一种气浮直线平台的移动组件制造技术

本发明专利技术公开了一种气浮直线平台的移动组件，属于精密加工技术领域，本移动组件包括活动配合的气浮台与承重台，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承用于实现气浮台相对于承重台处于悬浮状态；气浮台的上表面配置有第一槽体，第一槽体的内部设有第一基体，第一基体与气浮台柔性连接。本发明专利技术稳定性高，能够确保第一基体的水平度，可降低气锤振动的影响，便于物料的精密加工；并且第一基体与气浮台之间设置间隔，可降低磨损，保证装置的正常运作。保证装置的正常运作。保证装置的正常运作。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮直线平台的移动组件


[0001]本专利技术属于精密加工
，具体涉及一种气浮直线平台的移动组件。

技术介绍

[0002]在精密加工、精密测量及半导体等行业中直线运动平台得到广泛的应用，而随着这些行业的不断发展，对于直线运动平台的运行精度要求也越来越高。气浮平台因其无接触支撑，能够快速运动和精准定位，而得到越来越广泛的应用。
[0003]授权号为KR102563826B1的专利技术涉及一种超精密空气轴承线性台装置，根据该专利技术的实施例，超精密空气轴承线性台装置包括台主体、从上述主体的上部向左右两侧隔开配置、在上述主体的前后方向线性移动的多个X轴单元、在上述多个X轴单元之间交叉配置、向上述主体的左右方向线性移动的多个Y轴单元、将空气供给到上述多个Y轴单元中的至少一个的空气箱、及控制从上述气箱向上述气箱供给的空气流量。
[0004]公开号为WO2022028260A1的专利技术申请提供了一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台，包括：气浮导轨、刚柔耦合平台、驱动组件、检测组件和接触切换装置；刚柔耦合平台包括框架、工作平台和柔性铰链组件；工作平台与框架通过柔性铰链组件连接。工作时各组成部件相互配合，由气浮导轨实现长行程运动，通过刚柔耦合平台的柔性铰链弹性形变实现纳米级定位；当运动行程大于柔性铰链最大形变时，接触切换装置控制框架与气浮导轨之间切换为非接触状态，刚柔耦合平台自由运动；当运动平台位移误差小于柔性铰链最大变形后，将框架与气浮导轨之间切换为接触状态，消除刚柔耦合平台框架在气浮导轨上的波动，此时工作平台的位移完全由柔性铰链形变产生，能够实现纳米平台的精度。
[0005]但在现有的气浮平台中，气浮支撑多采用小孔节流的方式，气浮导轨和气浮块之间很容易发生抱死现象，同时小孔节流的方式很容易发生气锤自激现象，导致设备出现高频啸叫、失稳，刚性差，定位精度低，以及所承受负载能力差。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种稳定性强、磨损度低的气浮直线平台的移动组件，能够提高定位精准度，可降低气锤振动的影响。
[0007]本专利技术为实现上述目的所采取的技术方案为：一种气浮直线平台的移动组件，包括活动配合的气浮台与承重台，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承充气时，在气浮轴承与气浮台的间隙形成气膜，能够实现气浮台相对于承重台上的导轨处于悬浮状态；气浮台的上表面配置有第一槽体，第一槽体的内部设有第一基体，第一基体配置有承载台用于放置带移动的物品。第一基体与气浮台柔性连接。
[0008]气浮台与直线电机相配合，实现气浮台沿承重台的长度方向直线往复移动。直线电机包括定子和动子，其中定子固定安装在承重台的上表面，并且定子沿承重台的长度方向延伸，动子与气浮台的下表面相连，动子与定子配合能够驱动气浮台实现直线往复移动，并可停止在特定位置。
[0009]采用上述技术方案，第一槽体的设置既为运载物料的承载台提供了安装位点，还不影响气浮台及其下方的直线电机等部件的安装。由于第一基体与气浮台之间的柔性连接关系，在气浮轴承排出的气流不稳定时，仍能确保第一基体的水平度，从而确保所运送的物料的稳定性，进而保证加工过程中的精度。此外，第一基体与第一槽体的配合，使得第一基体的底面以及四周与气浮台之间均存在间隔空间，如此若出现杂质或杂物在气浮台上移动，会使杂质先进入到第一槽体内部的，从而降低杂质或杂物与第一基体和承载台的接触几率，从而加强对承载台及其上物料的保护，降低磨损。另，在气浮轴承与气浮台之间因气锤自激作用而发生振动时，第一基体与气浮台柔性连接，可避免与气浮台等部件共振，因此可降低对承载台上物料的影响，并可通过第一基体相对于气浮台的移动保持承载台与物料的稳定性。
[0010]第一基体与气浮台之间有一定的间隔距离，能够避免或减弱物料加工过程中产生的热量对气浮台以及气浮轴承等组件的影响，也可削弱移动组件中的磁性部件对第一基体上移送的物料的影响。
[0011]根据本专利技术的一种实施方式，第一基体的下方配置有第一减振组件，第一减振组件包括连接柱，连接柱的底部与第一槽体的槽底相连，第一基体的底部设有安装孔，连接柱的顶部套设在安装孔的内部。
[0012]连接柱的外部套设有缓冲基件，缓冲基件包括两个连接环和设于两个连接环之间的橡胶环，橡胶环配置有凸起部，凸起部与上下两个连接环抵接。
[0013]由此，通过第一减振组件实现第一基体与气浮台在竖直方向上的柔性连接。橡胶环设置在两个连接环之间，通过凸起部扩大两个连接环之间的间距，并且实现该间距的可变性，从而使得第一基体与第一槽体的槽底之间的间距可以变化。而凸起部的设置，不影响气浮轴承排出的气体的流动，并且扩大了缓冲基件与气流的接触面积，从而可提高第一减振组件对气膜的敏感性，可在发生气锤自激现象的第一时间进行应对，降低气锤现象对部件的影响。利用缓冲基件中橡胶环的形变可吸收和消耗振动能量，从而避免气浮轴承与气浮台之间的振动影响第一基体上的物料，提高第一基体的水平度，并可通过缓冲基件的缓冲作用防止第一基体与气浮台共振，降低磨损度；并且，第一减振组件的存在也会限制气浮台的振动幅度，从而避免气浮台与气浮轴承共振，从而减弱气锤现象的影响。
[0014]根据本专利技术的一种实施方式，连接柱配置有台阶部，第一基体朝向台阶部的一侧配置有环槽；缓冲基件设于台阶部与环槽之间。
[0015]进一步的，连接柱上至少设置两个台阶部，其中一个台阶部设于第一基体与气浮台之间，另有一个台阶部设于第一基体的上方，位于连接柱末端与第一基体上表面之间。
[0016]连接环远离橡胶环的一侧设有第一凹槽，第一凹槽与台阶部或第一基体上的环槽相配合。
[0017]由此，环槽、台阶部与连接环上的第一凹槽相配合，进一步扩大了缓冲基件的形变空间，提高缓冲基件的减振效果，从而降低气浮台振动对第一基体的影响。
[0018]根据本专利技术的一种实施方式，第一基体的侧方配置有第二减振组件，第二减振组件包括伸缩杆，伸缩杆的固定杆与第一基体的侧壁相连，伸缩杆的活动杆与第一槽体的内侧壁相连。伸缩杆的外部套设有第一弹簧。第一弹簧的两端分别与第一基体、气浮台相配合。
[0019]如此，通过第二减振组件实现第一基体与气浮台在水平方向上的柔性连接，对第一基体四周起到减振效果，进一步确保第一基体的水平度，有助于保持其与第一槽体内壁之间的间距。在外部振动的影响下，第一弹簧发生形变的同时伸缩杆的活动杆相对于固定杆伸缩活动，从而实现对第一基体侧壁与第一槽体内侧壁之间间距的调节。
[0020]根据本专利技术的一种实施方式，伸缩杆包括固定杆和活动杆，伸缩杆的活动杆套设在所述固定杆的内部，并且伸缩杆的活动杆能相对于固定杆沿轴线伸缩移动。伸缩杆活动杆的外部套设有橡胶套，伸缩杆固定杆的外部套设有限位套，橡胶套与限位套抵接，橡胶套与限位套均设于第一弹簧的内侧。
[0021]如此，气浮台因气锤现象而振动时，在第一弹簧与伸缩杆发生伸缩的过程中橡胶套与限位套配合也发生形变，能够提高对振动能量的吸收与消耗效果，缩短第二减振组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮直线平台的移动组件，包括活动配合的气浮台（20）与承重台（10），所述气浮台（20）与气浮轴承（70）相配合，所述气浮轴承（70）用于实现所述气浮台（20）相对于所述承重台（10）处于悬浮状态；其特征在于，所述气浮台（20）的上表面配置有第一槽体（21），所述第一槽体（21）的内部设有第一基体（22），所述第一基体（22）与所述气浮台（20）柔性连接。2.根据权利要求1所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，所述第一基体（22）的下方配置有第一减振组件（30），所述第一减振组件（30）包括连接柱（31），所述连接柱（31）的底部与所述第一槽体（21）的槽底相连，所述第一基体（22）的底部设有安装孔，所述连接柱（31）的顶部套设在所述安装孔的内部；所述连接柱（31）的外部套设有缓冲基件（33），所述缓冲基件（33）包括两个连接环（34）和设于两个所述连接环（34）之间的橡胶环（35），所述橡胶环（35）配置有凸起部（36），所述凸起部（36）与上下两个所述连接环（34）抵接。3.根据权利要求2所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，所述连接柱（31）配置有台阶部（311），所述第一基体（22）朝向所述台阶部（311）的一侧配置有环槽（37）；所述缓冲基件（33）设于所述台阶部（311）与所述环槽（37）之间。4.根据权利要求1所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，所述第一基体（22）的侧方配置有第二减振组件（40），所述第二减振组件（40）包括伸缩杆（41），所述伸缩杆（41）的一端与所述第一基体（22）的侧壁相连，所述伸缩杆（...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏杰，姜燕燕，
申请(专利权)人：无锡星微科技有限公司杭州分公司，
类型：发明
国别省市：