卷绕单元制造技术

本发明专利技术提供卷绕单元，其能够从卷绕部可靠地拔出筒膜而废弃。该卷绕单元具有卷绕机构(20、20

【技术实现步骤摘要】
卷绕单元


[0001]本专利技术涉及卷绕单元，其用于卷绕通过带粘贴装置剥离了粘接带的带状的膜。

技术介绍

[0002]在对半导体晶片等板状的被加工物进行加工时，进行如下的过程：使用带粘贴装置将被加工物和围绕被加工物的周围的环状框架利用粘接带进行一体化而形成工件组，将该工件组设置于加工装置的卡盘工作台上(例如参照专利文献1)。
[0003]关于在带粘贴装置中使用的粘接带，通过在封住环状框架的开口部的大小的圆形的基材上形成粘接层而构成。并且，将该粘接带的粘接层粘接于带状的膜上，从而沿着该膜的延伸方向以等间隔配设有多个该粘接带，这样粘接有多个粘接带的膜以卷绕成卷状的状态设置于带粘贴装置。
[0004]在带粘贴装置中，将粘接带从膜剥离而粘贴于环状框架和被加工物从而将环状框架和被加工物作为工件组而一体化，将剥离了粘接带的膜通过带粘贴装置所具有的卷绕单元进行卷绕。并且，当卷绕单元卷绕一定量的膜时，暂时停止粘接带对被加工物和环状框架的粘贴，由作业者将卷绕成卷状的膜(以下称为“筒膜”)从卷绕单元取下而废弃。然后，由作业者将呈卷状卷绕有粘接带和膜的带卷安装于带粘贴装置，重新开始粘接带对被加工物和环状框架的粘贴作业。
[0005]在将如上述那样通过卷绕单元呈卷状卷绕的筒膜废弃时，需要在暂时停止带粘贴装置之后由作业者进行将筒膜从卷绕单元取下的作业，因此除了降低粘接带的粘贴作业的效率以外，还存在需要大量工夫和时间的问题。
[0006]因此，在专利文献2中提出了如下的卷绕单元：其能够在不需要作业者的手动作业的情况下将卷绕成卷状的筒膜拔出而废弃。
[0007]上述卷绕单元构成为具有：一对卷绕部，它们具有对带状的膜进行把持的把持部而按照面对面的方式配设；旋转机构，其使这些卷绕部旋转；以及进退单元，其使一方的卷绕部相对于另一方的卷绕部接近或远离。根据该卷绕单元，在卷绕膜时，利用把持部对膜进行把持，通过旋转机构使卷绕部旋转而在卷绕部上卷绕膜，在将卷绕而得的卷状的筒膜废弃时，各把持部将膜放开，利用进退单元使卷绕部分离以便使一对卷绕部之间的距离大于膜的宽度，由此能够将卷绕成卷状的筒膜拔出而废弃。
[0008]专利文献1：日本特开2015
‑
220365号公报
[0009]专利文献2：日本特开2019
‑
104563号公报
[0010]但是，在专利文献2中提出的卷绕单元中，在将筒膜废弃时，通过进退单元使一对卷绕部相互分离，因此一对卷绕部未必同时从筒膜拔出，根据情况，会发生一方的卷绕部比另一方的卷绕部先从筒膜拔出的情况。在这样的情况下，筒膜在支承于另一方的卷绕部的状态下与该卷绕部一起移动，因此产生无法将该筒膜从一对卷绕部可靠地拔出而废弃的问题。
[0011]因此，存在希望将筒膜从卷绕单元的卷绕部可靠地拔出而废弃的课题。

技术实现思路

[0012]用于解决上述课题的本专利技术是卷绕单元，其利用与带状的膜的宽度方向平行地延伸的轴卷绕该膜，其中，该卷绕单元具有：两个卷绕机构，两个该卷绕机构按照使对该膜的侧端部分进行把持的把持部面对面的方式配置；两个旋转机构，两个该旋转机构分别使该卷绕机构旋转；以及进退机构，其使两个该卷绕机构在该轴向上相对地接近和远离，该卷绕机构具有：筒状的卷绕部，其对该把持部进行收纳，该卷绕部利用外周面卷绕该膜；以及进入部，其形成于该卷绕部，使该膜进入以使该把持部把持该膜，在一方的该卷绕机构中具有拔出机构，该拔出机构将该卷绕部卷绕该膜而形成为筒状的筒膜从该卷绕部拔出，该拔出机构具有：推顶部，其在该轴向上推顶该筒膜的侧端而使该筒膜从该把持部脱离；以及移动机构，其使放开了该膜的该把持部和该推顶部在该轴向上相对地移动，关于该拔出机构，在另一方的该卷绕机构的该把持部放开该膜并利用该进退机构使该一方的卷绕机构与该另一方的卷绕机构在相对地远离的方向上移动而将该筒膜从该另一方的卷绕机构拔出之后，通过该移动机构使该推顶部推顶该筒膜的侧端而将该筒膜拔出。
[0013]也可以如下构成卷绕单元，其中，该推顶部是具有该卷绕部能够通过的开口的板，在配置该进退机构的基台上具有对该板进行保持的板保持部，该卷绕机构具有能够使该板在该轴向上移动的引导部，通过使该卷绕机构在该轴向上移动而使该板保持于该板保持部，使该卷绕部从该板保持部所保持的该板的该开口拔出，由该板对卷绕于该卷绕部的该筒膜的侧端进行推顶，从而从该卷绕部拔出该筒膜。
[0014]另外，也可以如下构成卷绕单元，其中，该推顶部是具有该卷绕部能够通过的开口的板，该移动机构配置于该卷绕部，使该板在该轴向上移动，利用该移动机构使该板在该轴向上移动，使该卷绕部从该板的该开口拔出，由该板对卷绕于该卷绕部的该筒膜的侧端进行推顶，从而从该卷绕部拔出该筒膜。
[0015]根据本专利技术，在将筒膜从一对卷绕机构拔出而废弃时，在另一方的卷绕机构的把持部放开膜之后，通过进退机构使两个卷绕机构向相互远离的方向移动，将筒膜从另一方的卷绕机构拔出，然后通过设置于拔出机构的移动机构使一方的卷绕机构和该卷绕机构所保持的筒膜向两个卷绕机构远离的方向移动，因此一方的卷绕机构所保持的筒膜的侧端被推顶部向拔出方向推顶。因此，能够将一方的卷绕机构所保持的筒膜也从一方的卷绕机构强制性地可靠地拔出，从两个卷绕机构拔出的筒膜通过自重落下而废弃。
附图说明
[0016]图1是示出具有本专利技术的卷绕单元的带粘贴装置的基本结构的剖视侧视图。
[0017]图2是示出本专利技术的第1实施方式的卷绕单元的膜卷绕时的状态的立体图。
[0018]图3是示出本专利技术的第1实施方式的卷绕单元的筒膜拔出时的状态的立体图。
[0019]图4是示出本专利技术的第2实施方式的卷绕单元的膜卷绕时的状态的立体图。
[0020]图5是示出本专利技术的第2实施方式的卷绕单元的筒膜拔出时的状态的立体图。
[0021]图6是示出本专利技术的第3实施方式的卷绕单元的膜卷绕时的状态的立体图。
[0022]图7是示出本专利技术的第3实施方式的卷绕单元的筒膜拔出时的状态的立体图。
[0023]标号说明
[0024]1、1
’
、1”：卷绕单元；10：带卷；11：粘接带；12：膜；13：卷筒；20、20
’
：卷绕机构；21：
把持部；22、22
’
：卷绕部；23：旋转轴；24：壳体；25：支承台；26：进入部；27、28：夹持板；30、30
’
：旋转机构；31、31
’
：电动机；311：输出轴(电动机轴)；32、32
’
：支承板；321、321
’
：滑动块部；33、33
’
：驱动带轮；34、34
’
：从动带轮；35、35
’
：传动带；40、40
’
：进退机构；41：支承基台；42、42
’
：滚珠丝杠轴；43、43
’
：导轨；4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷绕单元，其利用与带状的膜的宽度方向平行地延伸的轴卷绕该膜，其中，该卷绕单元具有：两个卷绕机构，两个该卷绕机构按照使对该膜的侧端部分进行把持的把持部面对面的方式配置；两个旋转机构，两个该旋转机构分别使该卷绕机构旋转；以及进退机构，其使两个该卷绕机构在该轴向上相对地接近和远离，该卷绕机构具有：筒状的卷绕部，其对该把持部进行收纳，该卷绕部利用外周面卷绕该膜；以及进入部，其形成于该卷绕部，使该膜进入以使该把持部把持该膜，在一方的该卷绕机构中具有拔出机构，该拔出机构将该卷绕部卷绕该膜而形成为筒状的筒膜从该卷绕部拔出，该拔出机构具有：推顶部，其在该轴向上推顶该筒膜的侧端而使该筒膜从该把持部脱离；以及移动机构，其使放开了该膜的该把持部和该推顶部在该轴向上相对地移动，关于该拔出机构，在另一方的该卷绕机构的该把持部放开该膜并利用该进退机构使该一方的卷绕机构与该另一方的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉村宽，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：