平板显示器基板的电气性能测试中使用的冷却及防潮装置制造方法及图纸

技术编号:3931795 阅读:241 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种冷却及防潮装置,用于利用压缩气体冷却平板显示器面板的基板表面,同时防止空气中所含的水分凝结形成水滴落在基板表面上。该装置包括:流速/压力控制器,用于控制压缩气体的流速/压力;冷/热气体生成单元,用于将提供的压缩气体分成冷、热气流;加热器,用于将从冷/热气体生成单元排出的冷气流加热;冷气流喷嘴,用于向FPD基板的表面喷射冷气体,冷却其表面,所述冷气体是从冷/热气体生成单元排放出并通过加热器进行温度控制;防潮单元,用于围绕喷出的冷气流喷射热气流,实现FPD基板的防潮。当本发明专利技术的装置被应用于现有的热流装置中,则能在高于和低于常温的条件下,对FPD基板进行电气性能测试,增强FPD产品的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在平板显示器面板(FDP)基板的电气性能测试中使用的装置,尤其是涉及冷却及防潮装置,该装置采用压缩气体冷却平板显示器面板的基板的表面,以及在基 板冷却过程中用于防止空气中所含的水分冷凝并形成水滴落在所述基板的表面上。
技术介绍
现有技术的描述如现有技术中公知的,平板显示器(FPDs)在被积极地研发作为显示设备以替代 传统的阴极射线管。这种平板显示器面板的典型实例包括液晶显示器(LCDs),等离子显示 面板(PDPs),场致发射显示器(FEDs),以及真空管荧光显示器(VFDs)。这种FPD是通过下列步骤制成的,所述步骤包括制造下部基板,制造上部基板,以 及将上下部基板粘结在一起。更具体地,为了制造下部基板,在裸露的玻璃板上形成多个单 元,在每个单元中将多条水平线和垂直线按照矩阵方式形成相互交叉,并且在水平线和垂 直线之间的每一个交叉点上形成具有透明像素电极的像素单元。另外,在薄膜晶体管内形 成像素单元,所述薄膜晶体管与水平线和垂直线以及像素电极连接。将在未加工的玻璃板 上形成的单元经由划线步骤切割出,划线步骤紧跟在检查步骤之后。按照这种方式从未加 工的玻璃板上切割出每个单元,即,分别将下部基板粘合到在上部基板制造步骤中完成的 上部基板上,以及将用于驱动像素单元的驱动电路和各种组件装配到上下部基板上,继而 制成FPD。同时,将探针台作为用于测试FPD基板的电路图的晶体管的电气性能的装置,其 中,探针台通过将探针与晶体管接触来实现对FPD基板上形成的很小的每个晶体管的电气 性能进行测试。与普通半导体装置一样,在FPD基板上测试晶体管的电气性能,常常受到温度的 影响。尤其是,在采用背光的FPD的情况下,FPD基板中的晶体管在工作时经历温度的突变, 这是由于随着时间的推移背光产生的热量和由于外部环境引起的温度变化。为此,需要在 开发和制造FPD的同时选择性地将热量施加于FPD上之后,测试FPD的电气性能。例如,将 能够通过加热基板来控制基板温度的装置安装到LCD探针系统上以执行这样测试。图1显示了一种常见装置,其通过热板法加热基板。该方法按照下列方式执行,即 作为加热设备,将热板2设置在平台1上,在之上放置有基板S,并通过线性驱动设备4将探 头3沿着平台1的X轴和Y轴运动,以测试经由热板2加热的基板S的晶体管。然而,在装 置采用这种热板2时,热板2仅仅对基板S的局部区域进行加热。因此,存在测试只能在加 热过的区域中执行的问题。图2显示了另一种常见装置,其通过热流法加热基板。该装置具有热风排放设备, 这样需要将探头20上的热流40安装到线性驱动设备20上,其中线性驱动设备20沿着平 台10的X轴和Y轴运动,在之上放置有基板S。也就是说,在通过线性驱动设备20将探头 30与热流40 —起运动时,热流40将热风喷射到基板S上,从而加热基板S。因此,有可能对基板S的整个区域进行测试。然而,由于通过热流40加热基板S是在高于常温的温度下 执行的,所以存在当温度条件低于常温的情况下不能对基板S的晶体管进行测试的问题。在过去FPD产品主要只用在室内,且便携器械用于邻近人体的位置处,这就不必 在低于常温的寒冷状态下测试FPD基板。然而,近来,随着需求FPD产品领域的扩增,包括 用于汽车的导航,要求FPD产品暴露于低于常温的温度下的情况激增。因此,这种激增必然 要求在开发和制造FPD产品的同时对FPD基板上的晶体管的电气性能进行测试。 在过去,为了对FPD基板执行低温测试,其必须将基板切成多个小块,以在冷却室 中测试小块,或者通过繁琐的程序进行测试。
技术实现思路
因此,本专利技术是为了解决现有技术中出现的上述问题,且本专利技术的目的在于提供 用于在测试平板显示器(FDP)基板的电气性能中使用的冷却及防潮装置,其中甚至是在低 于常温的低温冷却情形下,冷却及防潮装置不仅仅允许对FPD基板的整个区域上的电气性 能进行简单而便捷的测试,当FPD基板被冷却到低温下时,还能防止产生水分。为了实现这一目的,这里提供了用于在测试平板显示器(FPD)基板的电气性能中 使用的冷却及防潮装置,该装置包括流速/压力控制器,用于控制从外界引入的压缩气体 的流速/压力;冷/热气体生成单元,用于将从流速/压力控制器得到的压缩气体分成冷气 流和热气流,并排出冷气流和热气流;加热器,用于加热从冷/热气体生成单元排出的冷气 流,从而将气流的温度控制到用于测试FPD基板的电气性能所需的温度;电源,用于为加热 器供给热量生成源;冷气流喷嘴,用于向FPD基板的表面喷射冷气体,从而冷却其表面,所 述冷气体是从冷/热气体生成单元排出的,并通过加热器进行温度控制;防潮单元,用于围 绕冷气流喷嘴喷出的冷气流喷射热气流,所述热气流是从冷/热气体生成单元排出的,从 而实现FPD基板的防潮;以及控制单元,用于控制流速/压力控制器以及电源的工作。这里,冷/热气体生成单元可由涡流管构成。此外,加热器具有这样的结构,即在该结构中,连接到电源的热量生成电线嵌入陶 瓷体内。此外,电源可以是线性DC电源。此外,防潮单元可包括热气流导引元件,该元件连接到冷/热气体生成单元的热 气体排出端部,并与冷气流喷嘴的上部边缘结合,从而将热气流引入热气流导引元件内,热 气流导引元件具有一个或多个倾斜的喷出口,从而将引入的热气流在冷气流喷嘴周围倾斜 地排出;以及热气流排出嘴,其从热气流导引元件上延伸出并包围冷气流喷嘴,热气流排出 嘴提供经由倾斜口排出的热气流,并将其喷射到基板表面上同时形成气旋,这样热气流会 使得冷气体的温度升高到常温下,所述冷气体已将基板的表面冷却,从而防止在基板的表 面上产生水气。此外,本专利技术的装置可进一步包括热气流流速的控制阀,用于控制在流速/压力 控制器的控制下从冷/热气体生成单元排出的以及提供给防潮单元的热气流的流速;以及 冷气体与热气体的比率控制阀,其设置在冷/热气体生成单元的热气流排出侧,冷气体到 热气体的比率控制阀的开启或关闭是与热气流流速的控制阀协同完成,从而控制由冷/热 气体生成单元排出的冷气流到热气流的比率。冷气体到热气体的比率控制阀可通过管路与流速/压力控制器连接,这样通过流 速/压力控制器,所述冷气体到热气体将已排出的热气体排放到外面。同时,加热器具有冷气流温度传感器,其用于检测由加热器加热的冷气流的温度, 本专利技术的装置可进一步包括温度控制器,用于控制电源,从而根据在检测到的冷气流的温 度信息的基础上进行的控制器的控制,来控制加热器对冷气流进行加热的温度。具有上述构造的本专利技术装置能将FPD基板的表面冷却到常温以下,同时还能避免 在FPD基板的表面上产生水气。因此,本专利技术的装置可用于在低温下简单便捷地对FPD基 板的电气性能进行测试。如果本专利技术的装置被安装在及用于现有的热流装置中,则可能不仅在高于常温的 高温条件下,而且还能在低于常温的低温冷却条件下,对FPD基板进行电气性能测试,因 此,本专利技术的装置有助于增强FPD产品的可靠性。附图说明随后通过结合附图的具体描述,本专利技术的上述及其他的目的、特征和优点将变得 更加清楚,其中图1是利用热板法加热基板的常见装置的顶面视图;图2是利用热流法加热基板的常见装置的顶面视图;图3显示了根据本专利技术的实施例的装置的整个结本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种冷却及防潮装置,在测试平板显示器基板的电气性能中使用,该装置包括:流速/压力控制器,用于控制从外界引入的压缩气体的流速/压力;冷/热气体生成单元,用于将从流速/压力控制器提供的压缩气体分成冷气流和热气流,并排出冷气流和热气流;加热器,用于加热从冷/热气体生成单元排出的冷气流,从而将气流的温度控制到用于测试平板显示器基板的电气性能所需的温度;电源,用于为加热器供给热量生成源;冷气流喷嘴,用于向平板显示器基板的表面喷射冷气体,从而冷却所述表面,所述冷气体是从冷/热气体生成单元排出的,并通过加热器进行温度控制;防潮单元,用于围绕冷气流喷嘴喷出的冷气流喷射热气流,从而实现平板显示器基板的防潮,所述热气流是从冷/热气体生成单元排出的;以及控制单元,用于控制流速/压力控制器以及电源的工作。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:金钟纹赵原一李元圭柳尚灿
申请(专利权)人:阳电子系统株式会社
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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