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一种声表面波谐振器、声学滤波器及电子设备制造技术
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文档序号:39299780
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本申请的实施例提供一种声表面波谐振器、声学滤波器及电子设备,涉及半导体技术领域,可以提高声学滤波器的性能。该声表面波谐振器包括叉指换能器、压电材料层、第一介质层、第二介质层以及栅格结构;第一介质层设置在第二介质层上方,压电材料层设置在第一介...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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