一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及处理废水的工艺制造技术

本发明专利技术属于超纯水生产技术领域，尤其为一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及处理废水的工艺，包括废水处理装置，废水处理装置包括环形活性炭、环形密封件、进水管、密封片、弧形密封件和分隔片，环形活性炭的两侧圆形边缘处均固定连接有环形密封件，进水管的末端两侧固定连接有与环形密封件滑动密封的弧形密封件，进水管的末端另外两侧固定连接有与环形活性炭内壁滑动密封的密封片，环形活性炭发生堵塞能够自动切换与进水管末端相对应的位置，将传统的圆柱状的活性炭过滤芯更改为环形活性炭，环形活性炭中间通过分隔片分隔成多个部分，通过旋转环形活性炭可以使环形活性炭不同的部分进行过滤工作，从而保证过滤的连续性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及处理废水的工艺


[0001]本专利技术属于超纯水生产
，具体涉及一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及处理废水的工艺。

技术介绍

[0002]半导体生产工作中，很多环节都会用到超纯水，水的纯度越高，生产出来的芯片质量也会越好，例如半导体生产中对研磨工艺来说，产生的废水中含有的杂质会比较多，循环使用超纯水的工作中会使用多介质过滤器和活性炭过滤器进行初级过滤，活性炭过滤器的使用会随着时间的推移发生堵塞，则需要更换活性炭滤芯，从而使过滤工作不能连续。

技术实现思路

[0003]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本专利技术提供了一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备及处理废水的工艺，具有将传统的圆柱状的活性炭过滤芯更改为环形活性炭，环形活性炭中间通过分隔片分隔成多个部分，通过旋转环形活性炭可以使环形活性炭不同的部分进行过滤工作，从而保证过滤的连续性的特点。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体超纯水循环使用的废水处理工艺，包括原水池、第一热交换器、多介质过滤器、预处理水池、活性炭过滤器、脱气塔、阴床、除盐水水池、紫外杀菌器、保安过滤器、RO水箱、混床、后置过滤器、脱气膜、DIW纯水箱、第二热交换器、终端过滤器，所述原水池、所述第一热交换器、所述多介质过滤器、所述预处理水池、所述活性炭过滤器、所述脱气塔、所述阴床、所述除盐水水池、所述紫外杀菌器、所述保安过滤器、所述RO水箱、所述混床、所述后置过滤器、所述脱气膜、所述DIW纯水箱、所述第二热交换器、所述终端过滤器。
[0005]一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备，包括废水处理装置，所述废水处理装置包括环形活性炭、环形密封件、进水管、密封片、弧形密封件和分隔片，所述环形活性炭的两侧圆形边缘处均固定连接有所述环形密封件，所述进水管的末端两侧固定连接有与所述环形密封件滑动密封的所述弧形密封件，所述进水管的末端另外两侧固定连接有与所述环形活性炭内壁滑动密封的所述密封片，所述环形活性炭的内侧等间距固定连接有所述分隔片，所述环形活性炭发生堵塞能够自动切换与所述进水管末端相对应的位置。
[0006]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装置还包括有斜面环、斜面块、滑动块、第一直角支架和第二压缩弹簧，其中一个所述环形密封件的一端外侧固定连接有所述斜面环，所述斜面环的一端斜面处接触连接有所述斜面块，所述进水管向下凸起的一端内侧滑动密封有所述滑动块，所述滑动块的一端下侧与所述进水管向下凸起的一端内侧之间固定连接有所述第二压缩弹簧，所述滑动块的底端外侧固定连接有所述第一直角支架，所述第一直角支架的底部能够带动所述斜面块移动。
[0007]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装
置还包括有移动壳体、限位块和第一压缩弹簧，所述第一直角支架的一端外侧滑动连接有所述移动壳体，所述移动壳体的一端内侧滑动连接有所述限位块，所述限位块的一端与所述第一直角支架的底端外侧固定连接，所述限位块的一端外侧与所述斜面块的平面处之间固定连接有所述第一压缩弹簧。
[0008]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装置还包括有第二直角支架、中央支架和弧形件，所述进水管的一端外侧固定连接有所述第二直角支架，所述第二直角支架的一端上下两侧均固定连接有所述中央支架，所述中央支架的两端均固定连接有所述弧形件，所述弧形件的一端外侧与所述环形密封件的一端滑动连接。
[0009]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装置还包括有滚珠轴承、转轴、圆板、卷簧、环形壳体和内六角孔，所述中央支架的一端固定连接有所述滚珠轴承，所述滚珠轴承的一端内侧固定连接有所述转轴，所述中央支架的一端外侧固定连接有所述圆板，所述圆板的一端外侧固定连接有所述卷簧，所述卷簧的末端固定连接有所述环形壳体，所述环形壳体的一端与另一个所述环形密封件的一端外侧固定连接，所述环形壳体的另一端与所述转轴的一端外侧固定连接，所述转轴的一端内侧开设有所述内六角孔。
[0010]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装置还包括有固定环和环形槽，两个所述中央支架之间固定连接有所述固定环，所述固定环不接触的套设在所述转轴加粗的部分外侧，所述转轴加粗的部分内侧开设有所述环形槽。
[0011]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装置还包括有弧形块、弧形壳体和配重件，所述环形槽的内侧滑动连接有所述弧形块和弧形壳体，所述弧形块与所述环形槽内壁之间的摩擦力大于所述弧形壳体与环形槽内壁之间的摩擦力，所述弧形壳体的内侧固定连接有所述配重件。
[0012]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述转轴加粗的部分内侧还设置有卡合组件，卡合组件对称分布在所述转轴加粗部分的两端内侧，卡合组件包括有连通槽、活塞、拉伸弹簧、卡条和卡槽，所述活塞的一端内侧固定连接有所述卡条，所述活塞和所述卡条均滑动连接在所述转轴加粗的部分内侧，所述活塞的一端外侧与所述转轴加粗的部分内侧之间固定连接有所述拉伸弹簧，所述连通槽的一端与所述环形槽连通，所述连通槽的另一端与所述活塞的活动空间连通，所述固定环的内侧等间距开设有多个所述卡槽，所述卡槽能够与所述卡条卡合连接。
[0013]作为本专利技术一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备优选的，所述废水处理装置还包括有漏斗和排水管，所述漏斗不接触的设置在所述环形活性炭的下侧，所述漏斗的底端内侧固定连通有所述排水管。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过设置的废水处理装置，可以更长时间的进行连续过滤工作，提高工作效率，将传统的圆柱状的活性炭过滤芯更改为环形活性炭，环形活性炭中间通过分隔片分隔成多个部分，通过旋转环形活性炭可以使环形活性炭不同的部分进行过滤工作，从而保证过滤的连续性，而通过设置的分隔片，可以使环形活性炭的不同部分之间互不影响，而环形活性炭的旋转切换，是通过水压来控制切换。
附图说明
[0015]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本专利技术的废水处理工艺流程图；
[0017]图2为本专利技术的废水处理装置结构主视图；
[0018]图3为本专利技术中图2的A处的放大结构示意图；
[0019]图4为本专利技术中环形活性炭的结构三维图；
[0020]图5为本专利技术的废水处理装置结构右视图；
[0021]图6为本专利技术中图5的B处的放大结构示意图；
[0022]图7为本专利技术中图5的C处的放大结构示意图；
[0023]图8为本专利技术中图5的D处的放大结构示意图；
[0024]图9为本专利技术中环形槽的开设位置左视图；
[0025]图10为本专利技术中图9的E处的放大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体超纯水循环使用的废水处理工艺，其特征在于：包括原水池、第一热交换器、多介质过滤器、预处理水池、活性炭过滤器、脱气塔、阴床、除盐水水池、紫外杀菌器、保安过滤器、RO水箱、混床、后置过滤器、脱气膜、DIW纯水箱、第二热交换器、终端过滤器，所述原水池、所述第一热交换器、所述多介质过滤器、所述预处理水池、所述活性炭过滤器、所述脱气塔、所述阴床、所述除盐水水池、所述紫外杀菌器、所述保安过滤器、所述RO水箱、所述混床、所述后置过滤器、所述脱气膜、所述DIW纯水箱、所述第二热交换器、所述终端过滤器。2.根据权利要求1所述的一种半导体超纯水循环使用的废水处理设备，其特征在于：包括废水处理装置(2)，所述废水处理装置(2)包括环形活性炭(21)、环形密封件(211)、进水管(212)、密封片(213)、弧形密封件(214)和分隔片(215)，所述环形活性炭(21)的两侧圆形边缘处均固定连接有所述环形密封件(211)，所述进水管(212)的末端两侧固定连接有与所述环形密封件(211)滑动密封的所述弧形密封件(214)，所述进水管(212)的末端另外两侧固定连接有与所述环形活性炭(21)内壁滑动密封的所述密封片(213)，所述环形活性炭(21)的内侧等间距固定连接有所述分隔片(215)，所述环形活性炭(21)发生堵塞能够自动切换与所述进水管(212)末端相对应的位置。3.根据权利要求2所述的半导体超纯水循环使用的废水处理设备，其特征在于：所述废水处理装置(2)还包括有斜面环(22)、斜面块(221)、滑动块(226)、第一直角支架(225)和第二压缩弹簧(227)，其中一个所述环形密封件(211)的一端外侧固定连接有所述斜面环(22)，所述斜面环(22)的一端斜面处接触连接有所述斜面块(221)，所述进水管(212)向下凸起的一端内侧滑动密封有所述滑动块(226)，所述滑动块(226)的一端下侧与所述进水管(212)向下凸起的一端内侧之间固定连接有所述第二压缩弹簧(227)，所述滑动块(226)的底端外侧固定连接有所述第一直角支架(225)，所述第一直角支架(225)的底部能够带动所述斜面块(221)移动。4.根据权利要求3所述的半导体超纯水循环使用的废水处理设备，其特征在于：所述废水处理装置(2)还包括有移动壳体(222)、限位块(223)和第一压缩弹簧(224)，所述第一直角支架(225)的一端外侧滑动连接有所述移动壳体(222)，所述移动壳体(222)的一端内侧滑动连接有所述限位块(223)，所述限位块(223)的一端与所述第一直角支架(225)的底端外侧固定连接，所述限位块(223)的一端外侧与所述斜面块(221)的平面处之间固定连接有所述第一压缩弹簧(224)。5.根据权利要求4所述的半导体超纯水循环使用的废水处理设备，其特征在于：所述废水处理装置(2)还包括有第二直角支架(23)、中央支架(231)和弧形件(238)，所述进水管(212)的一端外侧固定连接有所述第二直角支架(23)，所述第二直角支架(23)的一端上下两侧均固定连接有所述中央支架(231)，所述中...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜永勋，谢海，张家晖，刘鑫，
申请(专利权)人：高频北京科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：