本发明专利技术公开了一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法，本发明专利技术采用双边反射的方式，替代了传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式，来进行产品成像；由此，则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题，从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异物具有不同的图像差异；通过上述设计，本发明专利技术则可通过图像的差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测，进而达到提高检测效率以及降低人力成本的目的。的目的。的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法
[0001]本专利技术属于机器视觉
，具体涉及一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法。
技术介绍
[0002]目前在产品的线扫高精度瑕疵检测时，大多都会使用TDI相机，而不使用线扫相机，其原因为：线扫相机是单线曝光，而TDI相机可以多线曝光，因此，同规格的线扫相机和TDI相机存在以下差异：（1）TDI相机与线扫相机相比，亮度不需要太高；（2）TDI相机与线扫相机相比，打光效果更佳；如此，TDI相机更适应于进行产品的线扫高精度瑕疵检测。
[0003]虽然TDI相机功能强大，但是其芯片很像面阵相机，因此，相机只能垂直打法，参见图1所示（图1中的（a）表示产品存在膜下异物的光线反射示意图，图1中的（b）则为膜上异物的光线反射示意图），即现有的线扫高精度瑕疵检测时，TDI相机位于产品的正上方，通过设置一个光源以及分光镜，来向产品发射光线（分光镜反射的光线与相机镜头法线同轴），从而得到产品的膜上膜下异物检测图像；但是，前述检测方式存在以下不足：在膜上膜下异物检测，反射的光线垂直打在凸起点上，如此，反射的光都会被散射出去，打出来的缺陷都是黑色缺陷，无法判别是膜上还是膜下异物，由此，则需要通过人员再次判别，无法达到自动化检测效果，不仅降低了检测效率，还增加了大量的人力成本；基于此，如何提供一种可实现膜上膜下异物自动化检测的检测装置，已成为一个亟待解决的问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法，用以解决现有技术中得到的检测图像无法区分产品是膜上异物，还是膜下异物，需要通过人工再次判别所导致的无法达到自动化检测，从而降低了检测效率，以及增加了人力成本的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：第一方面，提供了一种膜上膜下异物的检测装置，包括：成像器和检测终端，其中，所述成像器包括分光镜、相机、第一光源和第二光源，所述相机设置于所述分光镜的正上方，且所述分光镜的正下方设置有待测产品；所述第一光源和所述第二光源用于向分光镜发射成像光线，所述分光镜用于将第一光源和第二光源发出的成像光线反射至待测产品上的指定位置上，其中，所述指定位置为所述相机中镜头的法线与所述待测产品的交点位置，所述分光镜反射的成像光线与所述法线之间的夹角大于0度，且所述相机用于接收所述待测产品反射的光线，以生成所述待测产品的膜上膜下异物检测图像；所述检测终端，用于获取所述成像器生成的待测产品的膜上膜下异物检测图像，并基于所述膜上膜下异物检测图像，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
[0006]基于上述公开的内容，本专利技术所提供的检测装置，重新设计了产品的线扫高精度瑕疵检测的成像光路，即该成像器中设置有两个光源，其中，两个光源以不同的入射角度向
分光镜发射成像光线，而分光镜则将两个光源发出的成像光线，以不同角度反射至待测产品的指定位置上，且该指定位置为相机镜头的法线与产品的交点位置；如此，分光镜反射的光线，与镜头法线实质是存在一定的夹角，基于此，本专利技术相当于是采用双边反射的方式，替代了传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式，来进行产品成像；由此，则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题，从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异物具有不同的图像差异；通过上述设计，检测终端即可通过图像的差异，来实现膜上膜下异物的自动化检测，进而达到提高检测效率以及降低人力成本的目的。
[0007]在一个可能的设计中，所述第一光源发出的成像光线在所述分光镜上的入射角度介于20
°
～60
°
之间，所述第二光源发出的成像光线在所述分光镜上的入射角度介于40
°
～80
°
之间。
[0008]在一个可能的设计中，所述第一光源和所述第二光源发出的成像光线分别通过光纤传输至所述分光镜。
[0009]在一个可能的设计中，所述相机采用TDI相机。
[0010]第二方面，提供了一种膜上膜下异物的检测方法，该检测方法适应于如第一方面或第一方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测装置中的检测终端执行，其中，所述方法包括：获取待测产品的膜上膜下异物检测图像；从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，其中，所述缺陷区域包括膜上异物区域或膜下异物区域；基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
[0011]在一个可能的设计中，从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，包括：获取缺陷掩模图像，其中，所述缺陷掩模图像是利用所述膜上膜下异物检测图像生成的；基于所述缺陷掩模图像，从所述膜上膜下异物检测图像中，确定出所述缺陷区域。
[0012]在一个可能的设计中，所述缺陷区域对应有缺陷掩模图像，且所述缺陷区域是根据所述缺陷掩模图像在所述膜上膜下异物检测图像中确定得到的，其中，基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：获取所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值；基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
[0013]在一个可能的设计中，基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，以及所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：基于所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述缺陷掩模图像中的第一灰度标准差和第一灰度均值；以及根据所述缺陷区域中各个像素点的灰度值，计算出所述缺陷区域在所述膜上膜下异物检测图像中的第二灰度标准差和第二灰度均值；依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和所述第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。
[0014]在一个可能的设计中，依据所述第一灰度标准差、所述第一灰度均值、所述第二灰度标准差和第二灰度均值，得出所述待测产品的膜上膜下异物检测结果，包括：判断所述第二灰度标准差是否大于所述第一灰度标准差，以及判断所述第二灰度均值是否大于所述第二灰度均值；若是，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜下异物。
[0015]在一个可能的设计中，所述方法还包括：若否，则生成所述膜上膜下异物检测结果为膜上异物。
[0016]第三方面，提供了一种电子设备，包括依次通信相连的存储器、处理器和收发器，其中，所述存储器用于存储计算机程序，所述收发器用于收发消息，所述处理器用于读取所述计算机程序，执行如第二方面或第二方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测方法。
[0017]第四方面，提供了一种存储介质，存储介质上存储有指令，当所述指令在计算机上运行时，执行如第二方面或第二方面中任意一种可能设计的所述膜上膜下异物的检测方法。
[0018]第五方面，提供了一种包含指令的计算机程序产品，当指令在计算机上运行时，使计算机执行如第二方面或第二方面中任意一种可能设计本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，包括：成像器和检测终端，其中，所述成像器包括分光镜（1）、相机（2）、第一光源（3）和第二光源（4），所述相机（2）设置于所述分光镜（1）的正上方，且所述分光镜（1）的正下方设置有待测产品；所述第一光源（3）和所述第二光源（4）用于向分光镜（1）发射成像光线，所述分光镜（1）用于将第一光源（3）和第二光源（4）发出的成像光线反射至待测产品上的指定位置上，其中，所述指定位置为所述相机（2）中镜头的法线与所述待测产品的交点位置，所述分光镜（1）反射的成像光线与所述法线之间的夹角大于0度，且所述相机（2）用于接收所述待测产品反射的光线，以生成所述待测产品的膜上膜下异物检测图像；所述检测终端，用于获取所述成像器生成的待测产品的膜上膜下异物检测图像，并基于所述膜上膜下异物检测图像，得到所述待测产品的膜上膜下异物检测结果。2.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，所述第一光源（3）发出的成像光线在所述分光镜（1）上的入射角度介于20
°
～60
°
之间，所述第二光源（4）发出的成像光线在所述分光镜（1）上的入射角度介于40
°
～80
°
之间。3.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，所述第一光源（3）和所述第二光源（4）发出的成像光线分别通过光纤传输至所述分光镜（1）。4.根据权利要求1所述的一种膜上膜下异物的检测装置，其特征在于，所述相机（2）采用TDI相机。5.一种膜上膜下异物的检测方法，其特征在于，适应于权利要求1～4任意一项所述的膜上膜下异物的检测装置中的检测终端执行，所述方法包括：获取待测产品的膜上膜下异物检测图像；从所述膜上膜下异物检测图像中确定出缺陷区域，其中，所述缺陷区域包括膜上异物区域或膜下异物区域；基于所述缺陷区域的灰度值，得到所述待测产品的膜上膜下...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐玉峰，林倚弘，
申请(专利权)人：成都中嘉微视科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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