一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备及方法，其包括并列设置的排水清理工位与清洗检测工位、设置在清洗检测工位处的料盒摇摆机构、位于料盒摇摆机构上方的注水取样机构、为注水取样机构提供清洁水的供水单元、对注水取样机构采集的液体样本进行检测的杂质检测单元以及对清洗后晶圆盒内部残留水渍进行吹扫的吹扫模组；料盒摇摆机构包括第一电机、受第一电机驱动进行旋转的X转轴、固定在X转轴上的第一支架、固定在第一支架上的第二电机、转动设置在第一支架上且受第二电机驱动进行旋转的Y转轴、固定在Y转轴上的第二支架以及设置在第二支架上且承载晶圆盒的承载盘。本发明专利技术提高晶圆盒的清洗效果和清洗检测效率，节约了水资源。了水资源。了水资源。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备及方法


[0001]本专利技术属于晶圆盒清洁设备
，特别是涉及一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备及方法。

技术介绍

[0002]前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，由于晶圆在制造过程中对其表面的洁净度非常高，因此对于晶圆盒的洁净度也具有较高的要求。因此，晶圆盒在承载晶圆前需要对其进行清洗洁净。
[0003]传统晶圆盒的清洁及检测均采用人工操作，操作人员手持喷水枪对晶圆盒内部进行清洁，然后再将晶圆盒搬运到杂质检测机构中进行杂质检测，效率慢，劳动强度大。
[0004]现有技术中，专利公开号为CN210647622U公开了一种载具自动清洁及检测装置，其包括清洁机与杂质检测机，载具通过输送机构输送进入清洁机中进行载具的自动清洁，然后通过机械手将载具搬运到旁边的杂质检测机上，杂质检测机配有一个注水管和两个抽水管，一个注水管用于往载具中注水，一个抽水管用于将载具中的水抽取进行采样，另一个抽水管用于将载具中的水抽出，在检测时，注水管往载具内注入8升纯水，然后其中一个抽水管取10毫升水溶液作为检测样本，送入到检测机中进行杂质检测，之后再另一个抽水管将注入的水吸光；之后再利用进风装置对载具进行吹风，将水汽吹干，完成清洗。然该检测装置存在以下缺点：（1）清洁机与检测机为两台独立设备，载具进入清洁机后需要耗费水资源对其进行清洁，之后载具进入检测机，检测机还需要再次往载具内注入8升纯水，水资源耗费较为严重，不够环保；（2）载具清洗结束后，再放入到检测机内进行检测，重新注水需要耗费时间，使得清洗检测整体耗时较长；（3）在检测机中，采用抽水管吸取的方式将载具中的水排出，效率低，也较为费时；（4）清洁机中未明确记载其结构，不清楚如何实现对载具的清洁；（5）若检测机检测出载具中具有杂质，不符合清洁度要求，则需要将载具从检测机中取出，再放回到清洁机中进行清洁，清洁结束后再次放入到检测机中进行检测，来回多次搬运载具，由于清洁机构为一个封闭式腔体结构，载具的放入与取出需要花费较长时间，因此，严重拉长了清洁检测时间，清洁测试效率低；（6）在检测机中，往载具内注水后直接取样进行杂质检测，注入水未与载具内部进行充分的碰撞，无法直接反应出载具的内部清洁程度，导致检测结果不够精准，也不够科学可靠。
[0005]因此，有必要提供一种新的晶圆盒自动清洗检测一体式设备及方法来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的主要目的之一在于提供一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备，提高晶圆盒的清洗效果和清洗检测效率，节约了水资源。
[0007]本专利技术通过如下技术方案实现上述目的：一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其包括并列设置的排水清理工位与清洗检测工位、设置在所述排水清理工位处的第一支撑板、设置在所述清洗检测工位处的料盒摇摆机构、位于所述料盒摇摆机构上方的注水取样机构、为所述注水取样机构提供清洁水的供水单元、对所述注水取样机构采集的液体样本进行检测的杂质检测单元以及对清洗后晶圆盒内部残留水渍进行吹扫的吹扫模组；所述料盒摇摆机构包括第一电机、受所述第一电机驱动进行旋转的X转轴、固定在所述X转轴上的第一支架、固定在所述第一支架上的第二电机、转动设置在所述第一支架上且受所述第二电机驱动进行旋转的Y转轴、固定在所述Y转轴上的第二支架以及设置在所述第二支架上且承载晶圆盒的承载盘；所述注水取样机构包括注水模组与抽水取样模组；所述注水模组包括位于所述料盒摇摆机构上方的注水管以及驱动所述注水管进行水平摆动的第三电机，所述注水管连通所述供水单元；所述抽水取样模组包括位于所述料盒摇摆机构上方的抽水取样管、驱动所述抽水取样管进行水平摆动的第四电机、支撑所述第四电机的第二支撑板以及驱动所述第二支撑板进行上下运动的第五电机，所述抽水取样管连通所述杂质检测单元。
[0008]进一步的，所述第二支架上设置有称重模组，所述承载盘设置在所述称重模组的工作面上。
[0009]进一步的，所述承载盘内设置有对晶圆盒四周进行限位的若干限位板。
[0010]进一步的，所述承载盘底部靠近其中一个转角位置设置有排液口，所述排液口处设置有漏液传感器。
[0011]进一步的，所述第一支撑板为具有排列镂空孔的板体结构，且下方设置有排水结构；所述第一支撑板的四周设置有围挡。
[0012]进一步的，所述注水取样机构还包括防尘罩，所述防尘罩将所述第三电机、所述第四电机以及所述第五电机的驱动部分和传动部分均围挡在内。
[0013]进一步的，所述注水管设置在一个第三支撑板的一端，所述第三支撑板的另一端与所述第三电机的旋转端固定连接；所述第三电机驱动所述第三支撑板水平旋转将所述注水管旋转至晶圆盒上方；所述抽水取样管设置在一个第四支撑板的一端，所述第四支撑板的另一端与所述第四电机的旋转端固定连接；所述第四电机驱动所述第四支撑板水平旋转将所述抽水取样管旋转至晶圆盒上方；所述防尘罩的一侧开设有供所述第三支撑板进行水平摆动的第一避让缺口、另一相对侧开设有供所述第四支撑板进行水平旋转和上下运动的第二避让缺口。
[0014]进一步的，还包括机罩，所述机罩将所述排水清理工位、所述清洗检测工位、所述注水取样机构、所述料盒摇摆机构以及所述第一支撑板围挡在内；所述机罩顶部设置有排风单元。
[0015]进一步的，还包括翻转搬运机构，在所述排水清理工位与所述清洗检测工位之间搬运晶圆盒并将晶圆盒中的清洗水倾倒在所述排水清理工位上。
[0016]进一步的，所述翻转搬运机构包括第六电机、受所述第六电机驱动在所述排水清
理工位与所述清洗检测工位之间水平移动的第五支撑板、固定在所述第五支撑板上的第七电机、受所述第七电机驱动进行上下运动的第六支撑板、固定在所述第六支撑板上的第八电机、受所述第八电机驱动绕Y轴进行旋转的旋转板、固定在所述旋转板上的第九电机以及受所述第九电机驱动进行夹持或打开动作的夹板。
[0017]进一步的，所述吹扫模组安装在所述旋转板上或所述夹板上。
[0018]本专利技术的另一目的在于提供一种基于上述一体式设备的晶圆盒自动清洗检测方法，其包括以下步骤：S1、将待清洗的晶圆盒放置在所述承载盘上并对其四周进行定位；S2、将所述注水取样机构中的注水管移动至晶圆盒上方，注入设定量的水；S3、所述料盒摇摆机构按照设定程序驱动所述承载盘带着晶圆盒进行X轴与Y轴的摆动动作，对晶圆盒内部进行充分的清洗；S4、清洗结束后，将所述注水取样机构中的抽水取样管移动至晶圆盒上方空间，然后下降伸入至晶圆盒内液面下方设定深度，抽取设定量的样本液体，然后输送到所述杂质检测单元中进行杂质检测；若检测不合格，则执行步骤S5，若检测合格，则执行步骤S6；S5、将晶圆盒中的清洗水倾倒在所述排水清理工位处，然后放回到所述承载盘上，重复步骤S2~S4；S6、将晶圆盒中的清洗水倾倒在所述排水清理工位处，然后用所述吹扫模组将晶圆盒内的残留水渍吹干，完成晶圆盒清洗检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：其包括并列设置的排水清理工位与清洗检测工位、设置在所述排水清理工位处的第一支撑板、设置在所述清洗检测工位处的料盒摇摆机构、位于所述料盒摇摆机构上方的注水取样机构、为所述注水取样机构提供清洁水的供水单元、对所述注水取样机构采集的液体样本进行检测的杂质检测单元以及对清洗后晶圆盒内部残留水渍进行吹扫的吹扫模组；所述料盒摇摆机构包括第一电机、受所述第一电机驱动进行旋转的X转轴、固定在所述X转轴上的第一支架、固定在所述第一支架上的第二电机、转动设置在所述第一支架上且受所述第二电机驱动进行旋转的Y转轴、固定在所述Y转轴上的第二支架以及设置在所述第二支架上且承载晶圆盒的承载盘；所述注水取样机构包括注水模组与抽水取样模组；所述注水模组包括位于所述料盒摇摆机构上方的注水管以及驱动所述注水管进行水平摆动的第三电机，所述注水管连通所述供水单元；所述抽水取样模组包括位于所述料盒摇摆机构上方的抽水取样管、驱动所述抽水取样管进行水平摆动的第四电机、支撑所述第四电机的第二支撑板以及驱动所述第二支撑板进行上下运动的第五电机，所述抽水取样管连通所述杂质检测单元。2.如权利要求1所述的晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：所述第二支架上设置有称重模组，所述承载盘设置在所述称重模组的工作面上。3.如权利要求1所述的晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：所述承载盘内设置有对晶圆盒四周进行限位的若干限位板。4.如权利要求1所述的晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：所述承载盘底部靠近其中一个转角位置设置有排液口，所述排液口处设置有漏液传感器。5.如权利要求1所述的晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：所述第一支撑板为具有排列镂空孔的板体结构，且下方设置有排水结构；所述第一支撑板的四周设置有围挡。6.如权利要求1所述的晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：所述注水取样机构还包括防尘罩，所述防尘罩将所述第三电机、所述第四电机以及所述第五电机的驱动部分和传动部分均围挡在内。7.如权利要求6所述的晶圆盒自动清洗检测一体式设备，其特征在于：所述注水管设置在一个第三支撑板的一端，所述第三支撑板的另一端与所述第三电机的旋转端固定连接；所述第三电机驱动所述第三支撑板水平旋转将所述注水管旋转至晶圆盒上方；所述抽水取样管设置在一个第四支撑板的一端，所述第四支撑板的另一端与所述第四电机的旋转端固定连接；所述第四电机驱动所述第四支撑板水平旋转将所述抽水取样管旋转至晶圆盒上方；...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐恒军，秦耕，燕林，
申请(专利权)人：苏州普洛泰科精密工业有限公司，
类型：发明
国别省市：