下载一种热电堆组件制造方法、系统、设备及介质的技术资料

文档序号:39291212

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本发明公开了一种热电堆组件制造方法、系统、设备及介质,方法包括:提供一基板,在基板上依次沉积第一保护材料和第二保护材料,得到浮板;获取目标热电材料,在浮板上分两次沉积目标热电材料,得到第一材料层和第二材料层,再次沉积第一保护材料和第二保护材...
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