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本申请提供压电致动器及其制造方法、液滴喷出头、超声波器件，压电致动器具备具有良好的结晶性的压电体。该压电致动器具备基板以及形成在基板上的第一压电元件和第二压电元件。第一压电元件具有第一下部电极、第一压电体以及第一上部电极。第二压电元件具有第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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