压电致动器及其制造方法、液滴喷出头、超声波器件技术

本申请提供压电致动器及其制造方法、液滴喷出头、超声波器件，压电致动器具备具有良好的结晶性的压电体。该压电致动器具备基板以及形成在基板上的第一压电元件和第二压电元件。第一压电元件具有第一下部电极、第一压电体以及第一上部电极。第二压电元件具有第二下部电极、第二压电体以及第二上部电极。第一下部电极的侧面未被第一压电体覆盖，第二下部电极的侧面未被第二压电体覆盖。压电致动器具有：共用电极，形成在基板上，并与第一上部电极及第二上部电极连接；以及绝缘层，位于共用电极和第一下部电极之间及共用电极与第二下部电极之间。之间。之间。

【技术实现步骤摘要】
压电致动器及其制造方法、液滴喷出头、超声波器件


[0001]本专利技术涉及压电致动器及其制造方法、液滴喷出头、超声波器件。

技术介绍

[0002]一直以来，已知一种例如像专利文献1所记载的，在单独地进行图案化的第一导电体层(下部电极)上具有覆盖第一导电体层的压电体层和覆盖压电体层的第二导电层的液滴喷出头。
[0003]专利文献1：日本特开2010
‑
208137号公报

技术实现思路

[0004]在专利文献1中，通过在振动板上形成金属膜之后，进行蚀刻，来形成分别进行图案化的下部电极，然后形成了覆盖下部电极的压电体层。在这样的制造方法中，若在对下部电极进行图案化的工序中在下部电极上残留了蚀刻溶液或者抗蚀剂的成分，则可能会在形成在下部电极上的压电体层中产生缺陷，而引起成品率降低。另外，在从振动板的表面晶体生长的压电体与从下部电极表面晶体生长的压电体之间定向性不同，从而可能会在下部电极的端缘部周围的压电体层中发生裂纹，或者形成结晶定向混乱的部位。
[0005]根据本专利技术的一个方面，提供一种压电致动器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电致动器，其特征在于，所述压电致动器具备基板以及形成在所述基板上的第一压电元件和第二压电元件，其中，所述第一压电元件具有：第一下部电极，形成在所述基板上；第一压电体，形成在所述第一下部电极上；以及第一上部电极，形成在所述第一压电体上，所述第二压电元件具有：第二下部电极，形成在所述基板上的与所述第一下部电极不同的区域中；第二压电体，形成在所述第二下部电极上；以及第二上部电极，形成在所述第二压电体上，所述第一下部电极的侧面未被所述第一压电体覆盖，所述第二下部电极的侧面未被所述第二压电体覆盖，所述压电致动器具有：共用电极，形成在所述基板上，并与所述第一上部电极及所述第二上部电极连接；以及绝缘层，位于所述共用电极与所述第一下部电极之间及所述共用电极与所述第二下部电极之间。2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，所述共用电极分别覆盖所述第一压电体及所述第二压电体。3.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，所述压电致动器具有分别覆盖所述第一压电体及所述第二压电体的保护膜。4.一种压电致动器的制造方法，其特征在于，具有：准备基板的工序；在所述基板上对下部电极进行成膜的工序；在所述下部电极上对压电体进行成膜的工序；蚀刻工序，通过对所述下部电极及所述压电体进行蚀刻，在所述基板上，将第一下部电极与第一压电体的层叠膜及第二下部电极与第二压电体的层叠膜形成在互不相同的位置处；形成对所述第一下部电极的侧面的至少一部分及所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：高部本规，平井荣树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：