【技术实现步骤摘要】
晶圆箱模具、晶圆箱制备方法以及晶圆箱
[0001]本申请涉及晶圆承载装置的
，具体而言，涉及一种晶圆箱模具、晶圆箱制备方法以及晶圆箱。
技术介绍
[0002]在相关的
中，在制备晶圆箱时，支撑件往往是单体设置的，然后通过二次注塑工艺成型出箱体，但是由于支撑件的材质与箱体的材质往往不同，在利用二次注塑工艺注塑箱体时，高温的熔融材质与支撑件接触，会使得支撑件的局部变为熔融状态，并使得熔融状态的支撑件运动，导致晶圆箱的成品良率较低。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供了一种晶圆箱模具、晶圆箱制备方法以及晶圆箱，旨在利用凹槽的侧壁对支撑连接器的熔融材质进行阻挡，以使得支撑连接器的熔融材质停留在凹槽内，从而降低支撑连接器的熔融材质大面积扩散的概率，以提高晶圆箱的成品良率。
[0004]本申请实施例提供了一种晶圆箱模具，用于制备晶圆箱，晶圆箱包括箱体以及与箱体连接的支撑连接器，晶圆箱模具包括主体，主体具有型腔、凹槽以及容纳槽，型腔用于成型箱体，凹槽与型腔连通，容纳槽位于凹槽的槽底，且与凹槽连通...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆箱模具，其特征在于，用于制备晶圆箱，所述晶圆箱包括箱体以及与所述箱体连接的支撑连接器，所述晶圆箱模具包括：主体，所述主体具有型腔、凹槽以及容纳槽，所述型腔用于成型所述箱体，所述凹槽与所述型腔连通，所述容纳槽位于所述凹槽的槽底，且与所述凹槽连通；所述容纳槽用于安装所述支撑连接器。2.如权利要求1所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述容纳槽具有两个相对设置的侧壁，两个所述侧壁之间具有第一距离，沿所述凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，所述第一距离逐渐增大。3.如权利要求2所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向为第一方向，所述侧壁与所述第一方向之间具有第一夹角，所述第一夹角大于或等于1
°
，且小于或等于5
°
。4.如权利要求1所述的晶圆箱模具，其特征在于，所述凹槽的槽底具有第一中心点，所述容纳槽的槽口具有第二中心点，沿所述凹槽的槽底指向凹槽的槽口的方向，所述第一中心点与所述第二中心点位于同一直线上。5.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：禹在昌，张亮，
申请(专利权)人：芜湖鑫跃微半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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