一种热电堆组件制造方法、系统、设备及介质技术方案

本发明专利技术公开了一种热电堆组件制造方法、系统、设备及介质，方法包括：提供一基板，在基板上依次沉积第一保护材料和第二保护材料，得到浮板；获取目标热电材料，在浮板上分两次沉积目标热电材料，得到第一材料层和第二材料层，再次沉积第一保护材料和第二保护材料并通过塑形形成目标保护层和蚀刻孔；基于蚀刻孔和目标保护层对基板进行异向性蚀刻，得到热电堆组件。通过本发明专利技术的方案，有效提升了热电堆组件的敏感度，并降低了热电堆组件的生产成本。并降低了热电堆组件的生产成本。并降低了热电堆组件的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种热电堆组件制造方法、系统、设备及介质


[0001]本专利技术涉及传感器
，尤其涉及一种热电堆组件制造方法、系统、设备及介质。

技术介绍

[0002]自然界中的物质若其本身温度大于绝对零度，必定会遵循普朗克定律(The Planck
’
s law)放射出红外线，通过探测物体放射出的红外线，能够计算出物体的温度。
[0003]目前，能够通过薄膜沉积技术和微机电技术来制作热电堆传感器。热电堆传感器通过测量热电堆组件中热电材料由于席贝克(Seebeck)效应产生的热电势来探测红外线辐射，而热电材料的热电系数不同，导致热电堆传感器对探测的敏感度不同。需要选择合适的热电材料来制造具备高灵敏度的热电堆组件，提高热电堆传感器的性能。例如，铋和锑组合作为热电材料时具有较高的热电系数，其组合所制的热电堆组件能够具备较高的敏感度，但无法兼容标准集成电路(integrated circuit，IC)技术。相关技术中，利用薄膜沉积技术和微机电技术得到的热电堆组件的固态导热通常较高，热电堆组件易变形或龟裂，并且制程繁杂，无法有效制造出高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热电堆组件制造方法，其特征在于，包括：提供一基板，在所述基板上依次沉积第一保护材料和第二保护材料，得到浮板；获取目标热电材料，在所述浮板上分两次沉积所述目标热电材料，得到第一材料层和第二材料层，再次沉积第一保护材料和第二保护材料并通过塑形形成目标保护层和蚀刻孔；基于所述蚀刻孔和目标保护层对所述基板进行异向性蚀刻，得到热电堆组件。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述基板上依次沉积第一保护材料和第二保护材料，得到浮板的步骤，包括：通过干氧沉积第一保护材料，生成第一保护层；根据预设比例的反应气体和预设沉积温度，在所述第一保护层上沉积第二保护材料，生成第二保护层，以得到所述浮板。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取目标热电材料的步骤，包括：基于各类热电材料的热电系数、电阻率和热导率，得到各类热电材料的优质值；比较各类热电材料的优质值，确定最大优质值对应的热电材料为目标热电材料。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于各类热电材料的热电系数、电阻率和热导率，得到各类热电材料的优质值的步骤，包括：根据优质值计算公式以及各类热电材料的热电系数、电阻率和热导率，计算所述各类热电材料的优质值，其中，所述优质值计算公式为：优质值＝热电系数2/(电阻率
×
热导率)。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述浮板上分两次沉积所述目标热电材料，得到第一材料层和第二材料层，再次沉积第一保护材料和第二保护材料并通过塑形形成目标保护层和蚀刻孔的步骤，包括：在所述浮板上第一次沉积所述目标热电材料，得到第一材料层，并在所述第一材料层掺杂第一掺质后，采用第一光罩制程，蚀刻掺杂后的第一材料层以塑形掺杂后的第一材料层；基于掺杂并塑形后的第一材料层，采用第二光罩制程蚀刻所述浮板，得到蚀刻窗；基于掺杂并塑形后的第一材料层以及所述蚀刻窗，沉积绝缘层，所述绝缘层用于绝缘所述第一材料层和所述第二材料层；对所述绝缘层采用第三光罩制程，蚀刻所述绝缘层，得到与所述蚀刻窗和部分第一材...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨子庆，
申请(专利权)人：苏州浪潮智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：