下载一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法的技术资料

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本发明公开了一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法,本发明采用双边反射的方式,替代了传统垂直打法中反射光线与镜头法线同轴的反射方式,来进行产品成像;由此,则可避免传统光源反射出来的缺陷都是黑色缺陷的问题,从而使得到的检测图像对膜上异物和膜下异...
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