一种半导体用坩埚轴自动切割机制造技术

技术编号:39308970 阅读:7 留言:0更新日期:2023-11-12 15:55
本发明专利技术涉及一种半导体用坩埚轴自动切割机,包括:机座;活动式安装于机座上的切割承载台,切割承载台上安装有固定组件,切割承载台上连接有切割调节件;位于切割承载台上方的切割驱动件;以及,设于切割承载台一侧的上料组件,上料组件包括:上料传动件、安装于上料传动件的夹持固定件。通过采用切割承载台和上料组件相互配合形式设置,使切割承载台可对多组不同规格的坩埚轴上料,提高上料效率,使自动切割机具有更好的使用灵活性;夹持固定件的设置,对上料传动件上的坩埚轴固定,保证坩埚轴传动的稳定性;且上料传动件可实现对多组坩埚轴进行自动上料,避免传动人工上料效率慢。避免传动人工上料效率慢。避免传动人工上料效率慢。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体用坩埚轴自动切割机


[0001]本专利技术属于坩埚轴
,具体涉及一种半导体用坩埚轴自动切割机。

技术介绍

[0002]坩埚轴是一种半导体行业使用的支撑连接件,使用非常广泛;目前,对坩埚轴切割的自动切割机,每次只能适应单一规格的坩埚轴进行切割,需要频繁进行上料,不能同时对多组坩埚轴切割,导致整个切割效率低,使用的灵活性差,不易于生产效率提高。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种半导体用坩埚轴自动切割机,具有适应高的优点。
[0004]为达到上述目的,本专利技术的技术方案如下:
[0005]一种半导体用坩埚轴自动切割机,包括:机座;活动式安装于所述机座上的切割承载台,所述切割承载台上安装有固定组件,所述切割承载台上连接有切割调节件;位于所述切割承载台上方的切割驱动件;以及,设于所述切割承载台一侧的上料组件,所述上料组件包括:上料传动件、安装于所述上料传动件的夹持固定件。
[0006]作为对本专利技术的一种优选方案,所述切割承载台上开设有三组切割承载槽,三组所述切割承载槽的槽径各不相同。
[0007]实现上述技术方案,切割承载槽的设置,可实现对不同轴径的坩埚轴放置。
[0008]作为对本专利技术的一种优选方案,所述机座下方安装有坩埚轴固定件,所述坩埚轴固定件包括:坩埚轴驱动电机、转动式设于所述坩埚轴驱动电机上的固定挡板,所述固定挡板朝向一所述切割承载槽设置。
[0009]实现上述技术方案,通过固定挡板的设置,对放置完成的坩埚轴固定,保证切割过程中的稳定性。
[0010]作为对本专利技术的一种优选方案,所述机座远离所述固定挡板一侧安装有固定前板。
[0011]实现上述技术方案,固定前板的设置,对坩埚轴一侧起到抵紧固定作用,便于对坩埚轴另一侧固定。
[0012]作为对本专利技术的一种优选方案,所述切割调节件设有两组,所述切割调节件的驱动端与所述切割承载台连接。
[0013]实现上述技术方案,通过切割调节件对切割承载台位置,便于切割承载台更好的上料。
[0014]作为对本专利技术的一种优选方案,所述固定组件设有四组,且采用旋转夹持缸形式设置。
[0015]实现上述技术方案,旋转夹持缸的设置,对坩埚轴固定,便于切割作业进行。
[0016]作为对本专利技术的一种优选方案,所述上料组件设有两组,所述上料传动件采用皮
带传送形式设置。
[0017]实现上述技术方案,上料组件设置,对坩埚轴上料,使其运动切割承载台上。
[0018]作为对本专利技术的一种优选方案,所述夹持固定件包括:夹持板、对称固定设于所述夹持板上的夹持固定缸,所述夹持板两两对称设置,且设有多组,所述夹持固定缸的夹持爪朝向内侧设置。
[0019]实现上述技术方案,夹持固定缸的设置,使夹持爪对坩埚轴固定,提高上料过程中的稳定性。
[0020]综上所述,本专利技术具有如下有益效果:
[0021]通过采用切割承载台和上料组件相互配合形式设置,使切割承载台可对多组不同规格的坩埚轴上料,提高上料效率,使自动切割机具有更好的使用灵活性;夹持固定件的设置,对上料传动件上的坩埚轴固定,保证坩埚轴传动的稳定性;且上料传动件可实现对多组坩埚轴进行自动上料,避免传动人工上料效率慢;切割调节件的设置,对切割承载台位置调节,使切割承载台与上料传动件之间更好衔接,实现无缝上料。
[0022]综上,本专利技术的自动切割机具有上料效率高,适应高的优点,可适应不同规格坩埚轴切割。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0025]图2为本专利技术的机座结构示意图。
[0026]图3为本专利技术的上料组件结构示意图。
[0027]图中数字和字母所表示的相应部件名称:
[0028]1、机座;2、切割承载台;3、切割调节件;4、切割驱动件;5、上料传动件;6、切割承载槽;7、坩埚轴驱动电机;8、固定挡板;9、固定前板;10、固定组件;11、夹持板;12、夹持固定缸;13、夹持爪。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0030]实施例
[0031]一种半导体用坩埚轴自动切割机,如图1至图3所示,包括:机座1;活动式安装于机座1上的切割承载台2,切割承载台2上安装有固定组件10,切割承载台2上连接有切割调节件3;位于切割承载台2上方的切割驱动件4;以及,设于切割承载台2一侧的上料组件。
[0032]其中,上料组件包括:上料传动件5、安装于上料传动件5的夹持固定件。
[0033]上料组件设有两组,上料传动件5采用皮带传送形式设置,上料传动件5带动夹持固定件发生转动,进行上料作业。
[0034]具体的,夹持固定件由夹持板11和夹持固定缸12组成,坩埚轴放置在上料传动件5上,通过夹持固定缸12对坩埚轴夹持固定;同时,上料传动件5可对多组不同规格的坩埚轴上料,提高上料效率。
[0035]且夹持板11两两对称设置,设有多组,夹持固定缸12的夹持爪13朝向内侧设置。
[0036]进一步的,切割承载台2上开设有三组切割承载槽6,三组切割承载槽6的槽径各不相同;上料传动件5对坩埚轴机进行上料,使坩埚轴运动至切割承载台2上,通过外接的机械臂,使坩埚轴运动至对应的切割承载槽6内,对不同规格坩埚轴上料。
[0037]机座1下方安装有坩埚轴固定件,坩埚轴固定件对切割承载槽6内的坩埚轴固定,坩埚轴固定件包括:坩埚轴驱动电机7、转动式设于坩埚轴驱动电机7上的固定挡板8,固定挡板8朝向一切割承载槽6设置。
[0038]坩埚轴固定电机使固定挡板8推动坩埚轴向固定前板9方向运动,对坩埚轴固定,且固定前板9远离固定挡板8方向设置,设于机座1上。
[0039]切割调节件3设有两组,切割调节件3的驱动端与切割承载台2连接。在专利技术中,切割调节件3采用液压缸形式设置,切割调节件3使切割承载台2在机座1上发生滑动,使切割承载台2与上料传动件5之间更精准上料。
[0040]最后,切割承载台2上的固定组件10对放置完成的坩埚轴固定,且设有四组,采用旋转夹持缸形式设置,再通过切割驱动件4上的切割头对坩埚轴进行切割作业。
[0041]通过采用切割承载台2和上料组件相互配合形式设置,使切割承载台2可对多组不同规格的坩埚轴上料,提高上料效率,使自动切割机具有本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体用坩埚轴自动切割机,其特征在于,包括:机座(1);活动式安装于所述机座(1)上的切割承载台(2),所述切割承载台(2)上安装有固定组件(10),所述切割承载台(2)上连接有切割调节件(3);位于所述切割承载台(2)上方的切割驱动件(4);以及,设于所述切割承载台(2)一侧的上料组件,所述上料组件包括:上料传动件(5)、安装于所述上料传动件(5)的夹持固定件。2.根据权利要求1所述的一种半导体用坩埚轴自动切割机,其特征在于,所述切割承载台(2)上开设有三组切割承载槽(6),三组所述切割承载槽(6)的槽径各不相同。3.根据权利要求2所述的一种半导体用坩埚轴自动切割机,其特征在于,所述机座(1)下方安装有坩埚轴固定件,所述坩埚轴固定件包括:坩埚轴驱动电机(7)、转动式设于所述坩埚轴驱动电机(7)上的固定挡板(8),所述固定挡板(8)朝向一所述切割承载槽(6)设置。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:李艮友
申请(专利权)人:无锡市奥威斯机械制造有限公司
类型:发明
国别省市:

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