电材料层的声速。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:张本锋黄裕霖李昕熠高宗智
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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